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本报告的风险等级为中高风险。本报告的信息均来自已公开信息，关于信息的准确性与完整性，建议投资者谨慎判断，据此入市，风险自担。请务必阅读末页声明。基础化 工 行业 标配（维持）电 子 化 学 品 系 列报 告 之 一 2023 年4 月27 日 分析师：卢 立亭 SAC 执 业证 书编 号：S0340518040001 电话：0769-22177163 邮箱：个股指数走势 资料来源：Wind，东莞 证券研 究所 相关报告 TECHCET 2021 62.51 45.38 72.60%2017-2021 5.30%2025 60 2021-2025 7.33%SEMI 2021 195.77 2025 316.60 2021-2025 12.77%90%70%75%15%688268 688106 002549 深度报告 行业研究 证券研究报告 电子化学品系列报告 2 请务必阅读末页声明。目录 1.电 子特 气市 场有 望保 持 快速增 长，国产 化率 提升 空间大.3 1.1 集 成电 路等 行业 有望 驱动我 国电 子气 体市 场保 持快速 增长.3 1.2 电 子特 气国 产化 率低，提升 空间 大.7 2.电 子特 气部 分品 种介 绍.10 2.1 硅 基材 料类 气体.11 2.2 清 洗、蚀刻 气体.12 2.3 沉 积气 体.16 3.投 资建 议.17 4.重 点公 司.18 5.风 险提 示.21 插 图目录 图 1：电子 特种 气体 下游 主要应 用领 域.3 图 2：全球 电子 特气 下游 需求占 比.5 图 3：我国 电子 特气 下游 需求占 比.5 图 4：2010-2026E 年我 国 集成电 路市 场规 模及 产值 变化情 况.5 图 5：中国 大陆 显示 面板 行业市 场规 模增 长情 况（百万平 米）.5 图 6：2017-2025E 年全 球 电子气 体市 场规 模增 长情 况（亿 美元）.6 图 7：2016-2025E 年我 国 电子气 体市 场规 模增 长情 况（亿 元人 民币）.6 图 8：2020-2025E 年我 国 集成电 路用 电子 气体 市场 规模预 测（亿元）.7 图 9：半导 体制 造材 料市 场占比.7 图 10：2020 年 全球 电子 气体市 场竞 争格 局情 况.8 图 11：中 国半 导体 用电 子 气体市 场竞 争格 局.8 图 12：2017-2028 年全 球 甲硅烷 销售 量及 增长 情况 预测.12 图 13：2017-2028 年全 球 甲硅烷 市场 规模 及增 长情 况预测.12 图 14：2017-2025 年全 球 三氟化 氮供 需统 计和 预测（万吨）.13 图 15：2015-2021 年国 内 三氟化 氮供 需统 计（吨）.13 图 16：2017-2025 年全 球 六氟化 钨供 需统 计 和 预测（吨）.17 图 17：2021-2025 年中 国 大陆六 氟化 钨需 求预 测（吨）.17 表 格目录 表 1：电子 气体 用途 和涉 及种类.3 表 2：电子 气体 主要 供应 模式.4 表 3：电子 气体 行业 国内 外主要 企业 主营 业务 情况.9 表 4：近年 来涉 及电 子气 体行业 的部 分政 策.10 表 5：电子 气体 部分 品种 情况.11 表 6：重点 公司 评级 表.21 0YCXwPmRmPqRsMsRnQqPnMaQ8Q8OtRpPmOtQiNpPsOeRoMqP7NpOqPwMnRtRvPrNwO电子化学品系列报告 3 请务必阅读末页声明。1.电子特气 市场有望保持快 速增长，国产化率 提升空间大 1.1 集成电路等行业有望驱动我国电子气体市场保持快速增长 表 1：电子 气体 用途 和涉 及种类 资料来源：金宏气体 招股说明书，东莞证券研究所 图 1：电子 特种气 体下游 主要 应用领 域 数据来源：中船特气 招股说明书，东莞证券研究所 电子化学品系列报告 4 请务必阅读末页声明。LED 表 2：电子 气体 主要 供应 模式 资料来源：公开信息，金宏气体公告，东莞证券研究所 71%18%42%37%电子化学品系列报告 5 请务必阅读末页声明。图 2：全球 电子 特气 下游 需求占 比 图 3：我国 电子 特气 下游 需求占 比 数据来源：中船 特气招股说明书，东莞证券研究所 数据来源：中船特气招股说明书，东莞证券研究所 IC Insights 2021 1865 2026 2745 8%2021 311 16.70%2026 582 13%21.20%TCL Frost&Sullivan 2020 2024 6.34%图 4：2010-2026E 年我 国 集成电路市场规模及产值变 化情 况 图 5：中 国大 陆显 示面 板 行业市 场规 模增长 情况（百 万平 米）数据来源：IC Insights，东莞证券研究所 数据来源：Frost&Sullivan，中船特气招股说明书，东莞证券研究所 电子化学品系列报告 6 请务必阅读末页声明。TECHCET 2021 62.51 72.60%27.40%2017 36.91 2020 41.85 2021 45.38 2017-2021 5.30%2025 60 2021-2025 7.33%2021 32.22 2025 42.76 SEMI 2025 2021 195.77 316.60 2021-2025 12.77%2020 76 2021 85 2025 134 2021-2025 12.05%14%ICMtia 64%2021 54 图 6：2017-2025E 年 全 球电子气 体 市场规模 增长情况（亿 美元）图 7：2016-2025E 年我 国 电子气 体 市 场规 模增长情况（亿 元人 民币）数据来源：TECHCET，中船特气招股说明书，东莞证券研究所 数据来源：SEMI，中 船 特气 招股 说 明 书，东莞 证 券 研究所 电子化学品系列报告 7 请务必阅读末页声明。图 8：2020-2025E 年我 国集成电 路用电子气 体市场规 模预 测（亿 元）图 9：半导 体制 造材 料市 场占比 数据来源：前瞻产业 研究院，中船特气招股说明书，东莞证券研究所 数据来源：隆众资讯，东莞证券研究所 1.2 电子特气 国产化率低，提升空间大 5N 10-9 10-12 电子化学品系列报告 8 请务必阅读末页声明。90%70%SK Materials 75%15%图 10：2020 年 全球 电子气体 市场竞 争格局 情况 图 11：中国 半 导体 用电 子 气体市 场竞 争格 局 数据来源：中船特气招股说明书，东莞证券研究所 数据来源：隆众资讯，东莞证券研究所 电子化学品系列报告 9 请务必阅读末页声明。表 3：电子 气体 行业 国内 外主要 企业 主营 业务 情况 资料来源：中船特气招股说明书，公开信息整理，东莞证券研究所 2019 10 2019 2020 8 2021 3 2035 2021 12 2021 电子化学品系列报告 10 请务必阅读末页声明。表 4：近年 来涉 及 电 子气 体行业 的部 分政策 资料来源：金宏气体 公告，东莞证券研究所 20%2.电子特气 部分品种介绍 Linx Consulting NF3 WF6 C4F6 NH3 Xe SiH4 N2O PH3 ClF3 2021 25.37 55%20%8%电子化学品系列报告 11 请务必阅读末页声明。NF3 CF4 Cl2 NH3 N2O WF6(CH3)3Al BCl3 PH3 AsH3 表 5：电子 气体 部分 品种 情况 资料来源：隆众资讯，东莞证券研究所 2.1 硅基材料类气体 IC LED TFT-LCD SiH4 QYResearch 2021 2.42 2017 66.35%2017-2021 14%QYResearch 2028 4.12 2022-2028 8%2021 4.46 2017 46.16%2017-2021 10%QYResearch 2028 9.11 2022-2028 11%2021 24.25%18.90%16.11%2021 0.47 10.52%2028 1.39 15.22%2021 34.52%20.82%REC Silicon SK Materials QYResearch 2021 REC Silicon SK Materials 43.39%21.42%电子化学品系列报告 12 请务必阅读末页声明。图 12：2017-2028 年全球 甲 硅烷销 售量 及 增长情况 预测 图 13：2017-2028 年 全球 甲 硅烷 市 场规模 及增长 情况预 测 数据来源：QYResearch，东莞证券研究所 数据来源：QYResearch，东莞证券研究所 H6Si2 QYResearch 2021 1.98 2028 4.53 13%2021 25%21%19%2022-2028 17%SK Materials Matheson REC Silicon 2021 55%2.2 清洗、蚀刻气体 电子化学品系列报告 13 请务必阅读末页声明。CVD()TECHCET 2017-2020 2020 3.11 3D NAND 2025 6.37 2020 1 2020-2025 15%2025 图 14：2017-2025 年 全球 三 氟化氮 供需统 计和预测（万吨）图 15：2015-2021 年 国内 三 氟 化 氮 供 需 统 计（吨）数 据 来 源：TECHCET，中 船 特 气 招 股 说 明 书，东 莞 证 券研究所 数据来源：智研咨询，中 船特气 招 股 说 明书，东莞证券研究所 20 80 2015 3585.4 2021 1.43 3 26%电子化学品系列报告 14 请务必阅读末页声明。SK Materials 4500 3250 8200 3000 2022-2023 3D NAND 2025-2026 9250/SK Materials CF4 800 OLED 12 2021 3000 2025 8000 C4F6 PFCs 0.13 m 0.18 m CF Si3N4 30 1 2021 900 3D NAND 2026 NAND 2021 3 电子化学品系列报告 15 请务必阅读末页声明。3D NAND 128 200 SK Material 14nm 1 CVD 2 CVD 3 CF4 C2F6 NF3 ClF3 GWP 电子化学品系列报告 16 请务必阅读末页声明。Si SiO2 SiC 2.3 沉积气体 PVD CVD PCVD 3D NAND TECHCET 2020 4,620 2025 8,901 1 14%2021 5,675 6,497 2025 2021 1,100 DRAM 3D NAND 3D NAND 32 64 128 2025 4,500 2021-2025 42.22%SK Materials 2230/2021 200电子化学品系列报告 17 请务必阅读末页声明。100 图 16：2017-2025 年 全 球六 氟化钨 供需统 计和预测（吨）图 17：2021-2025 年 中国大 陆六氟 化钨需 求预测（吨）数 据 来 源：TECHCET，中 船 特 气 招 股 说 明 书，东 莞 证 券研究所 数据来源：中船特气招股说明书，东莞证券研究所 LED SiO2 SiO2 TFT LED OLED 3.投资建 议 TECHCET 2021 62.51 45.38 72.60%2017-2021 5.30%电子化学品系列报告 18 请务必阅读末页声明。2025 60 2021-2025 7.33%SEMI 2021 195.77 2025 316.60 2021-2025 12.77%90%70%75%15%688268 688106 002549 4.重点公 司 688268/2017 ASML 2021 4 GIGAPHOTONR 8 80%电子化学品系列报告 19 请务必阅读末页声明。2019-2021 26.33%32.93%50%2019-2021 35.38%25.98%24.19%2019-2021 31.13%15.44%11.21%2019-2021 40%30.97%29.37%6.46 1764 1764 688106 20 LED 100 1 2 3 2020-2022 44,840.69 65,873.07 74,397.05 41.85%41.43%42.33%48,198.88 69,872.23 79,232.10 44.99%43.94%45.08%2020 4.48%2022 11.68%10.16 电子化学品系列报告 20 请务必阅读末页声明。2023 5.18 YoY+16.25%QoQ-2.26%0.6 YoY+55.46%QoQ+0%0.55 YoY+85.12%QoQ+10%38.11%YoY+5.1pcts QoQ+2.08pcts 12.34%YoY+2.9pcts QoQ+0.90pcts 48.80%41.32%9.88%5.10 002549 11 2023 2 2 ASML Cymer Cymer Cymer Cymer Cymer 10 电子化学品系列报告 21 请务必阅读末页声明。表 6：重点 公司 评级 表 资料来源：Wind 资讯，东莞证券研究所 5.风险 提示 1 2 3 4 5 6 7 8 电子化学品系列报告 22 请务必阅读末页声明。东莞证券 研究报告 评 级体 系：6 15%6 5%-15%6 5%6 5%6 10%6 10%6 10%A 300 证券分析师承诺：声明：“”东 莞证券股 份有限 公司研 究所 1 24 523000 0769 22115843 前沿报告库是中国新经济产业咨询报告共享平台。行业范围涵盖新一代信息技术、5G、物联网、新能源、新材料、新消费、大健康、大数据、智能制造等新兴领域。为企事业单位、科研院所、投融资机构等提供研究和决策参考。扫一扫免费获取海量报告
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