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ICS 3 1.0 3 0L 9 0DB1310廊 坊 市 地 方 标 准DB 1 3 1 0/T 2 2 7 2 0 2 0电 子 专 用 材 料 单 晶 硅 生 长 用 石 英 坩 埚 工 艺技 术 规 范2 0 2 0-1 0-1 6 发 布 2 0 2 0-1 1-1 6 实 施廊 坊 市 市 场 监 督 管 理 局发 布D B 1 3 1 0/T 2 2 7 2 0 2 0I前 言本 标 准 按 照 G B/T 1.1 2 0 0 9 给 出 的 规 则 起 草。本 标 准 由 大 厂 回 族 自 治 县 市 场 监 督 管 理 局 提 出。本 标 准 起 草 单 位：廊 坊 赫 尔 劳 斯 太 阳 能 光 伏 有 限 公 司。本 标 准 主 要 起 草 人：贾 建 亮、黄 永 恩、贾 建 恩、孙 艳、关 海 华、李 继 东。D B 1 3 1 0/T 2 2 7 2 0 2 01电 子 专 用 材 料 单 晶 硅 生 长 用 石 英 坩 埚 工 艺 技 术 规 范1 范 围本 文 件 规 定 了 电 子 专 用 材 料 单 晶 硅 生 长 用 石 英 坩 埚 的 术 语 和 定 义、从 业 人 员、设 备、原 辅 材 料、工艺 过 程、环 境 要 求 和 管 理 要 求。本 文 件 适 用 于 电 子 专 用 材 料 单 晶 硅 生 长 用 石 英 坩 埚 工 艺 技 术。2 规 范 性 引 用 文 件下 列 文 件 对 于 本 文 件 的 应 用 是 必 不 可 少 的。凡 是 注 日 期 的 引 用 文 件，仅 所 注 日 期 的 版 本 适 用 于 本 文件。凡 是 不 注 日 期 的 引 用 文 件，其 最 新 版 本（包 括 所 有 的 修 改 单）适 用 于 本 文 件。G B 8 9 7 8 污 水 综 合 排 放 标 准G B 1 2 3 4 8 工 业 企 业 厂 界 环 境 噪 声 排 放 标 准G B 1 6 2 9 7 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准G B 1 8 5 9 7 危 险 废 物 贮 存 污 染 控 制 标 准G B 1 8 5 9 9 一 般 工 业 固 体 废 物 贮 存、处 置 场 污 染 控 制 标 准G B 5 0 0 3 4 建 筑 照 明 设 计 标 准G B 5 0 0 7 3 洁 净 厂 房 设 计 规 范G B Z 2.1 工 作 场 所 有 害 因 素 职 业 接 触 限 值（第 一 部 分 化 学 有 害 因 素）G B Z 1 8 8 职 业 健 康 监 护 技 术 规 范G B Z/T 1 8 9.8 工 作 场 所 物 理 因 素 测 量 第 8 部 分：噪 声3 术 语 和 定 义下 列 术 语 和 定 义 适 用 于 本 文 件。3.1电 弧 熔 制 a r c f u s i o n利 用 高 温 电 弧 熔 融 石 英 砂 原 料 的 过 程3.2涂 层 c o a t i n g在 石 英 坩 埚 内 壁 或 外 壁 涂 覆 特 种 材 料 的 过 程。4 从 业 人 员4.1 职 业 健 康D B 1 3 1 0/T 2 2 7 2 0 2 02应 按 照 G B Z 1 8 8 的 要 求，对 从 业 人 员 进 行 岗 前、岗 中、离 岗 职 业 健 康 体 检，同 时 配 备 符 合 要 求 的 个体 防 护 用 品，保 证 从 业 人 员 符 合 职 业 健 康 安 全 管 理 要 求。4.2 岗 位 技 能从 业 人 员 应 通 过 三 级 安 全 教 育、岗 位 技 能 培 训，经 考 核 合 格 后 方 可 上 岗。5 设 备5.1 熔 制 设 备应 具 有 电 极 开 闭、升 降、旋 转、冷 却、弧 变、除 尘 等 装 置。5.2 外 表 面 处 理 设 备应 具 有 喷 砂、研 磨 等 功 能。5.3 切 边 倒 棱 设 备应 具 有 对 中、切 制、内 倒 角、外 倒 角 等 功 能。5.4 纯 水 清 洗 设 备5.4.1 手 动 纯 水 清 洗 设 备应 具 有 纯 水 冲 洗 等 装 置。5.4.2 自 动 纯 水 清 洗 设 备应 具 有 产 品 自 动 化 传 输、纯 水 自 动 冲 洗 等 装 置。5.5 涂 层 设 备应 具 有 加 热、旋 转、喷 雾、冷 却 专 用 涂 层 等 装 置。6 原 辅 材 料6.1 石 英 砂石 英 砂 杂 质 元 素 含 量 应 符 合 表 1 的 规 定。D B 1 3 1 0/T 2 2 7 2 0 2 03表 1 石 英 砂 杂 质 元 素 含 量位置元素名称铝 A L 钙C a镁M g钡B a铬C r铜C u铁F e镍N i锰M n锂L i钠N a钾K锆Z r钛T i锗G e磷P硼B内层11 3.5 1.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.5 0.1 0.1 0.8 0.8 0.8 0.5 2.0 2.0 0.1 0.1内层27.7 0.8 0.050 0 0 0.2 0 0 0.1 0.2 0.1 0 1.4 0.7 0 0.1外层1 6.0 1.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.5 0.1 0.1 1.0 1.0 1.0 0.5 2.0 2.0 0.1 0.1注1：锂、钠、钾3 种元素之和2.0。注2：杂质元素含量小于或等于表中所示值。6.2 石 墨 电 极应 符 合 以 下 要 求：a)体 积 密 度：1.6 5 g/c m；b)电 阻 率：8.5 m；c)灰 分：5 0 g/g；d)抗 压 强 度:3 5 M P a；e)抗 折 强 度：1 5 M P a。6.3 涂 层 原 料6.3.1 涂 层 原 料试 剂 纯 度 9 9.9 9%。6.4 纯 水电 阻 率 1 6 M c m。7 工 艺 过 程7.1 熔 制7.1.1 上 料 成 型利 用 离 心 力 和 成 型 装 置，将 石 英 砂 原 料 在 旋 转 的 坩 埚 模 具 内 形 成 一 定 的 形 状 和 厚 度。7.1.2 埚 坯 电 弧 熔 制以 高 温 电 弧 为 热 源，对 坩 埚 模 具 内 的 石 英 砂 原 料 进 行 高 温 熔 制。7.2 外 表 面 处 理D B 1 3 1 0/T 2 2 7 2 0 2 04坩 埚 端 口 朝 下 放 置 于 作 业 平 台，利 用 研 磨 设 备 或 各 类 喷 砂 设 备 去 除 坩 埚 外 表 面 未 完 全 熔 融 的 石 英砂。7.3 切 边 倒 棱利 用 切 边 倒 棱 设 备 的 对 中 装 置 对 坩 埚 进 行 校 正 后，按 高 度 要 求 用 切 断 装 置 对 坩 埚 进 行 切 断，再 利 用内、外 倒 角 装 置，按 要 求 对 坩 埚 切 断 端 面 进 行 倒 角 处 理。7.4 纯 水 清 洗7.4.1 手 动 清 洗将 坩 埚 浸 入 盛 放 纯 水 的 浸 泡 池 内，规 定 时 间 内 取 出，对 坩 埚 内、外 表 面 及 端 口 进 行 纯 水 清 洗。7.4.2 自 动 清 洗将 坩 埚 放 置 于 自 动 进 料 传 输 平 台，按 相 应 工 艺 参 数 对 设 备 进 行 设 置，然 后 对 坩 埚 内、外 表 面 及 端 口进 行 纯 水 清 洗。7.5 涂 层7.5.1 手 动 涂 层人 工 利 用 手 动 涂 层 装 置 将 配 比 好 的 特 种 材 料 涂 覆 在 坩 埚 内 表 面 和（或）外 表 面 上。7.5.2 自 动 涂 层按 相 应 工 艺 参 数 对 设 备 进 行 设 置，自 动 将 配 比 好 的 特 种 材 料 涂 覆 在 坩 埚 内 表 面 和（或）外 表 面 上。8 环 境 要 求8.1 总 则企 业 应 为 员 工 提 供 适 宜 的 作 业 环 境，作 业 场 所 的 洁 净 度、温 度、湿 度、照 度、通 风 换 气、作 业 场 所噪 声、粉 尘、废 弃 物 排 放 应 在 适 宜 的 范 围 内。8.2 洁 净 度、温 度 和 湿 度应 符 合 表 2 的 规 定。表 2 各 工 序 工 作 洁 净 度、温 度 和 湿 度 范 围工序名称 空气洁净要求 温度/相对湿度 R H/%埚坯电弧熔制 应符合 G B 5 0 0 7 3 中规定的 N81 6 3 8 1 0 6 0外表面处理 新风初效处理 1 6 3 3 1 0 8 0切边倒棱 新风初效处理 1 6 3 3 1 0 8 0纯水清洗 应符合 G B 5 0 0 7 3 中规定的 N91 6 3 3 1 0 6 0涂层 应符合 G B 5 0 0 7 3 中规定的 N72 0 3 8 1 0 5 0D B 1 3 1 0/T 2 2 7 2 0 2 058.3 照 度照 度 应 符 合 G B 5 0 0 3 4 的 规 定。8.4 通 风 换 气作 业 场 所 应 通 风 良 好，设 置 适 宜 的 局 部 排 风 除 尘 设 施 和 新 风 补 偿 设 施，应 保 证 每 人 不 小 于 2 0 m/h 的新 风 量。8.5 作 业 场 所 噪 声作 业 场 所 噪 声 应 符 合 G B Z/T 1 8 9.8 的 规 定.8.6 粉 尘粉 尘 应 符 合 G B Z 2.1 的 规 定.8.7 废 弃 物 排 放8.7.1 废 水废 水 经 过 处 理 后 的 排 放 标 准 应 符 合 G B 8 9 7 8 及 相 应 的 地 方 法 律 法 规 的 规 定。8.7.2 废 气废 气 经 过 处 理 后 的 排 放 标 准 应 符 合 G B 1 6 2 9 7 及 相 应 的 地 方 法 律 法 规 的 规 定。8.7.3 厂 界 噪 声厂 界 噪 声 应 符 合 G B 1 2 3 4 8 及 相 应 的 地 方 法 律 法 规 的 规 定.8.7.4 固 体 废 物固 体 废 物 的 收 集、处 置 应 符 合 G B 1 8 5 9 9 及 相 应 的 地 方 法 律 法 规 的 规 定。8.7.5 危 险 废 物危 险 废 物 的 处 置 应 符 合 G B 1 8 5 9 7 及 相 应 的 地 方 法 律 法 规 的 规 定。9 管 理 要 求9.1 作 业 现 场 应 建 立 管 理 制 度，设 置 人 员 专 用 安 全 通 道，明 确 提 示、禁 止 标 识。9.2 作 业 现 场 的 设 备 及 器 物 应 采 取 定 置 管 理，摆 放 整 齐 有 序。9.3 人 员、产 品 进 出 净 化 室 应 使 用 专 用 通 道。9.4 在 线 原 辅 材 料、产 品 应 采 取 防 护 措 施，避 免 受 到 污 染。9.5 现 场 操 作 人 员 应 佩 戴 适 宜 的 头 部、呼 吸 器 官、眼 面 部、手 部、足 部、躯 干 防 护 用 品。_
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