20240307_财通证券_掩膜版行业深度报告：光刻环节关键材料国产掩膜版大有可为_31页.pdf

半导体/行 业专题 报告/2024.03.07 请阅读 最后 一页 的重 要声 明！光刻环节关键材料 国产掩膜 版大有可为 证券研究报告 投 资评 级:看好(维持)最近 12 月市场表现 分 析师 张益敏 SAC 证书编号：S0160522070002 分 析师 白宇 SAC 证书编号：S0160523100001 相关报 告 1.“后摩尔 时代”，国 产材 料助力先 进封装新机 遇 2024-03-05 2.晦极而明，半导体 光学 迈向璀璨 转折点 2024-02-22 3.国产封装设 备发力，勾 勒三维集 成电路新时 代 2024-01-19 掩 膜 版行 业 深度 报 告 核 心观 点 掩 膜 版行业市场规模 广阔，在半导体材料板 块中仅次于硅片的 第 二 大赛道：全球范围来看，半 导 体掩膜版 市场规 模稳步 增长，2018 年达 40.4 亿美元，2022 年增长至 49.0 亿美元，2018-2022 年市场规 模 CAGR 近 5%。按制程来看，2022 年全球半导体 掩膜版出 货结构 主要集 中 在 28nm 以上成熟制程 领域，2022 年 130nm 以上、28-90nm、28nm 以下制程市场 份额占比 分别为 54%、33%、13%。掩膜版逆周期属性 可熨平半导体周期，保持赛道平稳增长：大部分半导体材料需 求周期 紧跟晶 圆厂 稼动率周 期，因此 在半导 体 需求下行 周期时，半导体材料普 遍出现 量价齐 跌状 态。掩膜版 作为光 刻环节 非 耗材产品，主要挂 钩下游新产品 开发需 求，而非 产 品需求。当 晶圆厂 需求低 迷 时，空出的 产能促 进新芯片设定 方案的 加速，芯片 设计公司 将通过 设计新 产品 刺激市场，提 升销量，进而带来 对掩膜 版的增 量需 求。第三方掩膜版厂将承接更多 28nm 及以上的成熟制程订单：对于 28nm以下先进 制程掩 膜版，由 于 技术难度 高、生产 工艺复 杂 等问题，晶 圆厂所 需掩膜版主要 依靠内 部 Inhouse 工厂，如 台积电、英特 尔、中芯国际 Inhouse 厂分别可以量 产制 程 3nm、7nm、14nm 半导体掩模板。对 于成熟制 程而言，第三方掩膜版 厂商能 充分发 挥技 术专业化、规模化 优势，具 有更显著 的规模 经济效益，因此在 结合降 成本及 市 场效率的 情况下，晶圆厂 一 般更倾向 于向独 立第三方掩膜版 厂商采 购成熟 制程 掩膜版。投资 建议：面 板产 业 链 向国 内 转 移，带 动 相 关掩 膜 版材 料 保 持 高 增。130nm及以下半 导体掩 膜版国 产化 处于起步 期，市 场空间 广阔。建议关 注：路维 光电、清溢光电、冠石 科技、龙图 光罩（已 通过 ipo 批复、尚 未上市）。风险提示：面板新开模需求 不及预期；电子束 直写光 刻 机采购进 度不及 预期；海外龙头 厂商竞 争风险。表 1：重点公司投资评级:代码 公司 总市值（亿元）收盘价（03.06）EPS（元）PE 投资评级 2022A 2023E 2024E 2022A 2023E 2024E 688401 路维光 电 53.28 27.56 1.08 0.78 1.16 40.36 34.87 24.09 未覆盖 688138 清溢光 电 47.49 17.80 0.37 0.51 0.70 49.19 34.81 25.65 未覆盖 605588 冠石科 技 30.43 41.34 1.12/25.71/未覆盖 数据来 源：Wind，财 通证 券研 究所。未覆盖 公司 的预 测数 据来 自 Wind 一 致预期（基 于 2024 年 3 月 7 日 收 盘数据）-35%-24%-13%-1%10%21%半导体 沪深300 上证指数 谨请参阅尾页重要声明及财通证券股票和行业评级标准 2 行业专题报告/证券研究报告 1 掩膜版 光刻环节的底 片.5 1.1 掩膜版简介.5 1.2 掩膜版制造工艺.7 1.3 掩膜版行业市场规模 仅次 于硅片、气体赛道.8 1.4 国内外行业竞争格局.10 1.5 掩膜版具备逆周期性.12 2 第三方掩膜版厂未来 发展 空间.13 2.1 Inhouse 及第三方掩膜版 厂 历史发展近况.13 2.2 第三方掩膜版龙头福 尼克 斯发展进程.14 2.3 国内第三方掩膜版厂 扩产 计划梳理.16 3 掩膜版在 OLED 和半导体及先进封装领域应用.17 3.1 掩膜版在 OLED 产品简介.17 3.2 掩膜版在半导体及先 进封 装应用简介.19 4 掩膜版标的梳理.22 4.1 路维光电.22 4.2 清溢光电.24 4.3 龙图光罩.27 4.4 冠石科技.29 5 投资建议.30 6 风险提示.30 图 1.掩膜版在半导体生产 中的应用.5 图 2.掩膜版工作原理.5 图 3.掩膜版生产流程.8 图 4.2022 年半导体材料市 场占比.8 图 5.2022 年掩膜版下游需 求行业结构.8 图 6.2018-2023 全球半导体掩膜版市场规模（百万 美元）.9 图 7.2022 年全球半导体掩 膜版出货结构.9 内容目录 图表 目录 WUBYwPtOmPnMqOmPmRtMpO9P8QaQnPpPpNrNiNqQpMiNrRyQaQpPwONZsRoOMYmNsM 谨请参阅尾页重要声明及财通证券股票和行业评级标准 3 行业专题报告/证券研究报告 图 8.2016-2023 年全球显示市场规模（亿美元）.10 图 9.2016-2026 年掩膜版按地区需求占比.10 图 10.2019 年全球半导体 掩膜版厂商市场格局.11 图 11.2019 年全球第三方 半导体掩膜版厂商市 场格 局.11 图 12.2021 年全球平板显 示掩膜版厂商市场格 局.11 图 13.清溢光电近 3 年平板显示掩膜版销售额（亿 元）.11 图 14.掩膜版逆周期性.12 图 15.半导体芯片制程进 展.13 图 16.福尼克斯近 10 年股 价波动（美元）.15 图 17.福尼克斯投资者交 流会.16 图 18.OLED 成膜.18 图 19.Open Mask 与 Fine Metal Mask 对比图.18 图 20.Invar36 合金.18 图 21.OLED 显示屏.18 图 22.TSV 工艺流程图.20 图 23.TSV 3D 封装示意图.20 图 24.RDL 示意图.21 图 25.混合 RDL 工艺的关键步骤.22 图 26.中国首条 G11 代掩膜版.23 图 27.路维光电 2019-2023Q3 营业收入（亿元）.24 图 28.路维光电 2019-2023Q3 净利润（亿元）.24 图 29.平板显示掩膜版曝 光示意图.25 图 30.半导体掩膜版曝光 示意图.26 图 31.清溢光电 2019-2023Q3 营业收入（亿元）.26 图 32.清溢光电近四年研 发投入（亿元）.26 图 33.清溢光电佛山生产 基地签约.27 图 34.龙图光罩掩膜版产 品发展历程.27 图 35.全球功率半导体集 成度提高.28 图 36.龙图光罩 2020-2023H1 营业收入（亿元）.29 图 37.龙图光罩 2020-2023H1 净利润（亿元）.29 图 38.冠石科技光掩模项 目投资签约.29 图 39.冠石科技 2019-2023Q3 营业收入（亿元）.30 图 40.冠石科技 2019-2023Q3 净利润（亿元）.30 谨请参阅尾页重要声明及财通证券股票和行业评级标准 4 行业专题报告/证券研究报告 表 1.掩膜版根据基板材质 分类.6 表 2.掩膜版根据下游行业 分类.7 表 3.全球掩膜版行业发展 历程.10 表 4.半导体芯片公司和掩 膜版公司业绩增速对 比.13 表 5.国内外半导体掩膜版 厂商精度对比.14 表 6.国内第三方掩膜版厂 商发展情况.14 表 7.福尼克斯 2022 年收 入结构行业分类（亿 美元）.15 表 8.福尼克斯 2022 年收 入结构地区分类（亿 美元）.16 表 9.国内第三方掩膜版厂 扩产计划.17 表 10.FMM 生产方式.19 表 11.先进封装分类.19 表 12.路维光电客户情况.23 表 13.清溢光电按下游行 业营业收入构成.25 表 14.龙图光罩主营业务收 入（万元）.28 谨请参阅尾页重要声明及财通证券股票和行业评级标准 5 行业专题报告/证券研究报告 1 掩膜版光刻 环节的 底片 1.1 掩 膜版 简介 掩膜版又称光罩、光掩膜、光刻掩膜版，是微电子 制造领域中光刻工艺 中所 使用的图形母版。掩膜 版的作 用是将设 计者的电 路图形 通过曝光 的方式转 移到下 游行业的基板或晶 圆上，从 而 实现批量化生 产，是承 载 图形设计和工 艺技术等 知 识产权信息的载体。作为光 刻 复制图形的基 准和蓝本，掩膜版是连接 工业设计 和 工艺制造的 关键，掩 膜版 的精 度和质 量水 平会 直接 影响 最终下 游制 品的 优品 率。图1.掩膜版 在半 导体 生产 中的 应用 数据来 源：龙图 光罩 招股 说明 书，财 通证券 研究 所 掩膜版的功能类似于 传统 照相机的“底片”，其工作 原理如下图所示：曝 光 光 源照射在掩膜版上 面，通过 曝 光等工艺后，下游制程 材 料 可以大批量 得到将图 形 设计及工艺 技术 信息“复 印”后的材 料。图2.掩膜版 工作 原理 数据来 源：清溢 光电 招股 说明 书，财 通证券 研究 所 谨请参阅尾页重要声明及财通证券股票和行业评级标准 6 行业专题报告/证券研究报告 掩 膜 版 主 要 由 基 板、遮 光 层 和 保 护 膜 组 成，其 中 基 板 占 直 接 原 材 料 成 本 比 重 达90%。根据基 板材质的 不 同，掩膜版 产品 主要 可分 为石英 掩膜 版、苏打 掩膜 版、凸版和 菲林，具 体图 示和 介绍如 下表。表 1.掩膜 版根 据基板 材 质 分类 产品名称 产品图例 产品介绍 主要应用领域 石英掩 膜版 高纯石 英玻 璃作 为基 板材 料，光 学透 过率高，热 膨胀 率低，相 比苏 打玻璃 更为 平整和耐磨，使 用寿 命长，主 要用于 高精 度掩膜版的 制作 主要用 于平 板显 示制造和 半导 体制 造领域 苏打掩 膜版 使用苏 打玻 璃作 为基 板材 料，光 学透 过率较高，热膨 胀率 相对 高于 石英玻 璃，平整度和耐 磨性 相对 弱于 石英 玻璃，主要 用于中低精 度掩 膜版 的制 作 主要用 于半 导体 制造、触 控制 造和 电路板制 造等 领域 凸版 凸版使 用不 饱和 聚丁 二烯 树脂作 为基 板材料，主 要用 于液 晶显 示器（LCD）制 造过程中定 向材 料移 印 主要用 于液 晶显 示制造和 电路 板制 造等领域 菲林 菲林使 用 PET 作 为基 板材 料，主 要应 用于电路板 掩膜 的制 作 主要用 于液 晶显 示制造和 电路 板制 造等领域 干版 干版是 以卤 化银 等感 光乳 剂为基 材，应用于低精 度掩 膜版 产品 的制 作 主要用 于液 晶显 示制造和 电路 板制 造等领域 数据来 源：清溢 光电 招股 说明 书，路 维光电 招股 说明 书，财通 证券 研究 所 根据下游应用行业的 不同，掩膜版产品可以分为平 板显示掩膜版、半导体掩 膜版、触控 掩膜版 和电路板 掩膜 版。相较 而言，半 导体 掩 膜版在 最小 线宽、CD 精度、位置精度 等重 要参 数方 面，均显著 高于 平板 显示、PCB 等 领域 掩膜 版产 品。谨请参阅尾页重要声明及财通证券股票和行业评级标准 7 行业专题报告/证券研究报告 表 2.掩膜 版根据 下 游行 业 分类 下游行业 具体领域 掩膜版的世代划分 平板显 示 1、薄膜晶 体管 液晶 显示 器（TFT-LCD）制造，包 括 TFT-Array制程 和 CF 制 程；2、有源矩 阵有 机发 光二 极管 显示器（AMOLED 制 造）；3、扭曲/超 扭曲 向列 型液 晶显 示器（TN/STN-LCD）制 造；在平板 显示 领域，根 据掩 膜版尺寸的 不同，掩 膜版 可划 分为不同的 世代，目 前主 要的 世代线为 4 代及 以下、5 代、6代、8.5 代、8.6 代及 11 代。半导体 1、集成电 路（IC）制造；2、集成电 路（IC）封装；3、半导体 器件 制造，包 括分 立器件、光 电子 器件、传 感器及 微机电（MEMS）等；4、LED 芯片 外延片 制造；在平板 显示 行业 以外 的其 他领域，掩 膜版 无世 代线 的划 分。触控 内嵌式 触控 面板（In Cell、On Cell）、外 挂式 触控（OGS、Metal Mesh）等触 摸屏 的制造；电路板 PCB、柔性 电路 板（FPC）、高密 度互 连线 路板（HDI）等；数据来 源：清溢 光电 招股 说明 书、路 维光电 招股 说明 书，财通 证券 研究 所 1.2 掩 膜版 制造工 艺 掩膜版的制造工艺复杂，主要为涂胶、图形转换、图形光刻、蚀刻、光学检查、缺陷修补等 13 步步骤。其中，涂 胶部 分的 光刻 胶进 口依赖 程度 高，国产 化替 代亟待解决。图形 光刻 是掩 膜 版制造的 最重 要环节，依 赖于精密度超 高的光刻 机，一机难求。光刻 需要 先对 掩膜 基板 涂胶，后利 用光 刻 机进行 表面 曝光，以 130nm 为分界线，130nm 以上 的光 刻设备 采用 激光 直写 设备，但随 着掩 膜版 的线 宽线 距越来越小，曝光 过程中就 会 出现严重的衍 射现象，导 致曝光图形边 缘分辨率 较 低，图形失 真，因 此 130nm 及 以下制程 需 采用 电子 束光 刻完成。缺 陷修 补是 对丢 失的细微铬 膜进 行沉 积补 正以 及对多 余的 铬膜 进行 激光 切除，修补 机也 依赖 于进 口。谨请参阅尾页重要声明及财通证券股票和行业评级标准 8 行业专题报告/证券研究报告 图3.掩膜版 生产 流程 数据来 源：清溢 光电 合肥 工厂，财 通 证券研 究所 1.3 掩 膜版 行业 市 场规 模 仅次 于硅 片、气 体赛道 从 半导体材料市场占比细分来看，掩膜版已经成为继硅片后第 三 大半导体材料，2022 年半导体材料市 场规 模 占比 13%，略低于气 体 14%占比。按照 掩膜 版 下游需求行业结构 来看，掩 膜 版市场主要 可 分为 平板 显 示掩膜版 市场、半导体 掩 膜版市场 和 其它。根 据华 经产 业研究 院，2022 年半 导体 掩膜版 占 比 60%，平 板显 示掩膜版占 比 28%，平板 显示 掩膜版 可以 分为 LCD 和 OLED，分别 占比 23%、5%，其他占 比 12%。图4.2022 年半 导体 材料 市场 占 比 图5.2022 年掩 膜版 下游 需求 行业 结构 数据来 源：华经 产业 研究 院，财通 证 券研究 所 数据来 源：华经 产业 研究 院，财通 证 券研究 所 2022 年全球半导体掩膜版 市场规模达到 49 亿美元，其中 成熟制程占比 87%。全球范围 来看，半导 体掩膜版 市场 规模 近年 来稳 步增 长，2018-2022 年，全球 半 导体掩膜版 市场 规模由 40.41 亿美元 增长至 49.00 亿美 元，复 合增 长率达 4.9%。按制 谨请参阅尾页重要声明及财通证券股票和行业评级标准 9 行业专题报告/证券研究报告 程来看，2022 年 全球 半导 体 掩膜 版 出 货结 构 主 要集 中在 28nm 以 上成 熟制 程 领域，2022 年 130nm 以 上成 熟制 程占据 主要 市场 份额，出 货量占 比 54%，28-90nm 占比33%，28nm 以 下先 进制 程 出货量 占比 仅 为 13%。图6.2018-2023 全 球半 导体 掩膜 版市场 规模（百万 美元）图7.2022 年全 球半 导体 掩膜 版 出货结 构 数据来 源：中商 情报 网，财通 证券 研 究所 数据来 源：SEMI，冠 石科 技公 司公 告，财 通证 券研 究所 平板显示掩膜版需求 的提 升表现在掩膜版种类 和数 量两方面。平 板显 示行 业 长期发展呈现出像 素高精度 化、尺寸大型化、竞争白 热 化、转移加速 化、产品 定 制化等特点，受益 于电视平 均 尺寸增加，大 屏手机、车 载显示和公共 显示等需 求 的拉动，中国大陆 平板显示 行 业的快速增长 带动了平板 显示掩膜版持 续向高世 代、高精度 方向发展。近年来 全 球液晶面板市 场产量和 需 求量迅猛增长，全球液 晶 面板市场规模 近 几年 一直 保持 在 1000 多 亿美 元大 关，市 场规模 庞大，且 面板 尺寸 不断创新，对掩 膜版 的产 品种 类和数 量需求 带 来了 很大 的提升。根据 Omdia 分析，中国大 陆平板显示掩膜版需 求占 全球比重 不断提升，从 2017年的 32%上 升到 2022 年的 51%，预 计到 2025 年，中国 大 陆平 板显 示行 业掩 膜版需求全 球占 比将 达到 58%。全球 平板 显示 掩膜 版 市 场规模 将从 2022 年的 61 亿元增长 至 2025 年的 65 亿元。由此 估算，中 国大 陆平 板显示 掩膜 版市 场规 模有 望从2022 年的 31.11 亿 元增 长 至 2025 年的 37.05 亿元。谨请参阅尾页重要声明及财通证券股票和行业评级标准 10 行业专题报告/证券研究报告 图8.2016-2023 年 全球 显示 市场 规模（亿美 元）图9.2016-2026 年 掩膜 版按 地区 需求占 比 数据来 源：华经 产业 研究 院，财通 证 券研究 所 数据来 源：Omdia，财 通证 券研 究所 1.4 国 内外 行业竞 争格 局 从掩膜 版发展来看，掩膜 版诞生至今 有 70 多年历史，技术演变节奏较慢，目前 正处于第五代掩膜版时 期，已经保持了近 50 多年，且 较长 时间内会继续保 持。第二代掩膜 版在 二十 世纪 50 年 代末 60 年 代初 诞生，主 要 为菲林 掩膜 版，而今 仍在 部分行业使用。从目前可 预 知的替代品情 况来看，现 阶段无掩膜技 术 无法满 足 对图形精度要求高 以及对其 生 产效率有要求 的行业运 用，故掩膜版行 业现阶段 技 术更迭仍然 较慢，第 五代 掩膜 版仍有 较长 的应 用时 间。表 3.全球 掩膜 版行 业发 展 历程 历程 时间 名称 使用情况 第一代 掩膜 版 二十世 纪 50 年代 手工刻 红膜 已被淘 汰 第二代 掩膜 版 二十世 界 50 年 代末 60 年 代初 菲林掩 膜版 仍在部 分行 业小 范围 使用，如 PCB、FPC、TN/STN 等 第三代 掩膜 版 二十世 纪 60 年代 干版掩 膜版 仍在部 分行 业使 用，如 PCB、HDI、Leadframe 等 第四代 掩膜 版 二十世 纪 70 年代 氧化铁 掩膜 版 已被淘 汰 第五代 掩膜 版 二十世 纪 70 年代 苏打掩 模板；石英掩 模板 广泛运 用于 各种 对掩 膜版 存在需 求的 行业 数据来 源：前瞻 产业 研究 院，财通 证 券研究 所 掩膜版 市场份额占比 最高 的 主要为半导体掩膜 版和 平板显示掩膜版两大 类。在 全球半导体掩膜版 市场 当中，2019 年晶圆厂自行 配套 的 掩膜版工厂规 模占 比为65%，独立的第三方掩膜 版厂商规模占比 仅为 35%。其中，独立 第三 方掩膜 版厂商主要 以美 国 Photronics、日本 Toppan、日本 DNP 三者 为主，占 比八 成以 上，其余包括 日本 HOYA、日 本 SKE 电子 和 中国 台湾 光罩 等，具 体竞 争格 局如 下图。半导体掩膜版具有较 高的 进入门槛，对技术研发和 生产工艺控制水平的 要求 较高，国内半导体掩膜版厂商还处于追赶阶段，整体技术相对落后，市场规模占比低。谨请参阅尾页重要声明及财通证券股票和行业评级标准 11 行业专题报告/证券研究报告 国内上 市公 司主 要有 清溢 光电、路维 光电、冠石 科技，此外，龙图 光罩 已通 过 IPO复批，非上 市公 司有 中 微 掩膜、华润 迪思 微、广州 新锐等。图10.2019 年全 球半 导体 掩膜 版 厂商市 场格 局 图11.2019 年全球 第 三方 半导 体 掩膜版 厂商 市场 格局 数据来 源：SEMI，财 通证 券研 究所 数据来 源：SEMI，财 通证 券研 究所 平板显示掩膜版 方面，美 日韩占据垄断地位，竞争 格局较为集中。Omdia 统 计，2021 年全 球平 板显 示掩 膜 版厂商 排名 前五 分别 是 Photronics、SKE、HOYA、LG-IT 和 清溢 光电，全球 销售 额 占比 达 88%，厂商 集中 度高。国内平板显示掩膜版 近几年 发展迅速。2020 年到 2022 年 清溢 光电 平板 显示 掩膜版营业 收入 分别 为 3.39、3.71、5.83 亿元，2021 年和 2022 年同 比增 速为 9.38%、57.03%。路 维光电 2020 年和 2021 年 平板 显示 掩膜版 营业收 入分 别为 2.49、3.55亿元，2021 年同 比增 速 42.57%。路维 光电 打破 国外 G11 高世 代线 掩膜 版技 术 垄断，成 为全 球第 五家 具备 G2.5-G11 全 世代 掩膜 版生 产能力 的厂 家，2021 年 G11掩膜版 全球 市占 率达 到 了 19.21%。图12.2021 年全 球平 板显 示掩 膜 版厂商 市场 格局 图13.清溢光 电 近 3 年 平板 显示 掩膜版 销售 额（亿元）数据来 源：Omdia，财 通证 券研 究所 数据来 源：Choice，财 通证 券研 究所 国产掩膜版存在较大 供给 缺口，国产替代有望 加速 发展。目 前，中国 半导 体 掩膜版的国 产化 率 仅 10%左右，高端 掩膜 版国 产化 率仅 有 3%。平 板显 示掩 膜版 国产化率约 在 20%，国内 平板 显示掩 膜版 有望 凭借 其价 格优势 和更 快的 交付 速度 快速实现国产替代，整体来 看，大陆掩膜版 的发展滞 后 于平板显示投 资的增长，特别 谨请参阅尾页重要声明及财通证券股票和行业评级标准 12 行业专题报告/证券研究报告 在 AMOLED/LTPS 高 精度 掩膜版 上国 产化 率不 足，仍严重 依赖 进口，国 产替 代的空间巨 大。1.5 掩 膜版 具备 逆 周期 性 掩膜版的逆周期性 主要表 现在两个方面。第一，当 半导体 处于 下行周 期，晶 圆制造厂商的产能 利用率不 足 时，为了提升 产能利用 率，晶圆制造厂 商会向众 多 的中小芯片公司提 供晶圆代 工 服务，从而生 产的半导 体 产品类型亦会 增多，相 应 第三方掩膜版厂商 的 掩膜版 需 求量 上升；第二，当下 游 需求低迷时，空出的产 能 促进新芯片设定方 案的加快，半导体产能 芯 片设计公 司 将通过设计新 产品刺激 市 场，提升销量，新 产品也会 带 来对掩膜版的 增量需求。类似于机械制 造业的模 具，掩膜版产品需求 主要依赖 下 游行业的产品 创新，跟 下 游产品的销量 和价格没 有 直接联系。因此，随着我国 半 导体芯片行业 的国产替 代 推进，芯片公 司将会不 断 推出新的产 品型号，对于 掩膜 版的产 品需 求不 断增 加。图14.掩膜版 逆周 期性 数据来 源：信风 TradeWind 微信 公众 号，财 通证 券研 究所 2023 年为半导体芯片 行业 的下行周期，相关公司 业绩 在收入端和利润端 普遍 出现下滑，然而掩膜版公司业 绩取得了显著的正增 长，表现出逆周期性。根据 Wind 数据显示，已 经披 露的 2023 年度 和 前三 季度 营业 收入 方面：半导 体芯 片龙 头公 司台积电全年 同 比下 降 4.51%，中 芯国 际 前 三季 度 同比 下降 12.35%；然 而，第三 方独立掩膜 版龙 头福 尼克 斯全年 同比 上 升 8.19%，清 溢光 电 前三 季度 同比 上 升 21.97%。净利润 方面：台 积电 全年 同比下 降 17.34%，中 芯国 际前三 季度 同比 下 降 58.70%；然而，掩膜 版龙头 福 尼克 斯 全年 同比 上升 5.64%，清溢光 电、路维 光电 前三 季度同比上 升 36.87%、37.38%。谨请参阅尾页重要声明及财通证券股票和行业评级标准 13 行业专题报告/证券研究报告 表 4.半导 体芯 片公 司和 掩 膜版公 司业 绩增 速对 比 公司类型 公司名称 2023 年度/Q1-3 营业收入 同比增速 2023 年度/Q1-3 净利润同 比增速 半导体 芯片 台积电-4.51%（2023 年度）-17.34%（2023 年 度）中芯国 际-12.35%-58.70%掩膜版 公司 福尼克 斯 8.19%（2023 年 度）5.64%（2023 年 度）清溢光 电 21.97%36.87%路维光 电-1.96%37.38%数据来 源：Wind，财 通证 券研 究所 2 第 三 方 掩 膜 版 厂未 来 发 展 空 间 2.1 Inhouse 及第三 方掩 膜版 厂历 史发展 近况 根 据 与 下 游 晶 圆 厂 商 是 否 形 成 配 套，半 导 体 掩 膜 版 厂 商 主 要 分 为 晶 圆 厂 自 建（Inhouse）及第三方掩膜 版厂两大类。具 体来 看，对于 28nm 以 下先 进制 程 掩膜版，由 于 技 术 难 度 高、生 产 工 艺 复 杂 等 问 题，晶 圆 厂 所 需 掩 膜 版 主 要 依 靠 内 部Inhouse 工厂，如 台积 电、英特尔、中 芯国际 Inhouse 厂 分别 可以 量产 制程 3nm、7nm、14nm 半导 体掩 模板；对于 成熟制 程而言，由 于掩膜 版制造 为重资 产投 资，每条产线需要 独立采购 光 刻、检测、涂 胶、显影 等 设备，其复杂 难度无异 于 晶圆制造厂，而第 三方掩膜 版 厂商能充分发 挥技术专 业 化、规模化优 势，具有 更 显著的规模经济效 益，因此 在 结合降成本及 市场效率 的 情况下，晶圆 厂一般更 倾 向于向独立 第三 方掩 膜版 厂商 采购成 熟制 程掩 膜版。图15.半导体 芯片 制程 进展 数据来 源：电子 发烧 友，财通 证券 研 究所 在半导体掩膜版领域，国 内第三方掩膜版 厂商 与国 际先进厂商存在一定 差距，主要体现在：在 晶圆 制造 用 掩膜版 领域，国 内独 立第 三方掩 膜版 厂 商 CD、TP 精度 谨请参阅尾页重要声明及财通证券股票和行业评级标准 14 行业专题报告/证券研究报告 的技术 能力 集中 在 100nm 节点以 上，与国 际领 先企 业有着 较为 明显 的差 距；在 IC封装 和 IC 器件 掩膜 版领 域，在精 度方 面与 国际 厂商 同样 存 在一 定的 差距。表 5.国内 外半 导体 掩膜 版 厂商精度 对比 产品 技术水平 国内掩膜版厂商 国际掩膜版厂商 半导体 掩膜 版 IC 封装 最高水 平 CD 精 度：20nm TP 精 度：30nm CD 精 度：10nm TP 精 度：20nm 主流水 平 CD 精 度：100nm TP 精 度：100nm CD 精 度：50nm TP 精 度：100nm IC 器件 最高水 平 CD 精 度：20nm TP 精 度：50nm CD 精度 10nm TP 精 度：20nm 主流水 平 CD 精 度：50-100nm TP 精 度：150-250nm CD 精 度：15-50nm TP 精 度：50-100nm 数据来 源：路维 光电 招股 说明 书，财 通证券 研究 所 第三方掩膜版厂商 由 美日 韩大厂主导，中国大陆 技 术发展 较为缓慢。全 球 领 先的掩膜版 第三 方厂 商制 程节 点已经 可以 达 到 130nm 乃至 28nm 以 下先 进制 程，中国第三方 掩膜 版厂 商生 产技 术主要 在 130nm 制程 以上，以低 端为 主，中高 端制 程高度依赖 于进 口。表 6.国内 第三 方掩膜 版厂商 发展 情况 公司 进程发展情况 清溢光 电 量产 180nm，具 备 150nm 关键技 术 路维光 电 180nm 龙图光 罩 130nm 冠石科 技 投资建 设生 产 48-28nm 制程 中微掩 膜 130nm 迪思微 130nm 数据来 源：Wind，龙 图光 罩招 股说 明 书，财 通证 券研 究所 2.2 第 三方 掩膜版 龙头 福尼克 斯发 展进程 福尼克斯（Photronics）成 立于 1969 年，是世 界上领 先的掩膜版制造商之 一，公司于 1987 年在纳斯达克上 市。福尼 克斯 目前 在全 球 范围内 拥 有 11 家 工厂，分别分布于 中国 台湾（3）、中国 大陆（2）、韩 国、美国（3）和欧 洲（2），产 品主 要应用于半导体芯 片和显示 面 板行业。目前，福尼克 斯 半导体光掩模 的研究和 开 发主要集中 在实 现 14nm 节点 及更小 制程 和 EUV 上；对 于显示 掩膜 版主 要集 中在 第 8代线和 第 10 代 线上。受益于“摩尔定律”延续 带来的掩膜版种类和 数量 的 不断 增加，截止 于 2024 年 1月 26 日，近十年福尼克斯 股价累计涨幅为 265.33%，年化收益率达到了 13.72%。期间有 三次 股价 得到 了大 涨，2020 年 受益 于 5G 信 息通讯，2022 年 与全 球半 导体逆周期 相关，2023 年受 益 于 AI 热潮。谨请参阅尾页重要声明及财通证券股票和行业评级标准 15 行业专题报告/证券研究报告 图16.福尼克 斯 近 10 年股 价波 动（美元）数据来 源：Wind，财 通证 券研 究所 按照 收入结构 行业分 类 来 看，2022 年福尼克斯实 现 营业收入 8.25 亿美元，同比增长 24.2%，其中，IC 板块占比 71.88%，显示板块占 比 28.12%。IC 板块 收入 5.93亿美元，以 28nm 以 上成 熟 制程为主，占比 67.12%，同比增 长 38.8%，28nm 及以下先进 制程 掩膜 版占比 32.88%，同比 增长 19.9%；平板 显示 板块 以高端 掩 膜版 为主，占比 80.60%，同比 增 长 20.1%，中低 端 掩 膜版 占比 19.40%，同比 减 少 7.1%。表 7.福尼 克斯 2022 年收 入结构 行业 分类（亿 美元）行业 产品 营业收入 占比 同比增长 半导体 先进制 程 1.95 32.88%19.9%成熟制 程 3.98 67.12%38.8%半导体 总和 5.93 71.88%28.9%平板显 示 高端 1.87 80.60%20.1%中低端 0.45 19.40%-7.1%平板显 示总 和 2.32 28.12%13.7%所有行 业 总和 8.25 100%24.2%数据来 源：福尼 克 斯 2022 年年 度报 告，财 通证 券研 究所 按 照收入结构 地区分 类来 看，福尼克斯营业收入区 域集中度明显，近六成集 中在中国市场。其中，2022 年 营业收 入中 国台 湾占 比 35.27%，中 国大 陆占 比 25.82%，韩国占 比 18.91%，美 国占 比 15.27%，欧洲 占 比 4.36%，其他 国家 及地 区占比 0.24%。相比较 于 2021 年，中国 大 陆营业 收入 同比 增长 了 83.7%，远 远超 过其 他地 区，表明 中国 大陆 掩膜 版需 求市 场广阔，给 国产 替代 带来 了机遇。谨请参阅尾页重要声明及财通证券股票和行业评级标准 16 行业专题报告/证券研究报告 表 8.福尼 克斯 2022 年收 入结构 地区 分类（亿 美元）地区 营业收入 占比 同比增长 中国台 湾 2.91 35.27%17.2%中国大 陆 2.13 25.82%83.7%韩国 1.56 18.91%-0.2%美国 1.26 15.27%20.2%欧洲 0.36 4.36%0.4%其他 0.02 0.24%4.9%总和 8.25 100%24.2%数据来 源：福尼 克 斯 2022 年年 度报 告，财 通证 券研 究所 根据 Wind 福尼克斯公开 资料显示，半导体掩 膜 版 的推进源于产能推进 和设 计活动，主要表现在以下几个 方面：在更多 应用中 可以 更广泛 地使用 半导 体；供 应链区域化推动半 导体晶圆 厂 投资创造多余 的生产能 力 并推动光掩模 需求；设 计 差异化正成 为主 流因 素和 前沿 应用；扩 大 极 紫外 线光 刻 机（Extreme Ultra-violet）的采用推动 了半 制造 商的 传统 外包技 术节 点，增加 商业 供应商 的 TAM。平板显示掩膜版方面，主 要源于先进的显示创新 驱 动：全球 面板 制造 商通 过 创新赢得 AMOLED 市 场 份 额；全 球 激 烈 的 竞 争 推 动 创 新 和 更 高 的 掩 膜 版 价 值；AMOLED 制 造正 在 向 更大 的尺寸 发展，需 要高 质量、先进 的光 掩 膜 版。图17.福尼克 斯投 资者 交流 会 数据来 源：Photronics,Inc.2023 Q4-Results，财通 证券 研究 所 2.3 国 内第 三方掩 膜版 厂扩产 计划 梳理 随着掩膜版需求的不 断提 升，国内第三方掩膜版厂 近期纷纷扩产。国 内第 三 方掩膜版厂 主要 集中 在 130nm 以上成熟 制 程，国产 替代 进程加剧 国内 掩 膜版 需求 的上升，清溢光电、路维光 电、冠石科技、龙图光罩 和 无锡迪思微 都 增加投资 加 快掩膜版制程推进，国内第 三 方掩膜版 迎来 了蓬勃发 展，有望在近几 年将制程 节 点提升到 28nm 先 进制 程。谨请参阅尾页重要声明及财通证券股票和行业评级标准 17 行业专题报告/证券研究报告 表 9.国 内第 三方 掩膜 版厂 扩产计 划 公司名称 扩产计划 投资目标 清溢光 电 2023.12.15，清 溢光 电与 南 海区政 府签 约佛 山生 产基 地，计划投 资 35 亿 元，整体 用 地约 80 亩 20 亿 投资 高精 度 平 板显 示 掩膜版、15 亿 投资 高端 半导 体 掩膜版 路维光 电 2023.8.31 对外 投资 进展 公 告 显示，项 目公 司路 芯半 导体拟投 资 20 亿元 人民 币在 苏 州工业 园区 建掩 膜版 产线 项目 拟建 设 130nm-28nm 制程 节点的半导体 掩膜 版产 线 冠石科 技 2023.5.17，冠石 科技 与宁 波 前湾 新区 管理 委员 会签 约，项目总 投 资 20 亿元，拟 用 地约 68.8 亩，项目 建设 周 期计划为 60 个月 45-28nm 成熟 制程 的半 导 体光掩膜版 龙图光 罩 2023 年 12 月 IPO 募集 投 资 6.7 亿元 于珠 海市 高新 区建立项目基 地，土 地 30 亩 130nm-65nm 高 端半 导体 芯 片掩膜版研 发及 产业 化基 地 无锡 迪 思微 2023.11.28 通过 B 轮完 成 5.2 亿股 权融 资 用于迪 思维 电子 高端 掩膜 项目的28nm 产 能建 设 数据来 源：各公 司公 告，财通 证券 研 究所 3 掩膜版在 OLED 和 半 导 体 及 先 进封 装 领 域 应 用 3.1 掩 膜版 在 OLED 产品简 介 目前，量产的有机发光二 极管（OLED）成膜技术是 真空蒸镀与金属掩膜 版（Metal Mask）相结合的方法。在 OLED 面 板的 制造 过程 中，蒸 镀、化学 气相 沉积 CVD工艺由 于只 需要 在基 板特 定的地 方蒸 镀上 有机 物、金属等 材料 或 者 CVD 成 膜，因此需要 使用 掩膜 版来 保证 材