20230626_东海证券_半导体材料行业证券研究报告:CMP抛光材料国产替代势不可挡行业龙头长线价值凸显_24页.pdf

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HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN Table_Reportdate 2023 06 26 table_invest Table_NewTitle CMP Table_Authors S0630519030001 table_stockTrend table_product table_main CMP CMP CMP CMP 1 CMP CMP CMP CMP CMP CMP 0 1 CMP 2 CMP CMP CMP CMP 1 17%2 2022 3 CMP CMP CMP CMP 1 CMP 17%2 CMP CMP CMP CMP 3 CMP CMP-29%-21%-13%-5%2%10%18%22-06 22-09 22-12 23-03:(0727)300 HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 2/24 1.CMP.5 1.1.CMP CMP C.5 1.2.CMP CMP.6 2.8 2.1.10 2.2.CMP.10 2.2.1.CMP 0 1.11 2.2.2.CMP.12 3.CMP.14 3.1.14 3.2.15 4.A CMP.16 4.1.CMP.16 4.1.1.16 4.1.2.17 4.1.3.19 4.2.20 4.2.1.20 4.2.2.21 4.2.3.22 5.23 XVFUxOqNnOnMtNtQsPpQrQbR8Q6MtRoOoMoNjMnNqOiNtRyQaQqQvNNZnOpMvPtOpN HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 3/24 1.5 2 CMP.5 3 CMP.5 4 CMP.6 5.6 6.6 7.7 8.7 9 CMP.7 10 CMP.7 11 CMP.8 12 CMP.8 13 2015-2021 IC%.9 14.9 15 BIS.10 16.10 17 2020 2025(WPM).10 18.10 19.11 20%.11 21 CMP%.11 22 CMP.12 23 CMP.12 24 2019 CMP%.12 25 2021 CMP%.12 26 CMP.13 27 CMP.13 28 2020 CMP%.13 29.14 30.15 31.15 32 2023 CMP Top10.15 33.16 34.17 35 2023 Q1.17 36 2017 2022.18 37 2017 2022.18 38&%.19 39%.19 40().19 41%.19 42.19 43.19 44.20 45 2023 Q1.20 46.20 HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 4/24 47 2017 2022.21 48%.21 49%.21 50%.21 51 2018-2023 Q1&%.22 52%.22 53%.22 54.22 1.8 2.18 3.23 HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 5/24 1.CMP 1.1.CMP CMP C CMP CMP Chemical Mechanical Polishing CMP 1 CMP CMP CMP 1nm CMP C 2 CMP 3 CMP HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 6/24 1.2.CMP CMP CMP 1965 Walsh CMP CMP 0.35 m0.25 m CMP CMP 0.18 0.13 m CMP CMP 4 CMP CMP CMP CMP CMP 5 6 CMP CMP CMP 应用相关线宽技术 1950年 机械抛光为主1um 1965年 由Walsh 等人剔除化学机械抛光(CMP 概念)0.8um 1983年 IBM 开始开发CMP 工艺0.5um0.25um 1986至1992年 各式CMP 开始适量上 线,并于1992年正式进入国际半导路线图0.18um65nm 1994年 台湾首次应用CMP 于生产中 1996年 日本大量应用CMP 技术65nm14nm 1997年至2007年 各类CMP 技术及产品用于芯片制造10nm7nm 2007年至2014年 CMP 成为实现新的工艺技术如鳍式场效应晶体管(FinFET)、硅通孔技术(TSV)的关键技术7nm 以上 2014 年至今 CMP 工艺持续向5nm 及3nm 等先进制程推进 HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 7/24 CMP Cabot Microelectronics 14 CMP 180 10 20 7 30 2DNAND 3DNAND CMP 2DNAND 7 15 CMP CMP 7 8 CMP CMP MRR Ra CMP CMP 9 CMP 10 CMP CMP CMP CMP CMP CMP CMP 81011121417182021283005101520253035265902468101214162D NAND 3D NAND 抛光液研磨粒子硅溶胶气相二氧 化碳表面活性 剂稳定剂氧化剂分散剂PH 值调节 剂去离子水抛光液单一磨粒 抛光液抛光液中 只含有 二氧化 硅、氧 化铝、氧化铈、氧化锆、纳米 金刚石 等众多常用磨 粒之一。混合磨粒 抛光液将 不 同 粒 径 尺寸 的一种 磨粒或 者两 种 不 同 磨 粒 混 合 在 一 起 使 用复合磨粒 抛光液复合磨粒 是在特 定的条 件下,通过一定的化 学反应 而生成 的,最 常用的方法是 纳米颗 粒的包 覆和掺 杂 HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 8/24 11 CMP 12 CMP CMP 2022-2029 1 CMP CMP CMP CMP CMP PH CMP 2.2022 5384 25801 12796 13004 IC IC 2021 IC 1870 IC 312 17%抛光垫聚合物抛光垫主要成分是泡体固化的聚氨酯无纺布抛光垫聚合物棉絮类纤维,渗水性好,抛光液能渗透到抛光垫内部带毛绒结构的无纺布抛光片以无纺布为主题,中间层为聚合物,表面为多孔绒毛结构 HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 9/24 13 2015-2021 IC%IC Insight 14 iFind 2018 16.7%0%4%8%12%16%20%050010001500200025002015 2016 2017 2018 2019 2020 2021 IC IC%-01002003004005006007002013-122014-042014-082014-122015-042015-082015-122016-042016-082016-122017-042017-082017-122018-042018-082018-122019-042019-082019-122020-042020-082020-122021-042021-082021-122022-042022-082022-122023-04 进出口贸易逆差 HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 10/24 15 BIS 16 BIS e-gov 2.1.2022 SEMI 2021 2023 84 20/25%300mm SEMI 300mm-2026 300mm Fab 2021 19%2025 23%230 wpm 2024 17 2020 2025(WPM)18 SEMI 2.2.CMP 2006 2023 6.38%20.49%2023 1024.34 12.02%65 54 401234567 HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 11/24 CMP 7%CMP 19 Semi 1=6.8748 20%21 CMP%SEMI 2.2.1.CMP 0 1 CMP CMP 49%Cabot Microelectronics TECHCET CMP 2016 11.0 2021 18.9 CMP 38.58 2026 25.3 CAGR 6.0%CMP 2021-2028 CAGR 12.0%0%5%10%15%20%25%0200400600800100012002018 2019 2020 2021 2022 2023E%-7%CMP 49%33%9%5%4%CMP CMP HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 12/24 22 CMP 23 CMP Techcet Techcet 0 1 CMP 2000 Cabot 80%2019 CMP Cabot 33%Hitachi 13%Fujimi 10%CR4 89%2%5 CMP 2021 5%30.8%0 1 24 2019 CMP%25 2021 CMP%Cabot Microelectronics 2.2.2.CMP TECHCET CMP CMP 2016 6.5 2021 11.3 5 CAGR 11.7%CMP 2021 13.85 15.9%-10%0%10%20%30%40%50%0510152025302016 2017 2018 2019 2020 2021 2026E YOY%-2021-2026 CAGR 6%0%5%10%15%20%01020304050 CMP YOY%-2021-2028E CAGR 12%2%Fujimi 安集科技30.8%HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 13/24 26 CMP 27 CMP TECHCET Cabot Microelectronics CMP 79%Cabot Thomas West 5%4%CMP CMP CMP CMP 28 2020 CMP%CMP CMP CMP 17%CMP CMP CMP CMP-10%0%10%20%30%40%50%0246810122016 2017 2018 2019 2020 2021 CMP YOY%15.9%0%2%4%6%8%10%12%14%16%18%02468101214162016 2017 2018 2019 2020 2021 CMP YOY%79%5%4%2%1%9%Thomas West Fojibo HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 14/24 CMP CMP CMP 3.CMP CMP 3.1.CMP 2004 2009 2010 CMP CMP 8 CMP 12 CMP 0 1 29 CMP 2004 2023 8%k 050100150200250/HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 15/24 30 31 32 2023 CMP Top10 3.2.CMP CMP CMP CMP CMP CMP CMP 3-4 3031199693 3 10501001502002503003500 20 40 60 80 100 120 140 Resonac Corp CMP HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 16/24 33 CMP CMP CMP CMP Table_Reportdate 4.A CMP 4.1.CMP 4.1.1.CMP 2006 2008 2009 2015 2016 2017 2019 7 HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 17/24 34 Anji Microelectronics Co.Ltd 40.27%2017 8.28%10 100%Anji Microelectronics Co.Ltd 2023 4 103.86 58.304 0.767%203 35 2023 Q1 iFind 4.1.2.CMP CMP HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 18/24 2 CMP 0.61 0.9 0.1 1.2 2023 年 7 月 0.27 0.05 0.94 2021 年 12 月 5 0.69 2023 年 7 月 0.2 2023 年 7 月 CMP 50%2022 2022 10.77 56.82%3.01 140.99%2.41 CMP 36 2017 2022 37 2017 2022 iFind iFind CMP 50%CMP 60%1.53 10.7756.82%-10%10%30%50%70%0246810122017 2018 2019 2020 2021 2022%3.01140.99%-50%0%50%100%150%012342017 2018 2019 2020 2021 2022%HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 19/24 38&%39%iFind Wind 40()41%iFind iFind 2020 100 42.65%45.69%42 43 iFind iFind 4.1.3.CMP CMP CMP 54.21%27.99%0%20%40%60%2018 2019 2020 2021 2022 2023 Q1%28.96%-10%0%10%20%30%40%2018 2019 2020 2021 2022 2023Q1 9.511.240246810122017 2018 2019 2020 2021 2022 58.59%20.63%62.16%0%20%40%60%80%100%2019 2020 2021 2022 0.00.40.81.21.62.02018 2019 2020 2021 2022%45.69%0%10%20%30%40%50%040801201602002018 2019 2020 2021 2022%HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 20/24 4.2.4.2.1.2000 2010 CMP CMP CMP CMP CMP CMP CMP CMP YPI PSPI Underfill PSPI 44 2023 14.69%14.58%29.28%45 2023 Q1 46 iFind HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 21/24 4.2.2.CMP 2022 27.21 15.52%3.9 82.66%CMP CMP YPI PSPI 47 2017 2022 48%iFind iFind CMP 69.93%CMP 6.15 2022 CMP 65.54%2022 Q3 CMP CMP 49%50%iFind iFind 2022 38.09%4.65%CMP 2023 Q1 2023 Q1 8,691.87 37.59%23.5627.22-40%0%40%80%01020302017 2018 2019 2020 2021 2022%3.982.24%-800%-600%-400%-200%0%200%-202462017 2018 2019 2020 2021 2022%85.44%78.72%13.03%19.18%0%20%40%60%80%100%2018 2019 2020 2021 2022 CMP 63.29%65.54%-40%-20%0%20%40%60%80%2018 2019 2020 2021 2022 CMP HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 22/24 51 2018-2023 Q1&%52%Wind iFind 2022 12 31 846 2021 16 784 69 439 276 104 53%54 iFind 4.2.3.CMP CMP 14nm 20 CMP 2 CMP 2023 PSPI 7.13%34.64%-10%0%10%20%30%40%50%2018 2019 2020 2021 2022 2023 Q1(%)(%)29.75%-10%0%10%20%30%40%2018 2019 2020 2021 2022 2023 Q1 0%20%40%60%3004005006007008009002018 2019 2020 2021 2022%-YOY%84 1046769230276389439020040060080010002021 2022 HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 23/24 3 EPS PE 2022A 2023E 2024E 2025E 2022A 2023E 2024E 2025E 688019 159.00 4.59 3.88 5.32 6.23 44.61 41.00 29.90 25.53 300054 24.73 0.42 0.55 0.74 0.95 51.73 44.86 33.13 25.79 2023 6 26 Wind 5.HTTP:/WWW.LONGONE.COM.CN 24/24 6 300 20%6 300-20%20%6 300 20%6 300 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