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请阅读最 后一页 的免责 声明 1 2020 年 07 月 23 日 证券研究报 告 行业 深度报告 电子 行业 刻 蚀设 备 ：最 优质 半导体 设备 赛道 ， 技术 政策需 求多 栖驱动 半导体 系列 深度报告 看 好 投资要 点 刻蚀系半导体制造关 键步 骤 ， 不同技术各有 优势 。 刻蚀已 经成 为 半 导 体 晶 圆 制 造 中 的 关 键 步 骤 ， 在 半 导 体 制 造 中 重 要 性 凸 显。按 照刻 蚀工 艺划 分， 其主要 分为 干法 刻蚀 以及 湿法刻 蚀。 干法刻 蚀占 主导 地位 。 干 法刻蚀 的最 大优 势在 于能 够实现 各向 异性刻 蚀， 即 刻蚀 时可 控 制仅垂 直方 向的 材料 被刻 蚀， 而不 影 响横向 材料， 从而 保证 细 小图形 转移 后的 保真 性 。 干法刻 蚀的 刻蚀机 的 等 离子 体生 成方 式包 括 CCP （ 电容 耦合 ） 以 及 ICP （电 感 耦 合 ） 。 而 由 于 不 同 方式 技 术 特 点 的 不 同 ， 他 们 在 下 游 擅 长 的应用 领域 上也 有区 分。 工艺升级带动刻蚀机 用量 增长， 技术壁垒极高 。 从 近年来 各主 要半导 体设 备资 本开 支量 占比来 看， 刻蚀 机份 额占 比有显 著提 升，目 前 其 占比 已经 提升 至 22% 甚至 更高 。刻 蚀设 备由于 晶圆 代工以 及存 储产 线工 艺优 化 ，带 来刻 蚀工 艺需 求的 持续提 升 ， 而不同 于其 他设 备 ， 刻 蚀 设备技 术并 未出 现明 显分 化 ， 不同 技 术各有 侧重 。 但是 在这 样 多种技 术存 在的 情况 下 ， 行业集 中度 依然较 高 ， 并 且不 同企 业 擅长技 术也 有所 区别 。 这 体现了 该行 业极高 的壁 垒 。 刻蚀设备有望率先完 成国 产替代 。 目 前来 看， 刻蚀 机尤其 是介 质刻蚀 机， 是 我国 最具 优 势的半 导体 设备 领域 ， 也 是国产 替代 占比最 高的 重要 半导 体设 备之一 。 中 微公 司产 品在 业内较 为领 先，工 艺节 点已 经达 到 5nm ，并 且已 经得 到台 积电 的 验证， 公 司整体 介质 刻蚀 及出 货量 已经超 过 50 台， 北 方华 创在硅 刻蚀 机中处 在国 产替 代加 速阶 段， 目 前能 够生 产 28nm 的 硅刻蚀 机， 14nm 目前也在研发和小范围试产过 程中，带动刻蚀机持续 替 代， 另外 国 内 存储 产线 兴 建以及 大基 金的 持续 投入 ， 预 计刻 蚀 设备有 望 率 先完 成国 产替代 。 投资建议： 整 体 看， 刻蚀 设备是 半导 体设 备领 域中 最优质 的赛 道：第 一， 刻蚀 设备 在晶 圆制造 中的 使用 广泛 ，市 场空间 大； 市 场数据（2020-07-22 ） 行业指数涨 幅 近一周 -7.09% 近一月 20.25% 近三月 35.23% 重点 公司 公司名称 公司代码 投资评级 中微公 司 688012 推荐 北方华 创 002371 推荐 行 业指数 走 势图 数据来源： W ind
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