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智能制造 2022 年 03 月 31 日 中微公司(688012.SH) 刻蚀设备市占率稳步攀升，MOCVD订单迎来爆发 请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。 公司报告 公司年报点评 推荐（维持） 03月 30日：115.49元 主要数据 行业 智能制造 公司网址 amec- 大股东/持股 上海创业投资有限公司/15.64% 实际控制人 总股本(百万股) 616 流通A股(百万股) 329 流通B/H 股(百万股) 总市值（亿元） 712 流通A股市值(亿元) 380 每股净资产(元) 22.62 资产负债率(%) 16.7 行情走势图 证券分析师 吴文成 投资咨询资格编号 S1060519100002 WUWENCHENG 付强 投资咨询资格编号 S1060520070001 FUQIANG 徐勇 投资咨询资格编号 S1060519090004 XUYONG 事项： 公司披露2021年年报，2021 年公司实现收入31.08 亿元（同比+36.72%），实现归母净利润10.11 亿元（同比+105.49%），扣非后归母净利润3.24 亿元（同比+1291.10%）。 平安观点： 营收高增、利润率改善，公司2021年业绩亮眼。1）收入端：2021年公司营收大幅增长，共实现营业收入 31.08 亿元，同比增长36.72%，产品销售腔体数同比增长43.03%达349 腔。2）毛利率：2021 年公司综合毛利率为 43.36%，同比提升 5.69pct，主要受益于 MOCVD 设备毛利率的大幅改善（由18.65%提升到33.77%）。 3）费用端：2021 年公司销售、管理、研发、财务四费费率合计为26.56%，同比减少4.81pct，主要由于收入增加使得研发费用率摊薄，以及年内利息收入增幅较大。4）净利率：2021年公司归母净利润率达32.54%，同比提升10.89pct；扣非后归母净利润率10.44%，同比提升9.41pct。5）订单：2021 年，公司新签订单金额达41.3 亿元（同比+ 90.5%），在手订单饱满。 刻蚀设备：市占率节节攀升，国产替代稳步推进。2021 年，公司刻蚀设备收入为20.04 亿元，较2020 年大幅增长55.44%；毛利率44.32%，与上年度（44.48%）基本持平。公司CCP和ICP刻蚀设备均获得良好进展。1）CCP设备市占率持续提升。2021年，公司共生产付运CCP刻蚀设备298腔，产量同比增长40%。公司CCP设备已批量应用于国内外一线客户的集成电路生产线，并持续提升市场占有率，在部分客户市场占有率已进入前三位甚至前二位。2）ICP刻蚀设备业绩爆发，工艺验证渐趋成熟。2021，公司共生产付运 ICP 刻蚀机 134 腔，同比增长超过230%。公司Primo nanova ICP 刻蚀产品已经在超过15家客户的生产线上进行100多个ICP刻蚀工艺的验证，部分工艺的刻蚀性能和量产指标已经满足客户的要求并投入量产，且持续扩展到更多刻蚀应用的验证。 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 营业收入(百万元) 2,273 3,108 4,591 6,104 7,824 YOY(%) 16.8 36.7 47.7 33.0 28.2 净利润(百万元) 492 1,011 1,170 1,400 1,613 YOY(%) 161.0 105.5 15.7 19.6 15.3 毛利率(%) 37.7 43.4 41.5 41.5 41.5 净利率(%) 21.7 32.5 25.5 22.9 20.6 ROE(%) 11.3 7.3 7.7 8.4 8.8 EPS(摊薄/元) 0.80 1.64 1.90 2.27 2.62 P/E(倍) 144.6 70.4 60.8 50.8 44.1 P/B(倍) 16.3 5.1 4.7 4.3 3.9 证券研究报告 中微公司公司年报点评 请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。 2/ 4 MOCVD设备：Mini LED成为增长强驱动力，大订单在手业绩可期。由于下游市场原因以及本年新签署的 Mini LED MOCVD设备规模订单尚未确认收入，2021年，公司MOCVD 设备收入为5.03 亿元，较2020年增长约1.53%；毛利率达33.77%，较2020年的18.65%大幅提升。受益于Mini LED 市场爆发，相关MOCVD 设备需求旺盛。公司2021年6 月发布了用于高性能Mini LED 量产的MOCVD 设备Prismo UniMax，半年内订单已超过100腔；2022年3 月，公司宣布获得兆驰股份52腔Prismo Unimax MOCVD 设备采购订单。除 Mini LED 外，公司还积极布局用于功率器件应用的第三代半导体设备，GaN功率器件MOCVD 设备此前已交付国内外领先客户进行生产验证，SiC 外延设备也已经启动研发，产品线进一步丰富。 薄膜沉积设备研发取得阶段性进展，EPI 设备设计完成。2021 年，公司的钨填充 CVD 设备取得阶段性进展。应用于金属互联的CVD 钨制程设备能力已能够满足客户工艺验证的需求，产品正与关键客户对接验证。年内，公司组建了 EPI设备研发团队，通过基础研究和采纳关键客户的技术反馈，已经形成自主知识产权及创新的预处理和外延反应腔的设计方案。目前公司EPI设备已进入样机的设计、制造和调试阶段。 股权激励提升人才粘性，业绩目标彰显发展信心。2022 年3 月10 日，公司公布2022 年限制性股票激励计划（草案），计划向1104 名激励对象（占公司职工人数99.4%）授予400万股限制性股票。3 月29 日，公司已以50元/股的价格向激励对象授予400万股。2022 年激励计划对应的业绩考核目标要求公司2022-2025 年营业收入相对于2021 年（31.08亿元）分别增长20%/45%/70%/100%。假如后续考核年份均达到100%归属的业绩目标，公司2022/2023/2024/2025 年营收将分别不低于37.3/45.1/52.8/62.2 亿元。 投资建议：微调公司盈利预测，预计2022-2024 年公司归母净利润为11.70 亿元、14.00 亿元、16.13 亿元（2022-2023 前值分别为11.27 亿元、14.04 亿元），对应的市盈率分别为61倍、51倍、44 倍。公司作为刻蚀设备和MOCVD 双龙头，业绩有望持续高增长，维持“推荐”评级。 风险提示：（1）下游客户扩产投资不及预期的风险。若下游晶圆厂和LED 芯片制造商的后续投资不及预期，对相关设备的采购需求减弱，这将影响公司的订单量，进而对公司的业绩产生不利影响。（2）新产品研发不及预期风险。若公司新产品研发不及预期，将影响公司长远发展。（3）国际贸易摩擦风险。近年来，国际贸易摩擦不断。如果中美贸易摩擦继续恶化，公司的生产运营将受到一定影响。（4）政府补助变动的风险。若公司未来不能持续获得政府补助或政府补助显著降低，将会对公司经营业绩产生不利影响。 中微公司公司年报点评 请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。 3 / 4 资产负债表 单位：百万元 会计年度 2021A 2022E 2023E 2024E 流动资产 13731 15026 17015 19441 现金 8659 9149 10022 11185 应收票据及应收账款 631 809 1084 1390 其他应收款 18 35 47 60 预付账款 21 31 42 54 存货 1762 2337 3105 3979 其他流动资产 2640 2664 2715 2773 非流动资产 3002 3284 3686 3975 长期投资 555 590 630 670 固定资产 234 512 775 831 无形资产 573 533 503 458 其他非流动资产 1641 1649 1778 2016 资产总计 16733 18309 20701 23415 流动负债 2571 2893 3845 4926 短期借款 0 0 0 0 应付票据及应付账款 735 797 1059 1357 其他流动负债 1837 2097 2786 3569 非流动负债 222 221 220 219 长期借款 4 4 3 2 其他非流动负债 217 217 217 217 负债合计 2793 3114 4065 5145 少数股东权益 0 0 0 0 股本 616 616 616 616 资本公积 12288 12372 12414 12434 留存收益 1036 2206 3606 5219 归属母公司股东权益 13940 15195 16636 18270 负债和股东权益 16733 18309 20701 23415 现金流量表 单位：百万元 会计年度 2021A 2022E 2023E 2024E 经营活动现金流 1016 387 963 1225 净利润 1011 1170 1400 1613 折旧摊销 105 133 163 182 财务费用 -71 -31 -33 -37 投资损失 -143 -68 -70 -67 营运资金变动 155 -483 -165 -181 其他经营现金流 -41 -334 -331 -286 投资活动现金流 -6230 73 -122 -98 资本支出 478 150 150 150 长期投资 -5813 -50 -50 -50 其他投资现金流 -895 -27 -222 -198 筹资活动现金流 8286 30 32 36 短期借款 0 0 0 0 长期借款 4 -1 -1 -1 其他筹资现金流 8281 31 33 37 现金净增加额 3058 490 873 1163 资料来源：同花顺iFinD，平安证券研究所 利润表 单位：百万元 会计年度 2021A 2022E 2023E 2024E 营业收入 3108 4591 6104 7824 营业成本 1761 2685 3569 4573 税金及附加 19 4 5 6 营业费用 296 436 577 720 管理费用 203 296 368 469 研发费用 398 583 751 939 财务费用 -71 -31 -33 -37 资产减值损失 -3 -3 -3 -2 信用减值损失 4 -0 -1 -1 其他收益 192 215 220 225 公允价值变动收益 294 403 400 350 投资净收益 143 68 70 67 资产处置收益 0 0 0 0 营业利润 1133 1300 1555 1793 营业外收入 0 0 0 0 营业外支出 1 0 0 0 利润总额 1133 1300 1555 1793 所得税 122 130 156 179 净利润 1011 1170 1400 1613 少数股东损益 -0 0 0 0 归属母公司净利润 1011 1170 1400 1613 EBITDA 1167 1402 1684 1938 EPS（元） 1.64 1.90 2.27 2.62 主要财务比率 会计年度 2021A 2022E 2023E 2024E 成长能力 营业收入(%) 36.7 47.7 33.0 28.2 营业利润(%) 120.1 14.7 19.6 15.3 归属于母公司净利润(%) 105.5 15.7 19.6 15.3 获利能力 毛利率(%) 43.4 41.5 41.5 41.5 净利率(%) 32.5 25.5 22.9 20.6 ROE(%) 7.3 7.7 8.4 8.8 ROIC(%) 39.8 34.3 34.2 38.4 偿债能力 资产负债率(%) 16.7 17.0 19.6 22.0 净负债比率(%) -62.1 -60.2 -60.2 -61.2 流动比率 5.3 5.2 4.4 3.9 速动比率 4.6 4.3 3.6 3.1 营运能力 总资产周转率 0.2 0.3 0.3 0.3 应收账款周转率 5.8 6.8 6.8 6.8 应付账款周转率 2.4 3.4 3.4 3.4 每股指标（元） 每股收益(最新摊薄) 1.64 1.90 2.27 2.62 每股经营现金流(最新摊薄) 1.65 0.63 1.56 1.99 每股净资产(最新摊薄) 22.62 24.66 27.00 29.65 估值比率 P/E 70.4 60.8 50.8 44.1 P/B 5.1 4.7 4.3 3.9 EV/EBITDA 56.9 42.0 34.3 29.2 平安证券研究所投资评级： 股票投资评级: 强烈推荐（预计 6个月内，股价表现强于市场表现 20%以上） 推 荐（预计6个月内，股价表现强于市场表现 10%至 20%之间） 中 性（预计6个月内，股价表现相对市场表现在10%之间） 回 避（预计6个月内，股价表现弱于市场表现 10%以上） 行业投资评级: 强于大市（预计 6个月内，行业指数表现强于市场表现5%以上） 中 性（预计6个月内，行业指数表现相对市场表现在5%之间） 弱于大市（预计 6个月内，行业指数表现弱于市场表现5%以上） 公司声明及风险提示： 负责撰写此报告的分析师（一人或多人）就本研究报告确认：本人具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格。 平安证券股份有限公司具备证券投资咨询业务资格。本公司研究报告是针对与公司签署服务协议的签约客户的专属研究产品，为该类客户进行投资决策时提供辅助和参考，双方对权利与义务均有严格约定。本公司研究报告仅提供给上述特定客户，并不面向公众发布。未经书面授权刊载或者转发的，本公司将采取维权措施追究其侵权责任。 证券市场是一个风险无时不在的市场。您在进行证券交易时存在赢利的可能，也存在亏损的风险。请您务必对此有清醒的认识，认真考虑是否进行证券交易。市场有风险，投资需谨慎。 免责条款： 此报告旨为发给平安证券股份有限公司（以下简称“平安证券”）的特定客户及其他专业人士。未经平安证券事先书面明文批准，不得更改或以任何方式传送、复印或派发此报告的材料、内容及其复印本予任何其他人。 此报告所载资料的来源及观点的出处皆被平安证券认为可靠，但平安证券不能担保其准确性或完整性，报告中的信息或所表达观点不构成所述证券买卖的出价或询价，报告内容仅供参考。平安证券不对因使用此报告的材料而引致的损失而负上任何责任，除非法律法规有明确规定。客户并不能仅依靠此报告而取代行使独立判断。 平安证券可发出其它与本报告所载资料不一致及有不同结论的报告。本报告及该等报告反映编写分析员的不同设想、见解及分析方法。报告所载资料、意见及推测仅反映分析员于发出此报告日期当日的判断，可随时更改。此报告所指的证券价格、价值及收入可跌可升。为免生疑问，此报告所载观点并不代表平安证券的立场。 平安证券在法律许可的情况下可能参与此报告所提及的发行商的投资银行业务或投资其发行的证券。 平安证券股份有限公司 2022版权所有。保留一切权利。 平安证券研究所 电话：4008866338 深圳 上海 北京 深圳市福田区益田路 5023 号平安金融中心B座 25层 邮编：518033 上海市陆家嘴环路 1333 号平安金融大厦26楼 邮编：200120 北京市西城区金融大街甲 9 号金融街中心北楼16层 邮编：100033