新三板TMT行业专题系列报告之十二：半导体材料空间广阔国产替代迫在眉睫.pdf

本 报 告 的 信 息 均 来 自 已 公 开 信 息 ， 关 于 信 息 的 准 确 性 与 完 整 性 ， 建 议 投 资 者 谨 慎 判 断 ， 据 此 入 市 ， 风 险 自 担 。请 务 必 阅 读 末 页 声 明 。 电 子 行 业推 荐 （ 维 持 ） 新 三 板 TMT行 业 专 题 系 列 报 告 之 十 二风 险 评 级 ： 中 高 风 险 半 导 体 材 料 空 间 广 阔 ， 国 产 替 代 迫 在 眉 睫2021 年 3月 25日罗 炜 斌SAC执 业 证 书 编 号 ：S0340521020001电 话 ： 0769-23320059邮 箱 ： 研 究 助 理 ： 刘 梦 麟SAC执 业 证 书 编 号 ：S0340119070035电 话 ： 0769-22110619邮 箱 ： 行 业 指 数 走 势 资 料 来 源 ： 东 莞 证 券 研 究 所 ， Wind相 关 报 告 投 资 要 点 ： 半 导 体 是 信 息 产 业 的 基 石 ， 中 国 产 业 增 速 快 于 全 球 。 半 导 体 在 经 济 领 域和 科 技 领 域 都 具 有 至 关 重 要 的 作 用 ， 从 全 球 看 已 经 历 两 次 大 范 围 产 业 转移 ， 我 国 正 承 接 全 球 半 导 体 第 三 次 转 移 浪 潮 。 在 过 去 二 十 余 年 中 ， 我 国凭 借 低 廉 的 劳 动 成 本 和 庞 大 的 下 游 消 费 市 场 ， 获 取 了 部 分 发 达 国 家 /地区 的 半 导 体 封 测 /制 造 业 务 ， 并 有 效 带 动 了 上 游 IC设 计 业 的 发 展 ， 集 成 电路 市 场 规 模 逐 步 提 升 ， 近 年 来 半 导 体 销 售 额 占 全 球 比 重 持 续 增 长 。 半 导 体 材 料 位 于 半 导 体 产 业 链 上 游 ， 晶 圆 厂 建 厂 潮 加 速 国 内 半 导 体 材 料行 业 发 展 。 半 导 体 材 料 行 业 位 于 半 导 体 产 业 链 上 游 ， 是 半 导 体 产 业 链 中细 分 领 域 最 多 的 环 节 ， 细 分 子 行 业 多 达 上 百 个 。 按 大 类 划 分 ， 半 导 体 材料 主 要 包 括 晶 圆 制 造 材 料 和 半 导 体 封 装 材 料 。 在 国 家 鼓 励 半 导 体 材 料 国 产 化 的 政 策 影 响 下 ， 本 土 半 导 体 材 料 厂 商 不 断 提 升 半 导 体 产 品 的 技 术 水平 和 研 发 水 平 ， 逐 步 推 进 半 导 体 材 料 国 产 化 进 程 ， 半 导 体 材 料 市 场 持 续增 长 。 据 SEMI统 计 ， 2 0 1 7 -2 0 2 0 年 ， 全 球 6 2 座 新 投 产 的 晶 圆 厂 中 有 2 6 座来 自 中 国 大 陆 ， 占 比 超 过 4 0 %， 成 为 增 速 最 快 的 地 区 。 核 心 材 料 进 口 依 赖 度 大 ， 国 产 替 代 空 间 广 阔 。 半 导 体 核 心 材 料 技 术 壁 垒极 高 ， 国 内 绝 大 部 分 产 品 自 给 率 较 低 ， 市 场 被 美 国 、 日 本 、 欧 洲 、 韩 国和 中 国 台 湾 地 区 的 海 外 厂 商 所 垄 断 。 以 占 比 最 大 的 晶 圆 制 造 材 料 硅片 为 例 ， 前 五 大 厂 商 份 额 占 比 超 过 9 0 %， 其 中 top3 日 本 信 越 化 学 、 SUMCO和 台 湾 环 球 晶 圆 合 计 占 据 全 球 6 7 %份 额 （ 2 0 1 8 年 数 据 ， SEMI） ， 国 内 企业 以 沪 硅 产 业 、 立 昂 微 为 代 表 ， 距 国 际 领 先 水 平 仍 存 在 较 大 差 距 ； 而 在格 局 相 对 分 散 的 封 装 基 板 领 域 ， 前 七 大 厂 商 占 比 也 接 近 7 0 %， 主 要 被 台湾 、 日 本 和 韩 国 厂 商 占 据 。 国 内 半 导 体 材 料 企 业 仅 在 部 分 领 域 已 实 现 自 产 自 销 ， 目 前 在 靶 材 、 电 子 特 气 、 CMP抛 光 材 料 等 细 分 产 品 已 经 取 得 较大 突 破 ， 各 主 要 细 分 领 域 国 产 替 代 空 间 广 阔 。 投 资 建 议 ： 半 导 体 材 料 领 域 技 术 壁 垒 高 ， 各 细 分 产 品 主 要 份 额 被 美 国 、日 本 、 欧 洲 、 韩 国 和 中 国 台 湾 的 少 数 企 业 所 垄 断 ， 行 业 呈 现 明 显 的 寡 头垄 断 格 局 。 与 海 外 国 际 巨 头 相 比 ， 中 国 大 陆 在 半 导 体 领 域 起 步 较 晚 ， 大部 分 产 品 自 给 率 较 低 ， 主 要 依 赖 进 口 。 在 中 美 贸 易 摩 擦 常 态 化 、 长 期 化的 大 背 景 下 ， 半 导 体 关 键 原 材 料 供 应 关 乎 集 成 电 路 产 业 安 全 ， 国 产 替 代迫 在 眉 睫 。 在 集 成 电 路 领 域 国 产 替 代 加 速 、 行 业 技 术 升 级 和 国 家 产 业 政策 扶 持 等 多 重 利 好 加 持 下 ， 国 内 半 导 体 材 料 企 业 有 望 迎 来 黄 金 发 展 期 。新 三 板 公 司 中 ， 建 议 关 注 恒 坤 股 份 （ 8 3 2 4 5 6 .OC） 、 达 诺 尔 （ 8 3 3 1 8 9 .OC） 、德 高 化 成 （ 8 3 1 7 5 6 .OC） 等 。 风 险 提 示 ： 国 产 替 代 进 程 不 如 预 期 ， 行 业 景 气 度 回 落 等 。 行业专题行业 研究证券研究 报告 新 三 板 TMT行 业 专 题 系 列 报 告 之 十 二 2请 务 必 阅 读 末 页 声 明 。 目 录1. 半 导 体 是 信 息 产 业 的 基 石 ， 中 国 产 业 增 速 快 于 全 球 .42. 半 导 体 材 料 位 于 半 导 体 产 业 链 上 游 ， 国 产 替 代 空 间 巨 大 .83. 重 要 半 导 体 材 料 类 别 介 绍 .113.1 硅 片 ： 价 值 量 占 比 最 高 的 半 导 体 材 料 .113.2 光 刻 胶 ： 光 刻 工 艺 的 重 要 耗 材 .133.3 靶 材 ： 薄 膜 制 备 的 主 要 材 料 之 一 .153.4 抛 光 垫 、 抛 光 液 ： CMP工 艺 关 键 耗 材 .173.5 电 子 特 气 ： 半 导 体 晶 圆 制 造 的 血 液 .194. 投 资 策 略 .215. 风 险 提 示 .21插 图 目 录 图 1 ： 2020 年 半 导 体 行 业 市 场 份 额 占 比 （ 单 位 ： %） .4图 2 ： 世 界 GDP与 IC市 场 增 长 率 相 关 性 .5图 3 ： 世 界 GDP与 全 球 半 导 体 市 场 增 长 率 近 年 来 关 联 度 较 高 .5图 4 ： 中 国 半 导 体 销 售 额 占 全 球 比 重 稳 步 提 升 .5图 5 ： 中 国 集 成 电 路 进 出 口 金 额 （ 亿 美 元 ） .6图 6 ： 北 美 半 导 体 设 备 制 造 商 出 货 金 额 及 同 比 增 长 率 .6图 7 ： 国 内 集 成 电 路 设 计 、 制 造 、 封 测 业 销 售 额 （ 亿 元 ） .7图 8 :中 国 集 成 电 路 设 计 、 制 造 、 封 测 业 销 售 额 占 比 （ %） .7图 9 ： 2018 年 全 球 晶 圆 制 造 材 料 细 分 产 品 结 构 .10图 10 :2018 年 全 球 半 导 体 封 装 材 料 细 分 产 品 结 构 .10图 11 ： 2018年 硅 片 领 域 竞 争 格 局 .11图 12 :2018 年 封 装 基 板 竞 争 格 局 .11图 13 ： 全 球 各 国 家 /地 区 半 导 体 材 料 销 售 额 （ 十 亿 美 元 ） .12 图 14 :全 球 不 同 尺 寸 半 导 体 硅 片 出 货 面 积 占 比 .12图 15 ： 2016年 至 2018年 前 五 大 硅 片 企 业 市 场 份 额 变 化 情 况 .12图 16 ： 光 刻 胶 分 类 .13图 17 ： 全 球 光 刻 胶 分 类 占 比 .13图 18 :2019-2022年 全 球 光 刻 胶 产 业 市 场 规 模 .13图 19 ： 2019年 g/i线 光 刻 胶 市 场 格 局 .14图 20 ： 2019年 ArF光 刻 胶 市 场 格 局 .14图 21 ： 2019年 KrF光 刻 胶 市 场 格 局 .14图 22 ： 光 刻 胶 分 类 .15图 23 ： 溅 射 靶 材 原 理 图 .16图 24 ： 溅 射 靶 材 下 游 应 用 结 构 .16图 25 :全 球 溅 射 靶 材 竞 争 格 局 .16图 26 ： 典 型 化 学 机 械 抛 光 原 理 图 .17 图 27 ： CMP 工 艺 耗 材 占 比 .18图 28 ： 全 球 抛 光 液 行 业 市 场 竞 争 格 局 .18图 29 :全 球 抛 光 垫 行 业 市 场 竞 争 格 局 .18图 30 ： 电 子 特 气 下 游 应 用 领 域 .19图 31 :半 导 体 材 料 行 业 细 分 产 品 规 模 占 比 .19图 32 ： 全 球 半 导 体 用 电 子 气 体 市 场 份 额 .19 新 三 板 TMT行 业 专 题 系 列 报 告 之 十 二 3请 务 必 阅 读 末 页 声 明 。 图 33 :中 国 半 导 体 用 电 子 气 体 市 场 份 额 .19图 34 ： 2018-2022 年 中 国 特 种 气 体 .20表 格 目 录表 1 ： 半 导 体 设 备 销 售 额 （ 十 亿 美 元 ） .7表 2 ： 国 内 主 要 电 子 特 气 上 市 企 业 情 况 .21 新 三 板 TMT行 业 专 题 系 列 报 告 之 十 二 4请 务 必 阅 读 末 页 声 明 。 1. 半 导 体 是 信 息 产 业 的 基 石 ， 中 国 产 业 增 速 快 于 全 球半 导 体 （ semiconductor） 指 常 温 下 导 电 性 能 介 于 导 体 与 绝 缘 体 之 间 的 材 料 ， 在 科 技 领域 和 经 济 领 域 都 具 有 至 关 重 要 的 作 用 。 从 分 类 来 看 ， 半 导 体 可 分 为 集 成 电 路 （ IntegratedCircuit， IC） 、 分 立 器 件 （ Discrete device） 、 光 学 光 电 子 （ Optoelec） 和 传 感 器 （ Sensor）四 大 部 分 ， 其 中 集 成 电 路 占 比 最 大 ， 超 过 80%； 分 立 器 件 、 光 电 子 和 传 感 器 占 据 其 余 份额 ， 三 者 统 称 为 D-O-S。细 分 到 具 体 产 品 ， 集 成 电 路 又 可 分 为 数 字 芯 片 和 模 拟 芯 片 两 部 分 ， 其 中 数 字 电 路 包 括 逻辑 芯 片 、 存 储 器 和 微 处 理 器 ， 模 拟 芯 片 主 要 包 括 电 源 管 理 芯 片 和 信 号 链 等 。 根 据 WSTS数 据 ， 2020年 全 球 半 导 体 行 业 整 体 规 模 为 4331亿 美 元 ， 其 中 集 成 电 路 市 场 规 模 达 到 3595亿 美 元 ， 占 比 83%（ 存 储 器 28%、 逻 辑 芯 片 26%、 微 处 理 器 16%、 模 拟 芯 片 13%） ， 光 器 件 市 场 规 模 390亿 美 元 ， 占 比 9%； 分 立 器 件 217亿 美 元 ， 占 比 5%； 传 感 器 130亿 美 元 ，占 比 3%。 图 1： 2020年 半 导 体 行 业 市 场 份 额 占 比 （ 单 位 ： %） 数 据 来 源 ： WSTS， 东 莞 证 券 研 究 所全 球 GDP 增 长 与 IC 市 场 关 联 程 度 日 益 密 切 。 集 成 电 路 （ IC） 是 最 重 要 的 半 导 体 品 类 ，在 信 息 时 代 广 泛 应 用 于 智 能 手 机 、 电 脑 、 家 电 、 汽 车 、 机 器 人 、 工 业 控 制 等 多 种 电 子 产品 和 系 统 ， 是 物 联 网 、 大 数 据 、 云 计 算 等 新 一 代 信 息 产 业 的 基 石 ， 也 是 现 代 经 济 社 会 发展 的 战 略 性 、 基 础 性 和 先 导 性 产 业 ， 是 国 家 综 合 实 力 的 重 要 体 现 。 IC Insights对 1980年 以 来 全 球 GDP增 长 率 与 集 成 电 路 市 场 增 长 率 的 相 关 性 进 行 统 计 ， 发 现 近 年 来 全 球 GDP增 长 与 IC市 场 增 长 关 联 度 逐 渐 增 强 ： 20世 纪 90 年 代 全 球 GDP增 长 率 与 集 成 电 路 市 场 增长 率 相 关 系 数 为 -0.10； 2000-2009 二 者 相 关 系 数 为 0.63； 2010-2018 年 二 者 相 关 系 数为 0.86， 预 计 2019-2023年 这 一 数 值 将 提 升 至 0.93， 这 显 示 出 全 球 GDP 与 IC 市 场 之 间关 联 日 益 密 切 。 两 大 因 素 促 使 全 球 GDP 增 长 与 IC 市 场 增 长 关 联 度 提 高 。 一 方 面 ， 越 来 越 多 的 兼 并 、 收购 案 例 导 致 主 要 IC 制 造 商 、 供 应 商 数 量 减 少 ， 行 业 集 中 度 迅 速 提 升 ， IC 市 场 供 应 基 础发 生 变 化 ， 行 业 逐 步 走 向 成 熟 ； 另 一 方 面 ， IC市 场 正 逐 步 从 商 业 应 用 推 动 转 向 由 消 费 者驱 动 的 市 场 。 IC Insights 指 出 ， 90 年 代 大 约 有 60%的 IC市 场 由 商 业 应 用 推 动 ， 约 40%由 消 费 者 应 用 驱 动 ， 时 至 今 日 这 一 百 分 比 已 发 生 逆 转 。 随 着 以 消 费 者 为 导 向 的 IC 市 场份 额 逐 步 提 升 ， 全 球 GDP增 速 与 IC 市 场 的 发 展 情 况 联 系 日 益 紧 密 。 新 三 板 TMT行 业 专 题 系 列 报 告 之 十 二 12请 务 必 阅 读 末 页 声 明 。 硅 片 切 割 的 边 缘 损 失 就 越 小 ， 每 片 晶 圆 能 切 割 的 芯 片 数 量 就 越 多 ， 半 导 体 生 产 效 率 就 就越 高 ， 成 本 就 越 低 。 因 此 ， 硅 片 向 大 尺 寸 演 进 ， 能 有 效 提 高 硅 片 生 产 效 率 并 降 低 成 本 ，是 半 导 体 硅 片 未 来 的 发 展 方 向 。 根 据 沪 硅 产 业 招 股 说 明 书 ， 目 前 全 球 半 导 体 硅 片 市 场 最主 流 的 产 品 规 格 为 300mm硅 片 和 200mm硅 片 ， 其 中 300mm 硅 片 占 比 持 续 上 升 。 2018 年 ，全 球 300mm 硅 片 和 200mm 硅 片 市 场 份 额 分 别 为 63.83%和 26.14%， 两 种 尺 寸 硅 片 合 计 占比 接 近 90.00%。 硅 片 行 业 集 中 度 较 高 ， 且 随 着 尺 寸 增 大 集 中 度 加 强 。 硅 片 行 业 集 中 度 较 高 ， 信 越 化 学 和胜 高 集 团 （ SUMCO） 占 全 球 半 导 体 硅 片 份 额 超 过 50%， 全 球 前 五 大 企 业 累 计 份 额 超 过 90%（ 2018 年 数 据 ） 。 随 着 硅 片 平 均 尺 寸 不 断 增 大 ， 12 英 寸 硅 片 占 比 持 续 提 高 ， 硅 片 行 业时 长 份 额 也 在 持 续 向 头 部 企 业 集 中 。 根 据 SEMI 数 据 ， 从 2016 年 至 2018 年 ， 全 球 半 导体 硅 片 行 业 集 中 度 提 高 ， 信 越 化 学 、 SUMCO、 Siltronic、 环 球 晶 圆 和 SKSiltron 五 家 企业 市 场 份 额 从 85%上 升 至 93%。图 15： 2016年 至 2018年 前 五 大 硅 片 企 业 市 场 份 额 变 化 情 况 数 据 来 源 ： 沪 硅 产 业 招 股 说 明 书 ， 东 莞 证 券 研 究 所大 尺 寸 硅 片 技 术 仍 然 受 制 于 人 ， 大 硅 片 国 产 化 势 在 必 行 。 目 前 国 内 4-6 英 寸 硅 片 已 实 现自 给 自 足 ， 但 12 英 寸 硅 片 制 造 技 术 仍 然 受 制 于 人 ， 大 硅 片 国 产 化 势 在 必 行 。 目 前 国 内硅 片 生 产 企 业 与 全 球 先 进 水 平 差 距 较 大 ， 代 表 性 上 市 企 业 有 沪 硅 产 业 、 中 环 股 份 、 神 工股 份 和 立 昂 微 等 。 目 前 立 昂 微 的 12 寸 硅 片 项 目 已 通 过 数 家 客 户 的 产 品 验 证 ， 并 实 现 批量 化 的 生 产 和 销 售 ， 预 计 2021 年 底 项 目 建 设 完 成 以 后 达 到 年 产 180 万 片 规 模 ； 沪 硅 产 图 13： 全 球 各 国 家 /地 区 半 导 体 材 料 销 售 额 （ 十 亿 美 元 ） 图 14:全 球 不 同 尺 寸 半 导 体 硅 片 出 货 面 积 占 比资 料 来 源 ： 沪 硅 产 业 招 股 说 明 书 ， 东 莞 证 券 研 究 所 资 料 来 源 ： 沪 硅 产 业 招 股 说 明 书 ， 东 莞 证 券 研 究 所 新 三 板 TMT行 业 专 题 系 列 报 告 之 十 二 13请 务 必 阅 读 末 页 声 明 。 业 提 供 的 产 品 类 型 涵 盖 300mm 抛 光 片 及 外 延 片 、 200mm 及 以 下 抛 光 片 、 外 延 片 及 SOI 硅片 ， 并 初 步 实 现 了 300mm 半 导 体 硅 片 的 规 模 化 生 产 。 2021年 1 月 ， 公 司 公 告 非 公 开 发 行股 票 预 案 ， 拟 募 集 资 金 总 额 不 超 过 50 亿 元 ， 集 成 电 路 制 造 用 300mm 高 端 硅 片 研 发 与 先进 制 造 项 目 和 300mm高 端 硅 基 材 料 研 发 中 试 项 目 ， 预 计 募 投 项 目 建 成 后 将 大 幅 提 升 300mm半 导 体 硅 片 技 术 水 平 和 规 模 化 供 应 能 力 ， 缩 小 与 国 际 同 行 业 公 司 的 差 距 。3.2 光 刻 胶 ： 光 刻 工 艺 的 重 要 耗 材光 刻 胶 是 光 刻 成 像 的 承 载 介 质 ， 是 光 刻 工 艺 的 重 要 耗 材 。 光 刻 胶 ， 又 称 光 致 抗 蚀 剂 ， 是指 通 过 紫 外 光 、 准 分 子 激 光 、 电 子 束 、 离 子 束 、 X 射 线 等 光 源 的 照 射 或 辐 射 ， 其 溶 解 度发 生 变 化 的 耐 蚀 刻 材 料 。 按 照 下 游 应 用 场 景 不 同 ， 光 刻 胶 可 分 为 半 导 体 光 刻 胶 、 LCD 光刻 胶 和 PCB光 刻 胶 ， 从 组 成 成 分 来 看 ， 光 刻 胶 主 要 成 分 包 括 光 刻 胶 树 脂 、 感 光 剂 、 溶 剂 和 添 加 剂 等 。 在 光 刻 过 程 中 ， 光 刻 胶 具 有 光 化 学 敏 感 型 和 防 腐 蚀 的 保 护 作 用 ， 是 光 刻 工艺 的 重 要 耗 材 。图 16： 光 刻 胶 分 类 数 据 来 源 ： 晶 瑞 股 份 招 股 说 明 书 ， 东 莞 证 券 研 究 所全 球 光 刻 胶 下 游 应 用 较 为 均 衡 ， 至 2022 年 市 场 规 模 有 望 突 破 100 亿 元 。 根 据 前 瞻 产 业研 究 院 数 据 ， 目 前 全 球 光 刻 胶 下 游 应 用 较 为 均 衡 ， 半 导 体 光 刻 胶 、 LCD光 刻 胶 和 PCB光刻 胶 和 其 他 光 刻 胶 占 比 都 在 25%左 右 。 而 根 据 媒 体 情 报 公 司 Cision 数 据 ， 2019 年 全 球光 刻 胶 市 场 规 模 约 为 91 亿 美 元 ， 2010-2019 CAGR约 为 5.4%， 预 计 未 来 3 年 仍 将 以 年 均5%速 度 增 长 ， 至 2022 年 全 球 光 刻 胶 市 场 规 模 将 达 到 105亿 美 元 。图 17： 全 球 光 刻 胶 分 类 占 比 图 18:2019-2022年 全 球 光 刻 胶 产 业 市 场 规 模 新 三 板 TMT行 业 专 题 系 列 报 告 之 十 二 14请 务 必 阅 读 末 页 声 明 。 行 业 格 局 ： 日 美 垄 断 ， 基 本 依 赖 进 口 。 光 刻 胶 属 于 高 技 术 壁 垒 材 料 ， 纯 度 要 求 较 高 ， 生产 工 艺 复 杂 ， 需 要 长 期 的 技 术 积 累 ， 而 在 三 类 光 刻 胶 中 ， 半 导 体 光 刻 胶 的 技 术 门 槛 又 明显 高 于 PCB光 刻 胶 和 LCD光 刻 胶 。 目 前 全 球 半 导 体 光 刻 胶 市 场 基 本 被 日 本 和 美 国 企 业 所垄 断 ， 在 g/i线 光 刻 胶 领 域 ， 日 本 和 美 国 企 业 合 计 市 占 率 超 过 85%， 在 ARF光 刻 胶 方 面 ，基 本 是 日 本 企 业 ； 在 KrF光 刻 胶 方 面 ， 日 本 占 据 主 导 地 位 ， 韩 国 企 业 在 KrF光 刻 胶 领 域占 据 全 球 5%市 场 ， 美 国 企 业 市 占 率 为 11%。 国 内 方 面 ， 国 内 光 刻 胶 整 体 技 术 水 平 与 国 际 先 进 水 平 存 在 较 大 差 距 ， 自 给 率 仅 约 10%，且 主 要 集 中 在 技 术 含 量 较 低 的 PCB光 刻 胶 领 域 ， 半 导 体 光 刻 胶 和 LCD光 刻 胶 自 给 率 较 低 。目 前 ， 国 内 6 英 寸 硅 片 的 g/i 线 光 刻 胶 自 给 率 约 为 20%， 8 英 寸 硅 片 的 KrF 光 刻 胶 自 给率 低 于 5%， 而 12 寸 硅 片 的 ArF 光 刻 胶 目 前 国 内 尚 未 实 现 大 规 模 量 产 。 目 前 国 内 光 刻 胶主 要 上 市 企 业 有 晶 瑞 股 份 、 南 大 光 电 和 上 海 新 阳 等 ， 其 中 晶 瑞 股 份 从 1993 年 开 始 光 刻胶 的 生 产 ， 于 19 年 9 月 建 成 国 内 第 一 条 ArF产 线 ， 并 于 年 底 量 产 ； 上 海 新 阳 自 2017年起 立 项 开 发 集 成 电 路 用 高 端 光 刻 胶 ， 并 于 2018 年 5 月 成 立 子 公 司 上 海 芯 刻 微 ， 主 要 进行 193nmArF 干 法 光 刻 胶 研 发 及 产 业 化 项 目 ， 目 前 项 目 处 于 实 验 室 研 发 阶 段 ； 南 大 光 电则 于 18 年 底 投 资 6.6 亿 元 实 施 “ 193nm（ ArF） 光 刻 胶 材 料 开 发 和 产 业 化 ” 项 目 ， 预 计将 通 过 3年 的 建 设 、 投 产 及 实 现 销 售 ， 达 到 年 产 25 吨 193nm（ ArF 干 式 和 浸 没 式 ） 光 刻胶 产 品 的 生 产 规 模 。 资 料 来 源 ： 前 瞻 产 业 研 究 院 ， 东 莞 证 券 研 究 所 资 料 来 源 ： 前 瞻 产 业 研 究 院 ， 东 莞 证 券 研 究 所图 19： 2019年 g/i线 光 刻 胶 市 场 格 局 图 20： 2019 年 ArF光 刻 胶 市 场 格 局 图 21： 2019年 KrF光 刻 胶 市 场 格 局 资 料 来 源 ： 前 瞻 产 业 研 究 院 ， 东 莞 证 券 研 究 所 资 料 来 源 ： 前 瞻 产 业 研 究 院 ， 东 莞 证 券 研究 所 资 料 来 源 ： 前 瞻 产 业 研 究 院 ， 东 莞 证 券 研 究所 新 三 板 TMT行 业 专 题 系 列 报 告 之 十 二 15请 务 必 阅 读 末 页 声 明 。 图 22： 光 刻 胶 分 类 数 据 来 源 ： 赛 瑞 研 究 ， 东 莞 证 券 研 究 所3.3 靶 材 ： 薄 膜 制 备 的 主 要 材 料 之 一靶 材 是 薄 膜 制 备 的 主 要 材 料 之 一 。 靶 材 主 要 由 靶 胚 和 背 板 ， 是 溅 射 法 沉 积 薄 膜 的 主 要 原材 料 。 其 中 ， 靶 胚 是 高 速 粒 子 束 流 轰 击 的 目 标 材 料 ， 是 靶 材 工 作 的 核 心 功 能 部 分 ， 而 背板 材 料 与 靶 胚 进 行 焊 接 ， 起 到 固 定 靶 胚 的 作 用 。 按 照 化 学 成 分 分 类 ， 靶 材 又 可 分 为 单 质金 属 靶 材 （ 纯 金 属 铝 、 钛 、 铜 、 钽 等 ） 、 合 金 靶 材 （ 镍 铬 合 金 、 镍 钴 合 金 等 ） 和 陶 瓷 化合 物 靶 材 （ 氧 化 物 、 硅 化 物 、 碳 化 物 和 硫 化 物 等 ） 。 新 三 板 TMT行 业 专 题 系 列 报 告 之 十 二 16请 务 必 阅 读 末 页 声 明 。 图 23： 溅 射 靶 材 原 理 图 数 据 来 源 ： 阿 石 创 招 股 说 明 书 ， 东 莞 证 券 研 究 所高 纯 溅 射 靶 材 四 大 应 用 领 域 ： 半 导 体 芯 片 、 平 板 显 示 、 太 阳 能 电 池 和 信 息 存 储 。 根 据WSTS数 据 显 示 ， 按 照 应 用 领 域 分 类 ， 靶 材 下 游 应 用 领 域 包 括 半 导 体 芯 片 、 平 板 显 示 器 、太 阳 能 电 池 、 信 息 存 储 、 工 具 改 性 、 电 子 器 件 和 其 他 领 域 ， 其 中 半 导 体 芯 片 、 平 板 显 示 、太 阳 能 电 池 和 信 息 存 储 为 高 纯 溅 射 靶 材 的 四 大 应 用 领 域 ， 合 计 占 比 达 94%。 其 中 ， 半 导体 芯 片 对 溅 射 靶 材 的 金 属 材 料 纯 度 、 内 部 微 观 结 构 等 方 面 都 设 定 了 极 其 苛 刻 的 标 准 ， 技术 要 求 最 高 ， 认 证 过 程 最 为 严 格 。全 球 靶 材 呈 现 垄 断 格 局 ， 美 日 企 业 先 发 优 势 明 显 。 目 前 全 球 靶 材 制 造 业 ， 尤 其 是 高 纯 度靶 材 市 场 ， 主 要 份 额 集 中 在 海 外 巨 头 手 中 ， 呈 现 明 显 的 寡 头 垄 断 特 征 。 根 据 智 研 咨 询 数据 ， 在 全 球 靶 材 市 场 中 ， 日 矿 金 属 、 霍 尼 韦 尔 、 东 曹 和 普 莱 克 斯 市 占 率 位 列 前 四 ， 合 计 份 额 达 80%， 在 最 高 端 的 晶 圆 溅 射 靶 材 市 场 合 计 份 额 则 高 达 90%。 高 纯 溅 射 靶 材 市 场 技术 门 槛 、 设 备 门 槛 较 高 ， 而 美 日 的 龙 头 企 业 在 掌 握 核 心 生 产 技 术 后 ， 实 施 严 格 保 密 措 施来 限 制 技 术 外 泄 ， 并 通 过 扩 张 整 合 把 握 全 球 溅 射 靶 材 市 场 的 主 动 权 ， 先 发 优 势 明 显 。图 24： 溅 射 靶 材 下 游 应 用 结 构 图 25:全 球 溅 射 靶 材 竞 争 格 局 新 三 板 TMT行 业 专 题 系 列 报 告 之 十 二 17请 务 必 阅 读 末 页 声 明 。 国 内 ： 靶 材 企 业 产 品 集 中 在 低 端 产 品 领 域 ， 高 端 市 场 缺 乏 竞 争 力 。 目 前 ， 国 内 靶 材 企 业起 步 时 间 较 晚 ， 发 展 重 点 集 中 在 低 端 产 品 领 域 ， 在 半 导 体 、 平 板 显 示 和 太 阳 能 市 场 等 领域 竞 争 力 有 所 欠 缺 。 经 过 数 年 政 府 扶 持 、 科 技 攻 关 和 产 业 化 推 进 ， 目 前 国 内 高 纯 建 设 靶材 已 取 得 较 大 进 步 ， 形 成 了 部 分 产 品 的 规 模 化 生 产 能 力 ， 整 体 实 力 不 断 增 强 ， 代 表 性 企业 有 江 丰 电 子 、 隆 华 科 技 、 有 研 新 材 等 。3.4 抛 光 垫 、 抛 光 液 ： CMP工 艺 关 键 耗 材化 学 机 械 抛 光 （ CMP） 是 晶 圆 制 造 的 必 备 流 程 。 晶 圆 制 造 包 括 扩 散 -光 刻 -刻 蚀 -离 子 注 入-薄 膜 生 长 -化 学 机 械 抛 光 -金 属 化 七 大 流 程 ， 其 中 化 学 机 械 抛 光 （ CMP） 是 集 成 电 路 制 造中 获 得 全 局 平 坦 化 的 一 种 手 段 ， 它 可 以 平 整 晶 片 表 面 的 不 平 坦 区 域 ， 属 于 化 学 作 用 和 机械 作 用 相 结 合 的 技 术 ， 使 芯 片 制 造 商 能 够 继 续 缩 小 电 路 面 积 并 扩 展 光 刻 工 具 的 性 能 。 图 26： 典 型 化 学 机 械 抛 光 原 理 图 数 据 来 源 ： 电 子 发 烧 友 ， 东 莞 证 券 研 究 所抛 光 垫 /抛 光 液 是 CMP 的 主 要 耗 材 。 抛 光 材 料 是 CMP 工 艺 中 必 不 可 少 的 耗 材 ， 占 晶 圆 制造 各 类 材 料 成 本 约 7%。 根 据 功 能 不 同 ， 抛 光 材 料 又 可 分 为 抛 光 液 、 抛 光 垫 、 抛 光 头 、 研磨 盘 、 调 节 器 和 清 洁 剂 等 ， 其 中 抛 光 垫 、 抛 光 液 是 最 主 要 的 抛 光 材 料 ， 价 值 量 占 比 分 别 资 料 来 源 ： 智 研 咨 询 ， 东 莞 证 券 研 究 所 资 料 来 源 ： 智 研 咨 询 ， 东 莞 证 券 研 究 所 新 三 板 TMT行 业 专 题 系 列 报 告 之 十 二 18请 务 必 阅 读 末 页 声 明 。 为 49%和 33%， 其 他 抛 光 材 料 总 价 值 量 占 比 为 18%。 其 中 ， 抛 光 液 是 一 种 不 含 任 何 硫 、 磷 、氯 添 加 剂 的 水 溶 性 抛 光 剂 ， 主 要 起 到 抛 光 、 润 滑 、 冷 却 的 作 用 ， 而 抛 光 垫 主 要 作 用 是 存储 、 传 输 抛 光 液 ， 对 硅 片 提 供 一 定 压 力 并 对 其 表 面 进 行 机 械 摩 擦 ， 是 决 定 表 面 质 量 的 重要 辅 料 。图 27： CMP工 艺 耗 材 占 比 数 据 来 源 ： 中 国 产 业 信 息 网 ， 东 莞 证 券 研 究 所抛 光 液 市 场 被 美 日 企 业 垄 断 ， 近 年 本 土 自 给 率 有 所 提 升 。 长 期 以 来 ， 全 球 化 学 机 械 抛 光液 市 场 被 美 日 企 业 所 垄 断 ， 包 括 美 国 的 Cabot Microelectronics、 Versum 和 日 本 的Fujimi 等 ， 其 中 Cabot Microelectronics全 球 抛 光 液 市 场 占 有 率 最 高 ， 但 已 从 2000年的 约 80%下 降 至 2017年 的 约 35%（ 安 集 科 技 招 股 说 明 书 数 据 ） ， 表 明 全 球 抛 光 液 市 场 正朝 多 元 化 方 向 发 展 ， 地 区 本 土 化 自 给 率 提 升 。 国 内 方 面 ， 以 安 集 科 技 为 代 表 的 企 业 打 破了 国 外 厂 商 在 抛 光 液 领 域 的 垄 断 ， 成 功 实 现 了 进 口 替 代 ， 占 据 全 球 市 场 约 2%份 额 （ 2019年 数 据 ） ， 使 得 中 国 拥 有 了 在 抛 光 液 领 域 的 自 主 供 应 能 力 。抛 光 垫 技 术 壁 垒 极 高 ， 海 外 巨 头 形 成 寡 头 垄 断 。 从 竞 争 格 局 来 看 ， 抛 光 垫 制 作 由 于 其 具有 极 高 的 技 术 壁 垒 ， 全 球 主 要 被 美 国 陶 氏 化 学 所 垄 断 ， 市 占 率 高 达 79%， 其 次 是 美 国 企 业 卡 博 特 微 电 子 （ Cabot Microelectronics） 、 Thomas West和 FOJIBO等 。 国 内 方 面 ，鼎 龙 股 份 在 收 购 国 内 CMP抛 光 垫 企 业 时 代 立 夫 后 ， 成 为 本 土 抛 光 垫 龙 头 企 业 。 2018年 ，鼎 龙 公 司 产 品 通 过 8 寸 晶 圆 厂 验 证 并 取 得 订 单 ， 2019年 ， 公 司 产 品 通 过 国 内 12 寸 晶 圆厂 产 品 测 试 并 取 得 订 单 。图 28： 全 球 抛 光 液 行 业 市 场 竞 争 格 局 图 29:全 球 抛 光 垫 行 业 市 场 竞 争 格 局 新 三 板 TMT行 业 专 题 系 列 报 告 之 十 二 19请 务 必 阅 读 末 页 声 明 。 3.5 电 子 特 气 ： 半 导 体 晶 圆 制 造 的 血 液电 子 气 体 是 仅 次 于 硅 片 的 第 二 大 半 导 体 原 材 料 ， 下 游 应 用 广 泛 。 特 种 气 体 是 与 普 通 气 体相 对 应 的 概 念 ， 指 用 特 殊 工 艺 生 产 并 在 特 定 领 域 中 应 用 的 ， 在 纯 度 、 品 种 、 性 能 等 方 面有 特 殊 要 求 的 纯 气 、 高 纯 气 或 由 高 纯 单 质 气 体 配 置 的 二 元 或 多 元 混 合 气 。 电 子 特 气 是 电子 工 业 中 的 关 键 性 化 工 材 料 ， 下 游 应 用 涵 盖 半 导 体 、 显 示 面 板 、 光 纤 光 缆 、 光 伏 、 新 能源 汽 车 、 航 空 航 天 等 多 个 领 域 。 在 半 导 体 领 域 ， 电 子 特 气 是 价 值 量 占 比 仅 次 于 硅 片 的 第二 大 原 材 料 ， 在 2016 年 全 球 半 导 体 材 料 市 场 占 比 为 14%。 2018 年 全 球 电 子 特 种 气 体 市场 规 模 45.12亿 美 元 ， 同 比 增 长 15.93%（ 金 宏 气 体 招 股 说 明 书 数 据 ） ， 随 着 国 内 半 导 体国 产 替 代 加 速 进 行 ， 国 内 电 子 气 体 市 场 增