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1|请务必仔细 阅读报 告尾部 的 投 资评级说 明和声明 行业深度研究|半导体 国产替代浪潮势不可挡，把握设备材料布局窗口期 半导体行业 2024 年策略报告 核心结论 行业评级 超配 前次评级 超配 评级变动 维持 近一年 行业 走势 相对表现 1 个月 3 个月 12 个月 半导体 3.71-6.80-10.65 沪深 300-3.67-11.26-2.57 分析师 贺茂飞 S0800521110001 18217567458 相关研究 半导体：AI 变革掀起 科技革 命，服 务器领航 复苏征程 半 导 体 行 业 2023 年 中 期 策 略 报 告 2023-04-26 半导体：国产替 代进入 深水区，布 局高壁垒 芯片 正 当 时 半 导 体 行 业 2023 年 策 略 报 告 2022-11-25 半 导 体：把 握 结 构 分 化 机 会，关 注 汽 车 电 子/芯 片 产 业 链 2022 上 半 年 电 子 行 业 前 瞻 2022-07-06 2023 年 以 来，国 内经济 呈现弱 复苏态 势，虽然电 子下游消 费需求 复苏较 为缓慢，但 逐渐 向 好发展，部 分芯片设 计公司 库存不 断降低，预计 半导体 设计公 司基本 面拐 点临近。另一 方面，年初市 场对今 年国内 晶圆厂 资本开 支悲观 预期有 所修复，半 导体设 备和材 料板块 自 2 月 开 始表现 好于行 业平 均水 平。年 中市场 开始担 忧美 国出台 新一轮 半导体 出口管 制政策，同 时受晶 圆代工下 游需求 影响，晶圆 厂整体 稼动率 处于较 低位置，今年 以来一 线晶圆 厂设备 招标较 少，设备和 材料板 块出现 一 定 幅 度 调 整。站 在 当 前 时 点，我 们 认 为 晶 圆 厂 产 能 稼 动 率 回 升 趋 势 明 朗，国 内 晶 圆 大 厂 扩 产 愈 来 愈 近，同 时 市 场 对 美 国 出 台 新 一 轮 出 口 管 制 政 策 的 担 忧已 经 充 分 计 价，半 导 体 设 备 和 材 料 国 产 替 代 大 势 所 趋，当 前 是 布局 设 备 和 材 料板 块 的 宝贵 窗 口期。半 导 体 设备：供 给 端，1）美 日荷企 业领跑 市场。TechInsights 数 据显示，2022年 销售额 全球前 10 的 半导体 制造设 备厂商 有 4 家美企、4 家日 企和 2 家荷 企，其 中美商 在刻蚀、CVD 设备 等市占 率靠前，日企 在刻蚀、ALD、清 洗设 备、划片 机 等优 势 明显；荷兰 企业则 专 长于 光 刻机、ALD 设备等，国 产 设备 全 球市占率 仍较低。制 程方 面，光刻机 推进较 慢，其余 国产设 备在 28nm 及以 上已有 较多布 局；14nm 及以 下节点 中刻 蚀、去 胶、清 洗设备 突破较 快。2）政策 或将加 速国 产替代。22 年 以来，美国、荷兰、日本 先后发 布对管 制新规 或外贸 法令，半导 体逆全 球化趋 势显著。近年 来我国 也出台 了系列 政策，为半 导体设 备行业 提供资 金、税收、技术 和人才 等方 面的支 持。根据 22 年中国 招标网 的 半导 体设备 中标 数据，较多 设备品类 下半年 国产中 标占比 均有提 升，体 现出国 内利好 政策与 海外 管控双 重刺激 下，部分厂商 有望提 高国产 设备验 证的积 极性，国产 设备加 速导入。需求端，中国大 陆 本土晶 圆代工 产能仍 未满足 需求，大陆 晶圆厂 中长期 看还有 较大的 扩产空 间。根据 SEMI，预计 2026 年 中国 大陆 12 寸晶 圆产能 全球占 比提 高到 25%，达到 240 万片/月。2023 年 上半 年国内主 要晶圆 厂产能 利用率 较低，产能 爬坡减 缓，上半 年设 备招标 以小厂 为主。展望 23Q4 及 24 年，我 们认为 随着主 要晶圆 厂稼动 率恢复，国 内一线 晶圆厂 扩产愈来 愈近，国内 半导体 设备公 司将受 益。半 导 体 材 料：半 导 体材 料 受益 国 产 替 代 进 行 时。随 着 下游 晶 圆 厂 在 成 熟/先 进 制程 取得突 破进展，我 们对于未 来半导 体材料 国产化 率提升 保持信 心。目前我 们重点 关注光 刻胶、CMP 抛 光液/抛光 垫、电 子特气、硅片等 环节。其中光 刻胶端，目 前国内 晶圆厂 导入节 奏加快，国内 光刻胶 厂商在 研发、送样均 处于加 速情况；CMP 抛光液/抛光垫 端，国内 龙头已 在部分 晶圆厂 取得较 高份额，未来有 望实现高 比例国 产化替 代；电子特气 端，国内厂 商均增 加料号推 出以快 速满足 晶 圆厂 需求，国内 龙头已 经导入 国内外 主流晶 圆厂客 户；-18%-13%-8%-3%2%7%12%2022-11 2023-03 2023-07半导体 沪深300证 券 研 究报 告 2023 年 11 月 03 日 行业深度研究|半导体 西部证券 2023 年 11 月 03 日 2|请务必仔细 阅读报 告尾部 的 投 资评级说 明和声明 硅 片端，国内硅 片企业 在 12 英 寸大 硅片环 节持续 突破，未来随 产能陆 续投产，硅 片国产 化率有 望进一 步提升。建 议 关 注：1）半 导 体 设备 和 零部 件：中 微公 司（国内 刻蚀设 备龙头）、北方华创（半导体 设 备 平台型 企业）、拓荆科技（国产薄 膜沉积 设备龙 头）、精测电子（半导体 量检测 设 备订单 有望持 续放量）、芯源微（国产涂 胶显影 设备龙 头）、新 莱 应材（半导 体 设 备真空 领域零 部件国 产先锋）、英杰电气（半导体 射频 电源国 产 化持 续推进）等；2）半 导 体 材料：彤程 新 材（下 属 北京科 华是本 土半导 体光刻 胶龙头 企业）、华懋科 技（持 股公司 徐州博 康是国内 少有能 打通光 刻胶上 游材料 的全产 业链公 司）、安 集科 技（抛 光液领 域全品 类覆盖）、鼎龙股份（国产 CMP 抛光 垫龙头 企业）、华特气体（特种气 体本土 龙头企 业）、凯美特气（光刻气 产品已取 得 ASML 认证）、金 宏 气体（综合气 体供应 商）、沪 硅产 业（中国 大陆规 模最大 的半 导体硅 片企业 之一）。风 险 提 示：晶圆厂 扩产节 奏不 及预期；部分 关键零 部件卡 脖子风 险；国 产替代 进度不 及预期 XVBYzQqNoNnMpRsRtOpQrQaQ9R7NoMnNoMsRlOpOrQiNqQoQ8OnNwOvPsOnQNZoOsP 行业深度研究|半导体 西部证券 2023 年 11 月 03 日 3|请务必仔细 阅读报 告尾部 的 投 资评级说 明和声明 索引 内 容目录 一、2023 年 电 子行业 投资复 盘.6 二、半导体 设备：国产替代 大势所 趋，加 速导入 本土设 备.9 2.1 供 给 端：日、美、荷公司 领跑，政策加 快国产 替代步 伐.9 2.1.1 日、美、荷企业 包揽全 球前十 大半导 体设备 制造商.9 2.1.2 国 产 设备 从成熟 向先进 制程发 展，刻 蚀、清 洗、去 胶等设 备发展 较快.12 2.1.3 半 导 体产 业自主 可控趋 势明显，出口 管制政 策或将 加速国 产替代.13 2.2 需 求 端：中 国大陆 晶圆代 工产能 仍未满 足本土 需求，短期关 注一线 晶圆厂 扩产情 况 15 2.2.1 半 导 体设 备空间 大，中 国大陆 晶圆代 工产能 仍未满 足本土 需求.15 2.2.2 短 期 关注 国内一 线晶圆 厂设备 招标情 况.17 2.3 半 导 体设备 估值表.20 三、半导体 材料：下游拉动 需求，细分品 类较多.21 3.1 半 导 体材料 国产化 率较低，替代 空间较 大.21 3.2 半 导 体材料 细分较 多.22 3.3 半 导 体硅片：海外 龙头 厂 商较为 领先.23 3.4 电 子 特气：市场较 为分散，欧美 厂商较 为领先.24 3.5 光 刻 胶：日 本厂商 具有明 显优势.25 3.6 CMP 材 料：抛 光液日 韩美 企竞争 激烈，抛光垫 陶氏龙 头独大.26 3.7 半 导 体材料 估值表.27 四、投资建 议.28 五、风险提 示.28 图 表目录 图 1：2023 年 以来 A 股各行 业涨跌 幅（截 至 2023/10/13）.6 图 2：电 子行业 指数走 势（截 至 2023/10/13）.6 图 3：2023 年 电子行 业部分子 板块涨 跌幅回 顾（截 至 2023/10/13）.7 图 4：2023 年 以来电 子各细分 行业涨 跌幅（截至 2023/10/13）.7 图 5：电 子行业 PE TTM（截 至 2023/10/13）.7 图 6：2023 年 以来电 子涨幅前 五（截 至 2023/10/13）.8 图 7：2023 年 以来电 子涨幅后 五（截 至 2023/10/13）.8 图 8：费 城半导 体指数（截至 2023/10/13）.8 图 9：台 湾半导 体指数（截至 2023/10/13）.8 图 10：今年以 来中国 台湾及 美国重 点半导 体公司 涨幅前 五（截 至 2023/10/13）.8 图 11：今 年以来 中国台 湾及 美国重 点半导 体公司 涨幅后 五（截 至 2023/10/13）.8 行业深度研究|半导体 西部证券 2023 年 11 月 03 日 4|请务必仔细 阅读报 告尾部 的 投 资评级说 明和声明 图 12：2022 年 全球 销售额前 十位半 导体设 备公司 及其市 占率情 况.10 图 13：2018-2022 年 中 国大 陆半导 体设备 进出口 额.10 图 14：2022 年 中国 大陆半导 体设备 主要国 际或地 区进口 占比.10 图 15：按设备 种类分，全球 半导体 设备市 场规模（亿美 元）.15 图 16：全球各 区域半 导体设 备市场 规模（亿美元）.15 图 17：全球各 区域半 导体设 备市场 规模占 比.15 图 18：中国大 陆晶圆 代工产 能远未 满足本 土需求.16 图 19：不同类 型半导 体前道 设备占 比.16 图 20：不同制 程下，1 万片/月 产能 对应的 设备投 资额.19 图 21：半导体 设备板 块季度 收入（亿元）.19 图 22：半导体 设备板 块季度 扣非净 利润（亿元）.19 图 23：半导体 设备板 块合同 负债（亿元）.20 图 24：全球半 导体晶 圆制造 材料及 封装材 料市场 规模（亿美元）.21 图 25：2021 年 半导 体晶圆制 造材料 市场构 成.21 图 26：全球半 导体市 场规模 及预测（亿美 元）.21 图 27：中国半 导体市 场规模 及预测（亿美 元）.21 图 28：摩尔定 律.22 图 29：不同工 艺节点 下的芯 片流片 成本（百万美 元）.22 图 30：半导体 芯片生 产工艺 流程图.23 图 31：全球半 导体硅 片市场 格局.23 图 32：全球半 导体硅 片头部 厂商.23 图 33：12 英寸 出货占 比 逐年 递增.24 图 34：供需缺 口短期 存在.24 图 35：2021 年 全球 电子气体 竞争格 局.25 图 36：2021 年 中国 电子气体 竞争格 局.25 图 37：全球半 导体光 刻胶细 分市场 份额.26 图 38：全球光 刻胶生 产企业 市场份 额.26 图 39：全球抛 光液竞 争格局.27 图 40：全球抛 光垫竞 争格局.27 表 1：A 股重点 公司涨 幅（截 至 2023/10/13）.9 表 2：部 分半导 体设备 市场空 间、国 内相关 公司及 国产化 率情况.11 表 3：部 分半导 体设备 全球竞 争格局 情况.11 表 4：国 产厂商 已量产 及研发 验证中 的设备 制程节 点分布 情况.12 表 5：2022 年 以来海 外对华半 导体设 备行业 管控措 施梳理.13 表 6：中 国半导 体设备 行业部 分政策 展示.13 表 7：2022 年 部分类 型半导体 设备中 标情况 统计.14 表 8：全 球及中 国大陆 12 寸 晶圆产 能.16 行业深度研究|半导体 西部证券 2023 年 11 月 03 日 5|请务必仔细 阅读报 告尾部 的 投 资评级说 明和声明 表 9：截至 23Q2 中 国大陆晶 圆代工 产线产 能情况（万片/月）.17 表 10：半导体 设备公 司估值 表.20 表 11：不 同工艺 环节的 材料 需求.22 表 12：半导体 材料公 司估 值 情况.27 行业深度研究|半导体 西部证券 2023 年 11 月 03 日 6|请务必仔细 阅读报 告尾部 的 投 资评级说 明和声明 一、2023 年电子行业投资复盘 今年以 来（截 至 10 月 13 日），电子 行业 上 涨 8.26%，在 31 个 申万 一级 行业中 排名 第 5。一方面 疫情 已经 结束，生 产生活 秩序 加快 恢复，国内 经济 呈现 弱复 苏态 势，虽然电 子下 游消费需 求复 苏较 为缓 慢，但向好 发展，部分 芯片 设 计公司 库存 不断 降低，半 导体设 计公 司基本面 拐点 临近。另 一方 面，受 晶圆 代工 下游 需求 影响，晶圆 厂整 体稼 动率 较低，今年 以来一线 晶圆 厂设 备招 标较 少。同时，年 中市 场开 始 担忧美 国出台 新 一轮 半导 体出口 管制 政策，设 备和 材料 板块 出现 一定幅 度调 整。最后，以 ChatGPT 为代 表 的 AI 应 用迅速 发展，算力及 相关 产品 需求 迎来 快速增 长，有望 带来 新一 轮 科技革 命，给半 导体 行业 带 来新需 求。图 1：2023 年以来 A 股各行业涨跌幅（截至 2023/10/13）资料来 源：wind，西部 证券 研发 中心 图 2：电子行 业指数走势（截至 2023/10/13）资料来 源：wind，西部 证券 研发 中心-40%-30%-20%-10%0%10%20%30%40%通信传媒计算机石油石化电子汽车家用电器非银金融机械设备纺织服饰银行建筑装饰公用事业煤炭钢铁环保国防军工医药生物轻工制造有色金属食品饮料基础化工建筑材料交通运输综合农林牧渔房地产社会服务电力设备美容护理商贸零售-50%0%50%100%150%200%2019/1/2 2019/6/2 2019/11/2 2020/4/2 2020/9/2 2021/2/2 2021/7/2 2021/12/2 2022/5/2 2022/10/2 2023/3/2 2023/8/2()300 行业深度研究|半导体 西部证券 2023 年 11 月 03 日 7|请务必仔细 阅读报 告尾部 的 投 资评级说 明和声明 具体来看，今年以来 封测、PCB、半导体设备 板块 涨 幅靠前。封 测行 业由 于周 期 相对靠 前，在下游需 求复苏 预期下，有望率先 迎来业 绩改善，今年以来 封测板 块表现 较 好。2023 年以来 PCB 行业 库存 持续 去 化，行 业景 气度 处于 底部，在 AI 应 用催 化下，服 务 器 PCB 相关业务 的公 司涨 幅表 现较 好。设备 方面，年初 市 场 对今年 晶圆 厂 资 本开 支悲 观预期 有所 修复，虽然 年中 以来 受招 标 影响以 及担 忧海 外出 口管 制政策，设备 板块 出现 一 定回调，但今年以来 涨幅 依然 靠前。图 3：2023 年电子行业部分子板块涨跌幅回顾（截至 2023/10/13）资料来 源：wind，西部 证券 研发 中心 图 4：2023 年以来电子各细分行业涨跌幅（截至 2023/10/13）图 5：电子行业 PE TTM（截至 2023/10/13）资料来 源：wind，西部 证券 研发 中心 资料来 源：wind，西部 证券 研发 中心 今年以 来（截至 2023 年 10 月 13 日），电子 行业 涨幅 居 前的个 股分 别为：捷 荣技 术（488.1%）、佰维存 储（315.9%）、万润 科技（194.0%）等，涨 幅靠 后的个 股分 别为 传艺 科技（-54.6%）、裕太微-U（-47.4%）、东 微半导（-46.1%）等。-30%-20%-10%0%10%20%30%40%50%2023-01 2023-02 2023-03 2023-04 2023-05 2023-06 2023-07 2023-08 2023-09 2023-10半导体设 备 数字芯片 设计 模拟芯片 设计 半导体材 料印制电路 板 集成电路 封测 被动元件-25%-20%-15%-10%-5%0%5%10%15%20%25%30%LED 0102030405060702019-01-02 2021-01-02 2023-01-02电子行业PE-TTM电 子 行业PE-TTM 行业深度研究|半导体 西部证券 2023 年 11 月 03 日 8|请务必仔细 阅读报 告尾部 的 投 资评级说 明和声明 图 6：2023 年以来电子涨幅前五（截至 2023/10/13）图 7：2023 年以来电子涨幅后五（截至 2023/10/13）资料来 源：wind，西部 证券 研发 中心 资料来 源：wind，西部 证券 研发 中心 半导体 其他 指数 来看，今 年 以来（截至 2023 年 10 月 13 日），费城 半导 体指 数上涨 36.4%，台湾半 导体 指数 上涨 26.3%，主 要 重 点公 司今 年 大 多数录得 正 收益。图 8：费城半 导体指数（截至 2023/10/13）图 9：台湾半 导体指数（截至 2023/10/13）资料来 源：wind，西部 证券 研发 中心 资料来 源：wind，西部 证券 研发 中心 图 10：今年以来 中 国台湾及美国重点半导体公司 涨幅前五（截至2023/10/13）图 11：今 年以来 中国台湾 及美国 重点半导 体 公司涨 幅后五（截至2023/10/13）资料来 源：wind，西部 证券 研发 中心 资料来 源：wind，西部 证券 研发 中心 0%100%200%300%400%500%600%-56%-54%-52%-50%-48%-46%-44%-42%-40%-U-50%0%50%100%150%200%250%300%2019/1/2 2020/1/2 2021/1/2 2022/1/2 2023/1/2 500-50%0%50%100%150%200%250%2019-01-02 2021-01-02 2023-01-02台湾半导 体指数 台湾加权 指数0.0%50.0%100.0%150.0%200.0%250.0%英伟达 博通 联咏 联发科 安森美-30.0%-25.0%-20.0%-15.0%-10.0%-5.0%0.0%5.0%10.0%亚德诺 思佳讯 高通 德州仪器 矽力杰 行业深度研究|半导体 西部证券 2023 年 11 月 03 日 9|请务必仔细 阅读报 告尾部 的 投 资评级说 明和声明 表 1：A 股重点 公司涨 幅（截 至 2023/10/13）股票代码 公司简称 区间涨跌幅 1 周内 2 周内 1 月内 3 月内 年初至今 688981.SH 中芯国际 7%7%6%13%33%002475.SZ 立讯精密 7%6%6%-2%1%601138.SH 工业富联-9%-10%-7%-19%100%603501.SH 韦尔股份 11%7%11%-5%34%000725.SZ 京东方 A 4%3%1%-6%20%002049.SZ 紫光国微-10%-11%-15%-16%-40%002241.SZ 歌尔股份 16%16%15%1%10%600745.SH 闻泰科技 8%6%4%2%-10%603986.SH 兆易创新 5%1%6%-9%1%300661.SZ 圣邦股份 9%9%8%-2%-36%688008.SH 澜起科技 7%3%4%-10%-15%688396.SH 华润微 0%-4%-2%0%3%300782.SZ 卓胜微 10%8%2%15%12%603290.SH 斯达半导-1%-1%-8%-24%-46%600460.SH 士兰微 3%1%-2%-18%-23%002938.SZ 鹏鼎控股 6%4%1%-11%-19%688536.SH 思瑞浦-7%-14%-7%-29%-39%002916.SZ 深南电路 5%4%2%-9%-2%600563.SH 法拉电子 0%-4%-12%-31%-39%300223.SZ 北京君正 4%0%2%-19%9%688798.SH 艾为电子 12%7%1%5%8%688052.SH 纳芯微 3%0%-4%-28%-46%688123.SH 聚辰股份 16%14%13%-4%-17%688072.SH 拓荆科技-U 7%17%12%14%74%688082.SH 盛美上海 2%13%8%16%50%688012.SH 中微公司 8%16%11%14%66%688187.SH 时代电气-2%-3%-9%-9%-28%688800.SH 瑞可达 11%11%5%-27%-43%688385.SH 复旦微电-7%-5%-13%-23%-37%688711.SH 宏微科技 4%5%2%-13%-35%688106.SH 金宏气体-3%-2%-4%-8%35%605358.SH 立昂微 3%2%0%-8%-19%资料来 源：wind，西部 证券 研发 中心 二、半导体设备：国产 替 代 大 势 所 趋，加 速 导 入 本 土设 备 2.1 供 给端：日、美、荷公司 领跑，政策 加快 国产替 代 步伐 2.1.1 日、美、荷企业包揽 全球 前十大半导体设备制 造 商 半导体设备市场现状：海 外大厂占据主导地位，国 产替代仍处于黄金窗 口期。行业深度研究|半导体 西部证券 2023 年 11 月 03 日 10|请务必仔细 阅读报 告尾部 的 投 资评级说 明和声明 1）全球市场看，美企、日 企 和荷兰企业市占率领 先。根据 TechInsights 数 据显示，2022年销售 额排 名全球 前 10 的半导 体制 造设 备厂商 有 4 家美国 公司、4 家 日本 公司和 2家荷兰 公司，其中应 用材 料、ASML 和 LAM 分列 前三 位，市占 率分 别为 23.1%、19.8%和 17.7%，CR3 超 60%。图 12：2022 年全球销售额前十位半导体设备公司及其市占率情况 资料来源：TechInsights，西部证 券研 发中心 2）具 体 到 国 内市 场，根据海关 总署 数据，2022 年中国 大陆 半导体 设备进 口额达 347.2亿美元，出 口额 为 41.2 亿 美元，贸易 逆差 为 306 亿 美元；近五 年进 口总 额 1645.7 亿美元，出口 总 额 150.8 亿 美元，贸易 逆差 达 1495 亿美元，半 导体 设备 进口 依赖现 象突出。从进 口来 源 地 看，2022 年，中 国大 陆 半 导体 设 备主要 进口 国家 或地 区包括 日本、美国、新 加坡、韩 国、中 国台湾、荷兰、马 来西亚、德国、奥地利等。其中，日本 进口额约 占进 口总 额 的 1/3，是我国 大陆 地区 的 最 大进 口来源 地。图 13：2018-2022 年中国大陆半导体设备进出口额 图 14：2022 年中国大陆半导体设备主要国际或地区进口占比 资料来源：海关 总署，爱集微，西部 证 券研发中 心 资料来源：海关 总署，爱集微，西部 证 券研发中 心 根据拓 荆科 技招 股说 明书 援引 SEMI 数 据，2020 年新建 晶圆 厂设 备投 资中，晶圆 制造 相关设备 投资 额占 比约 为总 体设备 投资 的 80%，其 中 光刻设 备、刻 蚀设 备、薄 膜 沉积设 备为晶圆制 造的 三大 主设 备，其投资 规模 分别 占晶 圆制 造设备 总投 资的 23%、30%和 25%。此外，半导 体封 装及 组装 设备、测试 设备 和其 他设 备投资 额分 别占 总体 设备 投资的 10%、23.09%19.83%17.69%15.27%9.71%3.30%2.57%2.36%2.04%1.96%0%5%10%15%20%25%050100150200250300半导体制 造设备 销售额（亿美 元）全球市占 率307.7264.3316.4410347.225.1 22.1 25.8 36.5 41.2-20%-10%0%10%20%30%40%50%60%70%0501001502002503003504004502018 2019 2020 2021 2022进口额（亿美元）出口额（亿美元）进口额增 速（右 轴）出口额增 速（右 轴）31%16%13%12%8%8%4%3%1%4%日本美国新加坡韩国中国台湾荷兰马来西亚德国奥地利其他 行业深度研究|半导体 西部证券 2023 年 11 月 03 日 11|请务必仔细阅 读报告 尾部的 投 资评级说 明和声明 8%和 2%。根据 中商 情报 网数据，各类 半导 体设 备 中，热处 理设 备、清洗 设 备、刻蚀 设备等国产 化率 较高，但 仍有 不少半 导体 设备 国产 化率 低于 20%，国产 化空 间大。表 2：部 分半导 体设备 市场空 间、国 内相关 公司及 国产化 率情况 光刻机 刻蚀设备 薄膜沉积设备 清洗设备 量/检测设备 半导体测试机 涂胶显影设备 热处理设备 CMP 设备 划片机 市场规模（亿美元）198.1 189.5 CVD PVD ALD 64.6 107.7 86.1 43.1 32.3 43.1 18.1 124.0 49.6 33.1 国内主要 公司 上海微电 子 中微公司、北方华创 北方华创、拓荆 科技、微导纳 米 至纯科技、盛美上海、芯源微、北方华创 上海精测、中科飞测 华峰测控、长川科技 芯源微 屹唐、北方华创 华海清科 光力科技 国产化率 1%20%1015%-20%左右 约 2%10%5%20%15%5%左右 资料来 源：Gartner，中商 情报 网，华经产 业研 究院，SEMI，拓 荆科 技 招股说 明书，西 部证 券研 发中 心 纵观全球市场，应 用材料 在刻蚀设备、CVD、PVD、量测/检测设备、热处理 设备、CMP设备市 场中 均占 据较 多的 市场份 额，泛 林集 团则 在 刻蚀设 备、CVD、清 洗设 备等市 场中 市占率靠 前，除此 之外，泰 瑞达、科磊 半导 体、Cohu 等美 企也 在细 分半 导体 设备市 场中 居于前列；日本 企业 中，以 东 京电子、日立、迪恩 士、尼 康、佳能、荏原、东京 精密、DISCO等为代 表的 公司 在半 导体 设备细 分市 场市 占率 突出，刻 蚀、ALD、清洗 设备、划 片机 等 优势较明 显；而 ASML、ASM 等荷 兰企 业则 专长 于光 刻机、ALD 设备 等。国内已有部分企业在 全球 竞争中突出重 围，但整体 而言市占率均较低。中 微 公司、北方华创在全 球刻 蚀设 备市 场市 占率分 别 达 1.1%、0.6%；热 处理 设备 市场 中，北 方华创、屹唐半导体 等国 内厂 商市 占率 分别达1%和 4%，华 峰测 控 在半导 体测 试机 市场 中市 占率达3%，但各细 分领 域国 内参 与厂 商数目 及各 家市 占率 不高，多数 市场 仍被 外企 主导。表 3：部 分半导 体设备 全球竞 争格局 情况 设备类型 光刻机 刻蚀设备 薄膜沉积设备 全球竞争 格局 ALD CVD PVD 设备类型 清洗设备 量/检测设备 半导体测试机 ASML,82.1%尼康,10.2%佳能,7.7%泛林半导体,44.7%东京电子,28.0%应用材料,18.1%日立,5.2%科磊半导体,1.4%中微公司,1.1%北方华创,0.6%其他,0.8%TEL,31%ASM,29%其他,40%应用材料,30%泛林半导体,21%TEL,19%其他,30%应用材料,85%其他,15%行业深度研究|半导体 西部证券 2023 年 11 月 03 日 12|请务必仔细 阅读报 告尾部 的 投 资评级说 明和声明 全球竞争 格局 设备类型 涂胶显影设备 热处理设备 CMP 设备 划片机 全球竞争 格局 资料来 源：Gartner，中商 情报 网，华经产 业研 究院，SEMI，观 研天 下，观知 海内 信息 网，乐晴 智库，西 部 证券研 发中 心 2.1.2 国产设备从成熟向先 进制 程发展，刻蚀、清洗、去 胶等设备发展较快 国内厂商加速研发验 证，部分设备已可覆盖 14nm 及以下节点。我 们 梳理 了 国内部 分半 导体设备 公司 的设 备产 品，其中，光 刻机 推进 较慢 且 生产厂 商较 少，其 余类 型 的国产 设备 在28nm 及 以上 的制 程节 点 上已有 较多 布局；14nm 及以下 的节 点来 看，刻蚀 设备、去胶 设备、清 洗设 备突 破较 快，其余大 多在 研发 或验 证阶 段。表 4：国 产厂商 已量产 及研发 验证中 的设备 制程节 点分布 情况 国内厂商 设备类型 0.50.13 m 90nm 55/65nm 40nm 28nm 14nm 10nm 7nm 5nm 3nm 北方华创 刻蚀设备 在研 PVD 设备 验证中 清洗设备 热处理设 备 中微公司 刻蚀设备 可量产应 用 拓荆科技 CVD 设备 验证中 盛美上海 清洗设备 至纯科技 验证中 上海微电 子 光刻机 屹唐半导 体 刻蚀设备 验证中 去胶设备 验证中 微导纳米 ALD 设备 华海清科 CMP 设备 验证中 芯源微 涂胶显影 设备 精测电子 量/检测设备 迪恩士,45.1%东京电子,25.3%SEMES,14.8%泛林半导体,12.5%其他,2.3%科磊半导体,50.85%应用材料,11.50%日立,8.89%雷泰光电,5.62%创 新 科技,5.62%ASML,5.23%新星测量仪器,2.61%康特科技,1.96%其他,7.71%泰瑞达,51%爱德万,33%科休,11%华峰测控,3%其他,2%TEL,87%其他,13%应用材料,44%科 意 半导体,19%东 京 电子,19%屹 唐 股份,5%维易科,4%ASM,3%SCREEN,2%北 方 华创,1%其他,2%应 用 材料,64.16%日 本 荏原,29.13%韩国KC Tech,4.30%东 京 精密,2.40%其他,0.01%DISCO,70%东 京 精密,20%ADT,5%其他,5%行业深度研究|半导体 西部证券 2023 年 11 月 03 日 13|请务必仔细 阅读报 告尾部 的 投 资评级说 明和声明 中科飞测 研发验证 中 资料来 源：各公 司 年 报，各公 司招 股 说明书，wind，西部证 券研 发中 心（表示 该制 程节 点已 覆盖）2.1.3 半导体产业自主可控 趋势 明显，出口管制政策 或将 加速国产替代 海外相继发布出口管 制措 施，半导体设备行业 逆全 球化趋势加速。2022 年 以来，美国 相继发布 多条 对华 出口 管制 举措，10 月 7 日美 国商 务 部工业 与安 全局/BIS 发布 对华实 施先进计算 和半 导体 制造 的出 口管制 新规，限制 中国 获 得先进 计算 芯片、开发 和 维护超 级计 算机及制造 先进半 导体的 能 力。2023 年 以来，荷兰、日本 也 先后发 布 对管 制 新规或外 贸法令，对光 刻机 在内 的半 导 体设备 增加 出口 许可 令规 定，半导 体逆 全球 化趋 势 逐渐显 露，供应链自 主可 控重 要性 日益 突出。表 5：2022 年 以来海 外对华半 导体设 备行业 管控措 施梳理 时间 管控 国 相关事件 具体措施 22.07 美国 对华禁 售 14nm 及以下 先进制程所需设 备 彭博社报 道，LAM 集团和 KLA 接到美国商 务部通 知，禁止 未经许 可 向中国大 陆芯片 制造商 出售大 多数 可以制造 14nm 或更先 进制程 的芯片的 设 备；同期 美国游 说荷兰 停止出 口给 中国 ASML 公司的先进 产品 22.10 宣布新一 轮出 口管制 新规 1）限制中 国企业 获取高 性能芯 片 和先进计 算机；2）限制 美国人 为 涉及中国 的特定 半导体 活动提 供支 持；3）限制中国 获取先 进半导 体制造 物项 与设备；4）新增 31 家中国实体 公 司、研究 机构列 入 UVL（未经核 实 清单）名单等；5）对 128 层及以 上 3D NAND 芯片、18nm 半 间距及 以下 DRAM 芯片、16nm/14nm 或以下 非 平面晶体管结 构/FinFET 或 GAAFET 逻 辑芯片相 关设备 进一步 管控 22.10 科磊公司 停止对 华销售 和服务 美国半导 体设备 龙头科 磊从 10 月 12 日起停止向中国 大陆企 业提供 芯片销售 和服务 22.11 FCC 禁止华为、中 兴等五 家中企在美国 销售设 备 FCC 称华为、中兴 通讯、海康威 视、海能达 和浙江 大华等 五家公 司的 产品“对 美国国 家安全 构成不 可接 受的风险”，因而 禁止其 在美国 销售设 备 23.03 荷兰 对深紫外 光刻机 等设备 实施新的出口管 制 2023 年 3 月 8 日，荷兰政 府以“国家安全”为由，宣布 将对包 括“最先进的”深紫 外光刻 机（DUV）在内的特定半 导体制 造设备 实施新 的出 口制，并 加入美 国对华 芯片出 口管 制的阵营 23.03 日本 宣布将修 订外汇 与外贸 法相关法令，计划 5 月颁布、7 月施行 拟对 6 大类、23 种先进半导 体制 造设备追 加出口 管制，包括 极紫外 线（EUV）相关产 品的制 造设备 和 用于存储元件立 体堆叠 的刻蚀 设备，均为 1014nm 以下的 先进制 程制造 设 备。新增 的 23 种半导体 制造设 备 及技术在从日本 对外出 口时均 会触发 出口 许可证要 求，而 在出口 至中国 大 陆、中 国香港 和中国 澳门时 将仅能 申请流程较复杂、审批 更严格 的许可 证类 型 23.06 荷兰 公布了半 导体设 备出口 管制新规定 根据 ASML 官网，对外 出口其 最先 进的浸没 式 DUV 光刻机/TWINSCAN NXT：2000i 和后续 的浸没 式设 备需向荷兰政 府申请 出口许 可证，1980Di 浸润式光刻机 及更低 端的设 备出 口未受管 控；还对 ALD 设备、进行 无空隙等离子 体放大 沉积的 设备等 进行 了限制 23.08 向 ASML 发放的 TWINSCAN NXT：2000i 及后续的 浸润式DUV 光刻系统 的许 可证 至 2023年底 据第一财 经：1）ASML 称其向荷 兰政府申 请的许 可证获 批，可 在 2023 年底前继 续向中 国发 运 TWINSCAN NXT：2000i 及后续推 出的浸 润式 DUV 光刻系统。2）荷兰政 府于 2023 年 6 月为其顶 级 DUV 光刻系统 引入了新的许 可制度，自 2023 年 9 月 1 日起需获得许 可。3）ASML 表示，2024 年 1 月 1 日起将基 本不会 获得向中国客 户发运 这些设 备的出 口许 可证。资料来源：彭博，第一 财经，芯谋研 究，西部证 券研发 中心 我国 积极应对半 导体行业变化，从中央到 地方政府对半 导体行业给 予大力支持。近年来，我国 出 台了 一系 列扶 持政 策，为半 导体 专用 设备 行 业提供 了资 金、税 收、技 术和人 才等 多方面的 有力 支持，有利 于 产业发 展、提 升国 产半 导 体设备 企业 的竞 争力、加 强产业 链自 主可控。表 6：中 国半导 体设备 行业部 分政策 展示 政策名称 主要内容 22.06 深圳市 培育发 展半导 体与集 成电路产业 集群行 动计划
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