半导体设备系列研究十五：从盛美股份看国产半导体设备成长路径与发展潜力.pdf

识别风险 ，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1 / 25 Table_C ontacter 本报告联 系人： Table_Page 行业专题研究|机械设备 2020 年 7 月 3 日 证券研究报告 Table_Title Tabl e_Author SAC S0260519090001 SAC S0260513050002 SAC S0260514050002 021-60750636 021-60750636 021-60750532 zhoujinggf luolibogf xuxingjungf SAC S0260517080007 SFC CE.no: BOS186 021-60750615 daichuangf , , Table_Summary 2019 7.57 37.5% 2017-2019 72.6% 2019 1.3 82.7% 2019 45.1% 21.7% Gartner 2018 34 SAPS/TEBO/Tahoe 45nm 50% 10% 20% / DNS LAM SAPS TEBO Tahoe 2019 2019 Gartner 2018 5 2018 2019 LAM LAM 1 * * 2 * *