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分析师：陈耀波 S0010523060001日期：2024 年7 月26 日华 安证券研 究所半 导 体 材 料证 券 研 究 报 告2华安研究 拓展投资价值华安证券研究所敬请参阅末页重要 声明及评级说明 主要观点 半 导体制 造材料 国产化 率较低，具有 广阔成 长空间半导 体材料 位于 半导体产 业链上 游，是半导体 产业链 中细 分领域最 多的环 节。根据SEMI，全球 半导 体制造材 料2023 年市 场规模约166 亿美 元。虽然下 游市场 在2023年略 显疲 软，但 已于2024年开 始逐 渐 回暖，代 工厂 稼动 率 也逐 步提 升，有望 带 动全 球半 导体 制造 材 料市 场扩 大。并且，半导 体产 能向 国内 迁 徙，也利 好本 土半 导 体材料厂商进 行国产 替代。半导 体制造 材料 可细分为 硅片、电子 特气、掩 膜版、CMP 材料、光 刻胶、湿电 子化学品、靶材 等多 种材料，这些材 料根 据制程的 不同，又可 分为多种 品类。由于 细分子行业 众多，所以 企业进行 平台化 布局 有助于扩 大自身 成长 空间。但 同时，细分 领域众多 也导致 了单 一市场规 模空间 有限，且产品 从认证 到批 量供货需 要一定 时间，所以我们 预计稳 定成 长将成为 国内企 业半 导体材料 业务业 绩增 长模式。代 工厂扩 产窗口 期利于 本土企 业进行 国产替 代，期 间决定 本土半 导体材 料企业 竞争格 局半导体材料多属于耗材类产品，国 内 晶 圆 厂 扩 产 促 进 中 国 半 导 体 材 料 市 场 扩 大，同 时 也 为 本 土 企 业 进 行 国 产 化 替 代 带 来 机 遇。根据SEMI，全 球 约60%的2045nm制 程 节 点 制 造 产 能 位 于 中 国 大 陆 与 中 国 台 湾。且 若 算 上 计 划 投 产 的 新 晶 圆 厂，预 计 未 来35 年，中 国 大 陆 与 中 国 台 湾 地 区 的2045nm 代 工 产 能 合 计 将 接 近80%，且中国大陆的 产能将 超过 中国台湾。我们 认为，这段期 间将是 企业 进行半导 体材料 国产 替代的黄 金窗口 期。建 议关注：硅片：沪硅产业、立昂微 电 子特 气：华特气体、南 大光 电、金 宏气 体 CMP抛 光液/垫：安集科技、鼎龙 股份 光 刻胶：彤程新材、上海 新阳 湿 电子 化学品：晶瑞电材、新宙 邦、江化微 靶 材：江丰电子、有研新 材 风 险提示：1）产品验证/替代 进度不 及 预期；2）竞争加 剧 致厂商利 润率下 滑WUCXxOnQoNnMsMpMsPpQmN6MaO9PoMpPtRnRkPmMpQlOpMnN6MrRxOwMnNtMMYtRuN3华安研究 拓展投资价值华安证券研究所目录1半 导 体 材 料：贯 穿 半 导 体 生 产 全 流 程，细 分 种 类 繁 多2半 导 体 硅 片：半 导 体 器 件 的 主 要 载 体，集 成 电 路 大 厦 之 地 基3电 子 特 气：半 导 体 材 料 的“粮 食”和“源”4掩 膜 版：图 形 转 移 传 送 带，光 刻 复 制 的 蓝 本5C M P 材料：抛光液&抛 光 垫，平 坦 化 技 术 核 心 材 料678光 刻 胶：集 成 电 路 制 造 之 纽 带，光 刻 刻 蚀 衔 接 链湿电子化学品:保 证 工 艺 精 度 的 重 要 材 料，国 产 替 代 任 重 道 远靶材：P V D 沉积核心材料，薄膜沉积重要组成部分4华安研究 拓展投资价值华安证券研究所 材 料 是 半 导 体 行 业 的 基 础，细 分 种 类 众 多。半 导体 材料贯 穿了半导 体生产 的全流程，半导 体制造可 以分为 前道晶圆 制造和 后道封装测试，因 此按照应 用环节 可以分为 晶圆制 造材料和 封测材 料，分别 用于晶 圆制造和 芯片封 装测试 在 晶圆制 造工艺中，主要 用料为硅 片、靶材、抛光 材料、光刻胶、高纯化 学试剂、电子特 气和化合 物半导 体，其中，硅片、电子特气、光掩 膜版、抛 光材 料 等用 量较 大；在 封装 测试 中，主 要材 料为 封装 基 板、引线 框架、陶瓷 封装 体和 键 合金 属线，其中，封装基板 等是较 为主要的 材料敬请参阅末页重要 声明及评级说明 半导体材料：贯穿半导体生产全流程，细分种类繁多半 导 体 材 料 细 分资料 来源：华 经产 业研 究 院，华安 证券 研究 所半 导 体 材 料 用 途名称 主要材料 主要用途制造材料硅片 晶圆制造的基地材料溅射靶材 芯片中纸杯薄膜的元素级材料通过磁控进行精准放置CMP 抛光液和抛光垫通过化学反应与物理研磨实现大面积平坦化光刻胶 将掩膜版上的图形转移到硅片上的关键材料高纯化学试剂 晶圆制造过程进行湿法工艺电子气体 氧化、还原、除杂化合物半导体 新一代半导体材料封装材料封装基板 保护芯片、物理支撑、连接芯片与电路板、散热引线框架 保护芯片、物理支撑、连接芯片与电路板晶圆制造封测硅片反 应气体 光 刻胶掩 膜版 显 影液去 胶剂 掺 杂气 MO源 CMP 材料 靶材 封装厂封 装剂 缝 合性 封 装基板Ow3zCc1zTAu8E60Vg0AlbEnPyPSCGvG90wyKf2tEx5uZuukzsh3UV8vOHMiJD/jH 5华安研究 拓展投资价值华安证券研究所 由 于 下 游 工 厂 稼 动 率 从23 年 下 半 年 开 始 慢 慢 复 苏，由 此 带 动 了 材 料 需 求。在8 英寸晶 圆产能 利用率上，2023Q4 季 度迎 来低谷，2024年 会有 逐 步回 升的 趋势。同时，在 高度 同 质化 的8 英 寸市 场，价格 竞 争也 更 为激 烈。在12 英寸 晶圆 产 能利 用 率上，位 于头 部 的晶 圆代工 企 业 的 产 能利用 率大致 也能达 到80%左右敬请参阅末页重要 声明及评级说明 晶圆代工厂稼动率有望于24年回升，带动半导体需求回暖12英 寸 晶 圆 产 能 利 用 率资料 来源：Trendforce，华安 证券 研究 所1Q22 2Q22 3Q22 4Q22 1Q23 2Q23 3Q23 4Q23 1Q24 2Q24F 3Q24F 4Q24F 8 英 寸 晶 圆 产 能 利 用 率6华安研究 拓展投资价值华安证券研究所 半 导 体 产 能 向 国 内 迁 徙，利 好 本 土 半 导 体 材 料 厂 商 进 行 国 产 替 代。根据已公布的晶圆厂投资数据显示，全球约60%的2045nm制程节 点 制 造 产 能 位 于 中 国 大 陆 与 中 国 台 湾。且 若 算 上 计 划 投 产 的 新 晶 圆 厂，预 计 未 来35 年，中 国 大 陆 与 中 国 台 湾 地 区 的2045nm 代工 产 能 合 计 将 接 近80%，且中国大陆的产能将超过中国台湾。同时，在50180nm 制程节点，中 国 大 陆 目 前 控 制 全 球 约30%的产能，且预计未来5 年内 该 比例 将 攀升 至35%。随着 半 导体 产 能逐 渐 向国 内 迁徙，本土 半 导体 材 料企 业 有望 受 益于 国 产替 代 而实 现 快速 增 长敬请参阅末页重要 声明及评级说明 半导体材料：国内晶圆厂产能占比将持续攀升，利好国内厂商进行国产替代资料 来源：SEMI，华安 证 券研 究所未来中国大陆2045nm 规 划 总 产 能 将 占 全 球30%中 国 大 陆 与 中 国 台 湾 合 计 控 制 全 球50180nm 产 能 的70%7华安研究 拓展投资价值华安证券研究所 产能向12 英 寸 迁 徙 有 望 带 动 半 导 体 材 料 需 求 量 提 升。12英寸已成为市场主流，主 流 的 半 导 体 设 备 厂 商 很 少 推 新 的8 英寸设备，所以市 场 上 更 多 的 是 二 手8 英 寸 设 备 在 流 转。厂 商 扩 产 均 以12 英 寸 为 主。根据Trendforce，预计从22 年至27 年，12 英 寸 晶 圆 的 年 复 合 增长率将达7.4%，远高于8 英寸晶 圆的年 复合增 长率。随着nm 制 程 的缩减，芯片 生产的 步骤不 断提升，将带 动半导 体材料 的需求 增长敬请参阅末页重要 声明及评级说明 半导体材料-产能向12英寸迁徙有望带动半导体材料需求提升资料 来源：Trendforce、KLA Tencor，华 安证 券研 究 所0%1%2%3%4%5%6%7%8%8-inch 12-inch2022-2027E CAGR未 来 数 年 的 产 能 扩 张 仍 以12寸 晶 圆 为 主 半 导 体 材 料 需 求 量 有 望 随 芯 片 生 产 步 骤 增 长 而 提 升（步 骤 数）0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%02004006008001,0001,2001,40090 65 45 28 20 14 10 7 5(nm)芯片生产步骤 累计产率8华安研究 拓展投资价值华安证券研究所目录1半 导 体 材 料：贯 穿 半 导 体 生 产 全 流 程，细 分 种 类 繁 多2半 导 体 硅 片：半 导 体 器 件 的 主 要 载 体，集 成 电 路 大 厦 之 地 基3电 子 特 气：半 导 体 材 料 的“粮 食”和“源”4掩 膜 版：图 形 转 移 传 送 带，光 刻 复 制 的 蓝 本5C M P 材料：抛光液&抛 光 垫，平 坦 化 技 术 核 心 材 料678光 刻 胶：集 成 电 路 制 造 之 纽 带，光 刻 刻 蚀 衔 接 链湿电子化学品:保 证 工 艺 精 度 的 重 要 材 料，国 产 替 代 任 重 道 远靶材：P V D 沉积核心材料，薄膜沉积重要组成部分9华安研究 拓展投资价值华安证券研究所 硅 片是半 导体器件 的主要 载体，在 半导体 材料占比 最高。硅基半导 体材料 是目前产 量最大、应用 最 广的 半 导体 材料。硅 片 位 于 半 导体制造产业链上游。在半导体制造产业链中，硅片是基础材料，位于制造产业链的上游，集 成 电 路 结 构 是 以 硅 片 为 基 础 搭 建 而 成 的，硅 片是芯 片制造的 核心原 材料敬请参阅末页重要 声明及评级说明 半导体硅片：半导体器件的主要载体，集成电路大厦之地基资料 来源：中 晶科 技招 股 说明 书、集成 电路 产业 全 书，华安 证券 研究 所硅 片 分 类分类标准 种类尺寸 6 英寸、8 英寸、12 英寸制造工艺 抛光片、外延片与、SOI 硅片掺杂程度 轻掺、重掺应用场景 正片、测试片应 用 最 广 的 三 类 硅 片 的 用 途名称 特点 主要用途抛光片用抛光工艺去除硅片表面的加工损伤层，降低硅片表面粗度。提高平整度和颗粒度轻掺：主要用于微处理器、存储片、数字芯片、电源管理芯片、指纹 识别芯片等的制造。8 英寸硅抛光片还应用于线宽 0.13um/0.11um 及更大线宽集成电路产品和器件的制造重掺：主要用作硅外延片的衬底，以及用于制造稳压（隧道击穿）二极管等器件外延片具有比抛光片更低的含氧量、含碳量、更低的缺陷密度，提高了栅极氧化层的完整性，改善了沟道中的漏电现象，降低了器件能耗，提升了电路可靠性及器件可靠性CMOS 电路中如通用处理器芯片、图形处理器芯片等；二极管、IGBT 等功率器件SOI 片可通过绝缘埋层实现全介质隔离，大幅减少硅片的寄生电容，改善漏电现象，消除了闩锁效应。特点包括寄生电容小、短沟道效应小、低压低功耗、集成密度高、速度快、工艺简单等适用于要求耐高压、耐恶劣环境、低功耗、集成度高的芯片上，如射频前端芯片、功率器件、汽车电子、传感器以及星载芯片等10华安研究 拓展投资价值华安证券研究所 受 益 于 市 场 需 求 复 苏，全 球 硅 片 市 场 也 逐 渐 恢 复，2023 年 全球硅片市场规模139 亿美元，预计2024 年达到148 亿美元，全球 半导 体硅 片市场 最主流的 产品规 格为 12 英 寸硅片 和 8 英寸 硅片。12英寸主 要用于90nm 及以 下的工 艺制程，随着芯 片制程的 缩进，市场对于12英 寸 硅 片 的需求 将持续 提升敬请参阅末页重要 声明及评级说明 半导体市场推动硅片市场增长，大尺寸硅片需求提升资料 来源：清 溢光 电23 年 年报、思 瀚产 业研 究院、中商 情报 网，华安 证券 研 究所6英寸及 以下8英寸12 英寸硅 片 市 场 规 模（亿 美 元）硅 片 细 分 市 场 规 模沪硅产业中环股份立昂微中晶科技其他硅 片 竞 争 格 局-15%-10%-5%0%5%10%15%20%0204060801001201401601802020 2021 2022 2023 2024E市场规模 YOY（右侧）11华安研究 拓展投资价值华安证券研究所 沪 硅 产 业 集 团 主 要 从 事 半 导 体 硅 片 的 研 发、生 产 和 销 售，是 中 国 大 陆 规 模 最 大 的 半 导 体 硅 片 制 造 企 业 之 一，是 中 国 大 陆 率 先 实 现300mm 半 导 体 硅 片 规 模 化 销 售 的 企 业。硅 产 业 集 团 自 设 立 以 来，坚 持 面 向 国 家 半 导 体 行 业 的 重 大 战 略 需 求，坚 持 全 球 化 布 局，坚持紧 跟国际 前沿技术，突破 了多项半 导体硅 片制造领 域的关 键核心技 术，推 进了我国 半导体 关键材料 生产技 术“自主 可控”的进程敬请参阅末页重要 声明及评级说明 沪硅产业-推进我国半导体关键材料生产技术“自主可控”的进程沪 硅 产 业 主 营 业 务 及 介 绍资料 来源：沪 硅产 业公 告，华 安证 券研 究所产品分类硅片种类 图示 应用领域 终端应用200mm及以下半导体硅片（含SOI硅片）抛光片、外延片、SOI 硅片射频前端芯片、传感器、模拟芯片、分立器件、功率器件等智能手机、便携式设备、汽车、物联网产品、工业电子等300mm半导体硅片抛光片、外延片存储芯片、图像处理芯片、通用处理器芯片、功率器件等智能手机、便携式设备、计算机、云基础设施等沪 硅 产 业 收 入 拆 分（亿 元）05101520253035402021 2022 2023200mm及以下的半导体硅片 300mm半导体硅片 受托加工 其他12华安研究 拓展投资价值华安证券研究所 2021至2023 年，公 司收 入从24.66 亿 元增 长至31.90 亿 元，CAGR 约8.9%；归 母 净利润 从1.46 亿 元增 长 至1.87 亿 元，CAGR 约8.5%；此 外，公 司 毛利率 也从15.96%提升至16.46%，净 利 率提升 至5.04%。24Q1，公 司实 现营收7.24 亿元，归母 净利润 约-1.98 亿 元，毛利率约-7.68%，净利率约-31.54%子 公司 上 海新 昇持 续推 进 300mm 半 导体 硅 片的 产能 建设 工 作，预计 到 2024 年底，上海 新 昇二 期 30 万片/月 300mm 半 导 体硅 片 产能 建 设 项 目 将全部 建设完 成，实 现公司 300mm硅片 60 万片/月 的 生 产能力 建设目 标敬请参阅末页重要 声明及评级说明 沪硅产业-推进我国半导体关键材料生产技术“自主可控”的进程沪 硅 产 业 营 业 收 入（亿 元）资料 来源：沪 硅产 业公告，华 安证 券研 究所-40%-30%-20%-10%0%10%20%30%2021 2022 2023 2024Q1毛利率 净利率沪 硅 产 业 毛 利 率 与 净 利 率沪 硅 产 业 归 母 净 利 润（亿 元）-20%-10%0%10%20%30%40%50%05101520253035402021 2022 2023 2024Q1营业总收入 YOY（右侧）-350%-300%-250%-200%-150%-100%-50%0%50%100%150%-3-2-1012342021 2022 2023 2024Q1归母净利润 YOY（右侧）13华安研究 拓展投资价值华安证券研究所 杭 州立昂 微电子股 份有限 公司是2002 年3 月 在杭州经 济技术 开发区注 册成立 的专注于 集成电 路用半导 体材料、半导体 功率芯 片、集成 电路芯 片设计、开发、制造、销 售的高 新技术企 业,主营业务包括半导体硅片、半导体功率器件、化 合 物 半 导 体 射 频 芯 片，公司主营 业 务 主 要 分 三 大 板 块,分 别 是 半 导 体 硅 片、半 导 体 功 率 器 件、化 合 物 半 导 体 射 频 芯 片。主 要 产 品 包 括6-12 英 寸 半 导 体 硅 抛 光 片 和 硅外延片、6 英 寸肖 特 基芯 片 和MOSFET芯片、6 英寸 砷化 镓 微波 射 频芯 片 等三 大 类敬请参阅末页重要 声明及评级说明 立昂微-专注于集成电路的高新技术企业资料 来源：立 昂微 公告，华安 证券 研究 所产品分类 图示 应用领域48 英寸半导体硅抛光片（轻掺硼、轻掺磷）主要用于微处理器、存储芯片、数字芯片、电源管理芯片、指纹识别芯片等的制造。其中8 英寸硅抛光片还应用于线宽0.13/0.11 微米及更大线宽集成电路产品和器件的制造。48 英寸半导体硅抛光片（重掺砷、重掺磷、重掺锑、重掺硼）主要用作硅外延片的衬底，以及用于制造稳压（隧道击穿）二极管等器件。48 英寸半导体硅外延片主要用于分立器件以及集成电路的制造，可用于制备MOSFET、双极型晶体管、IGBT、肖特基二极管、电荷藕合器件、CIS 等多种产品。立 昂 微 主 营 业 务 及 介 绍立 昂 微 财 务 拆 分（亿 元）051015202530352021 2022 2023半导体功率器件 半导体硅片 化合物半导体射频芯片 其他14华安研究 拓展投资价值华安证券研究所 2021至2023 年，公 司收 入从25.40 亿 元增 长至26.89 亿 元，CAGR 约1.90%；归 母 净利润 从6.00 亿 元下降 至0.66 亿 元，CAGR 约-52。08%；此 外，公 司 毛利率 也从44.9%下降至19.76%，净 利 率从24.49%下降至-0.99%。24Q1，公 司 实 现营 收6.79 亿 元，归 母净利 润约-0.63亿元，毛利率约9.88%，净 利率约13.79%公 司积 极 推进 各生 产基 地 新增 产能 的建 设。衢州 基 地年 产 600 万片 6-8 英 寸硅 抛光 片项 目 稳步 推进 中，预 计于 2024 年 9 月完 成 8英寸 25 万片/月新 增产能 设备的移 机工作。嘉兴基 地 12 英 寸硅抛 光片扩 产项目正 在按计 划推进中，预计 2024 年 底将达 到 15 万片/月 的产 能。海 宁基 地年 产 36 万片 6 英 寸 微波 射频 芯片及 器件 生产 线项目 完成 土建 工程，开始 了主 要甲供 设备、特 气工程包、化学品 工 程 包 等 招标工 作，预 计于 2024 年 第 四 季 度 建成 6 万片/年 的 产 能 并投 入商业 运营敬请参阅末页重要 声明及评级说明 立昂微-专注于集成电路的高新技术企业资料 来源：立 昂微 公告，华安 证券 研究 所-20-10010203040502021 2022 2023 2024Q1毛利率 净利率立 昂 微 营 业 收 入（亿 元）立 昂 微 毛 利 率 与 净 利 率 立 昂 微 归 母 净 利 润（亿 元）-20%-10%0%10%20%30%40%50%60%70%80%051015202530352021 2022 2023 2024Q1营业收入 YOY（右侧）-400%-300%-200%-100%0%100%200%300%-2024682021 2022 2023 2024Q1归母净利润 YOY（右侧）15华安研究 拓展投资价值华安证券研究所目录1半 导 体 材 料：贯 穿 半 导 体 生 产 全 流 程，细 分 种 类 繁 多2半 导 体 硅 片：半 导 体 器 件 的 主 要 载 体，集 成 电 路 大 厦 之 地 基3电 子 特 气：半 导 体 材 料 的“粮 食”和“源”4掩 膜 版：图 形 转 移 传 送 带，光 刻 复 制 的 蓝 本5C M P 材料：抛光液&抛 光 垫，平 坦 化 技 术 核 心 材 料678光 刻 胶：集 成 电 路 制 造 之 纽 带，光 刻 刻 蚀 衔 接 链湿电子化学品:保 证 工 艺 精 度 的 重 要 材 料，国 产 替 代 任 重 道 远靶材：P V D 沉积核心材料，薄膜沉积重要组成部分16华安研究 拓展投资价值华安证券研究所 电 子特种 气体（简称 电子特 气）是 指用于 半导体、平板显 示及其它 电子产 品生产的 特种气 体。晶圆 制造主 要包括清 洗、沉积/CVD、光刻、刻蚀、离子 注入、成膜等工 艺，从 单个芯片 生成到 最后器件 的封装，几乎每 一个环 节都离不 开电子 气体，因 此电子 特气被称为 半 导 体 材 料的 粮食 和 源 敬请参阅末页重要 声明及评级说明 电子特气：半导体材料的“粮食”和“源”资料 来源：金 宏气 体招 股 说明 书，华安 证券 研究 所产品分类 用途 主要产品电子特种气体化学气相沉积（CVD）氨气、氦气、氧化亚氮、TEOS（正硅酸乙酯）、TEB（硼酸三乙酯）、TEPO（磷酸三乙酯）、磷化氢、三氟化氯、二氯硅烷、氟化氮、硅烷、六氟化钨、六氟乙烷、四氯化钛、甲烷等离子注入氟化砷、三氟化磷、磷化氢、三氟化硼、三氯化硼、四氟化硅、六氟化硫、氙气等光刻胶印刷 氟气、氦气、氪气、氖气等扩散 氢气、三氯氧磷等刻蚀氦气、四氟化碳、八氟环丁烷、八氟环戊烯、三氟甲烷、二氟甲烷、氯气、溴化氢、三氯化硼、六氟化硫、一氧化碳等电子大宗气体 环境气、保护气、载体 氮气、氧气、氩气、二氧化碳等电 子 特 气 分 类17华安研究 拓展投资价值华安证券研究所 2023年中 国电子特 种气体 行业市场 规模约 为264 亿元。全球 市场规模：预计 到2026 年，全球 电子特种 气体市 场规模将 突破70.3 亿美元。增长 趋势：从2016 年到2020 年，中国 电子特种 气体行 业市场规 模从103 亿 元增长 到175 亿元，复合 增长率 为14.17%。市 场竞争格 局：全 球电子特 种气体 市场主要 由欧美、日本等 国家或 地区的企 业占据敬请参阅末页重要 声明及评级说明 电子特气：制造工艺不可或缺的原材料，产品需求走向高端化资料 来源：清 溢光 电23 年 年报、前 瞻产 业研 究院，华安 证券 研究 所全 球 电 子 特 气 市 场 规 模（亿 美 元）空气化工林德集团液化空气太阳日酸其他空气化工林德集团液化空气太阳日酸国内气体公司全 球 电 子 特 气 行 业 市 场 竞 争 格 局 中 国 电 子 特 气 行 业 市 场 竞 争 格 局-6%-4%-2%0%2%4%6%8%10%12%14%16%01020304050602020 2021 2022 2023 2024E市场规模 YOY（右侧）18华安研究 拓展投资价值华安证券研究所 金 宏 气 体 成 立 于1999 年，是 专 业 从 事 气 体 研 发、生产、销 售 和 服 务 的 安 全、环保、集 约 型 综 合 气 体 提 供 商。公 司 的 产 品 线 较 广，既生产超纯氨、高纯氢、高纯氧化亚氮、干冰、硅烷、其他超高纯气体、混合气等特种气体，又生产应用于半导体行业的电子大宗气体 和 应 用 于 其 他 工 业 领 域 的 大 宗 气 体 及 天 然 气。公 司 主 要 产 品 应 用 于 集 成 电 路、液晶面板、LED、光纤通信、光伏、医疗健康、节能 环保、新材料、新能源、高端 装 备制 造、食品、冶金、化工、机 械制造 等众多领 域，是 发展 先进 制造 业 的重 要原 材料敬请参阅末页重要 声明及评级说明 金宏气体-安全、环保、集约型综合气体提供商资料 来源：金 宏气 体公 告，华 安证 券研 究所供气模式 图示 简介瓶装供气对于超纯氨、氢气等特种气体，公司采购原材料后利用自身生产设备进行生产，并销售给客户；对于氮气、氧气等大宗气体，公司通过空分装置生产或从供应商采购液态气体，经充装等工艺生产瓶装气，再销售给下游客户。储槽供气公司利用空分装置生产液态气，或直接从供应商处采购液态气，经过分装等工艺处理后，通过专用的包装容器和车辆送达客户端，将低温液体产品储存在客户的储罐中，供客户按规模要求自行气化使用。现场供气公司在客户现场建立气体生产装置，直接向单一客户供应或者通过管道向工业园区内的数个客户供应工业气体。金 宏 气 体 供 气 模 式金 宏 气 体 收 入 拆 分（亿 元）0510152025302021 2022 2023特种气体 大宗气体 清洁煤气 其它19华安研究 拓展投资价值华安证券研究所 2021至2023 年，公 司收 入从17.41 亿 元增 长至24.27 亿 元，CAGR 约11.70%；归 母 净利润 从1.67 亿 元增长 至3.15 亿 元，CAGR 约23.55%；此 外，公 司 毛利 率也 从29.96%提升至37.73%，净 利率从9.57%提 升至13.52%。24Q1，公 司实 现营收5.89 亿 元，归母 净利润约0.76 亿 元，毛 利率约34.10%，净利 率约13.23%公 司取 得 无锡 华润 上华、苏州 龙驰、西 安 卫光 科技 等三 个 电子 大宗 载气 项 目。首个 电子 大 宗载 气项 目正 式 量产。广 东粤 能 项目 于2023年8 月1 日 量 产供 应，标 志着公 司已具 备完整 电子大 宗载气 业务开 发、建 设、运 行能力。氦气 资源充 分保障 集成电 路客户 需求。公司于2023 年5 月与 中集安 瑞科举 行液氦 储罐战 略合作 签约，多方开 拓液氦 储罐的 采购渠 道，储 罐数量 稳步提 升 敬请参阅末页重要 声明及评级说明 金宏气体-安全、环保、集约型综合气体提供商资料 来源：金 宏气 体公 告，华 安证 券研 究所0%5%10%15%20%25%30%35%40%2021 2022 2023 2024Q1毛利率 净利率金 宏 气 体 归 母 净 利 润（亿 元）金 宏 气 体 营 业 收 入（亿 元）金 宏 气 体 毛 利 率 与 净 利 率0%5%10%15%20%25%30%35%40%45%0510152025302021 2022 2023 2024Q1营业收入 YOY（右侧）-20%-10%0%10%20%30%40%50%00.511.522.533.52021 2022 2023 2024Q1归母净利润 YOY（右侧）20华安研究 拓展投资价值华安证券研究所 江 苏南大 光电材料 股份有 限公司诞 生于国 家 863 计划,创 办于2000 年,成长 于国家 02-专项 2012 年8 月7 日在深 圳证券交 易所创 业板挂 牌上市。二十多 年来,公司一 直紧 跟国家 发展战略,围绕 前驱体 材料(包含MO 源)、电 子特气 和光刻胶 三项核 心电子材 料进行 奋斗,并形 成三大 核心业务 布局。经 营 范围：高 新 技术 光电 子 及 微 电子 材料 的 研 究、开发、生产、销售,高新 技 术 成果 的 培育 和 产 业化,实 业投资,国内贸易,经 营本 企业 自 产产 品 的出 口 业务 和 本企 业 所需 的 机械 设 备、零 配件、原辅 材 料的 进 口业 务敬请参阅末页重要 声明及评级说明 南大光电-紧跟国家发展战略，形成三大核心业务布局资料 来源：南 大光 电公 告，华 安证 券研 究所产品名称 英文缩写 主要用途三甲基镓 TMGa 全色系LED 的有机Ga 源、砷化镓太阳能电池三甲基铟 TMIn全色系LED 的有机In 源、砷化镓太阳能电池、射频集成电路芯片、红外探测器、量子阱激光器等三甲基铝 TMAI 全色系LED 的有机Al 源、射频集成电路芯片二茂镁 cp2mg LED、半导体激光器的掺杂二甲基锌 DMZn 半导体激光器掺杂三乙基锑 TESb 砷化镓太阳能电池掺杂四氯化碳 CCl4 红黄光LED 掺杂二乙基碲 DETe 红黄光LED、砷化镓太阳能电池掺杂南 大 光 电 主 要 产 品 介 绍 南 大 光 电 收 入 拆 分（亿 元）0246810121416182021 2022 2023电子特气 前驱体材料（含MO 源）其他21华安研究 拓展投资价值华安证券研究所 2021至2023 年，公 司收 入从9.84 亿 元增 长至17.03 亿 元，CAGR 约11.70%；归 母 净利润 从1.36 亿 元增长 至2.11 亿 元，CAGR 约23.55%；此 外，公 司 毛利 率也 从43.43%下降至43.16%，净 利率从18.61%下 降至16.06%。24Q1，公 司实现 营收5.09 亿 元，归母 净利润约0.82 亿 元，毛 利率约46.17%，净利 率约20.48%公 司 氢 类 特 气 业 务 加 速 产 能 建 设，积 极 开 拓 新 应 用。在 服 务 好 集 成 电 路 客 户 和LED 客户基础上，依 托 关 键 产 品 磷 烷 的 技 术 优 势，抢抓行业风口，以国内首创的混气鱼雷车供应模式，将磷烷混气一举打入光伏市场，带动氢类特气快速增长。此外，扩产的多款同位素功能材料产品，技术和品质均接近业界先进水平，开始进入国内外市场。氢类特气板块销售额同比增长超40%。目前研发的三款ArF 光 刻 胶 产 品 已 在下游 客户通 过认证 并实现 销售，多款产 品在主 要客户 处认证敬请参阅末页重要 声明及评级说明 南大光电-紧跟国家发展战略，形成三大核心业务布局资料 来源：南 大光 电公 告，华 安证 券研 究所0%10%20%30%40%50%2021 2022 2023 2024Q1毛利率 净利率南 大 光 电 归 母 净 利 润（亿 元）南 大 光 电 营 业 收 入（亿 元）南 大 光 电 净 利 率 与 毛 利 率0%10%20%30%40%50%60%70%0246810121416182021 2022 2023 2024Q1营业收入 YOY（右侧）0%10%20%30%40%50%60%00.511.522.52021 2022 2023 2024Q1归母净利润 YOY（右侧）22华安研究 拓展投资价值华安证券研究所 广 东华特 气体股份 有限公 司是一家 致力于 特种气体 国产化,打破 极大 规模集 成电路、新型显 示面板等 高端领 域气体材 料制约 的民族气体 厂商，主 营业务 以特种 气体的研 发生产 及销售为 核心，辅 以普通 工业气 体和相关 气体设 备与工程 业务，提供 气体 一站式 综合应用解 决方案敬请参阅末页重要 声明及评级说明 华特气体-提供气体一站式综合应用民族气体厂商资料 来源：华 特气 体公 告，华 安证 券研 究所产品名称 主要用途特种气体1、广泛用于集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆等电子产业的加工制造过程，主要包括清洗、蚀刻、光刻、外延、掺杂等，具体情况如下：清洗、蚀刻：高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、高纯二氧化碳等；光刻气：氪氖混合气、氟氖混合气等；外延气体、成膜气体：高纯氨、硅烷等；掺杂气体：乙硼烷、三氯化硼、磷烷等；其他：氮（6N）、氢气（6N）、氩（5.5N）、He（5N）等；2、除电子领域外，用于医疗、测量、食品等众多领域的产品：医疗气体：医用氧、血气测定气等，用于诊断、手术、医学研究等；标准气体：由高纯碳氢气体配制，在物理、化学、生物工程等领域中用于校准测量仪器和测量过程，评价准确度和检测能力，确定材料的特性量值；激光气体：氦氖激光气、密封束激光气等，用于国防建设、激光加工等；食品气体：二氧化碳、乙烯、氩等，用于饮料气体、蔬菜/水果保鲜等；电光源气体：氩、氪、氖、氙及其混合气，用于电器、灯具生产普通工业气体主要为氧、氮、氩、工业氨等气体，在金属冶炼、化工、机械制造、家电照明等众多产业领域气体设备与工程1、气体设备包括低温绝热气瓶、汽化器、撬装装置等，可广泛用于气体的存储、充装等过程；2、气体工程主要是为客户提供的供气系统设计、安装、维修服务华 特 气 体 主 要 产 品 介 绍 华 特 气 体 收 入 拆 分（亿 元）024681012141618202021 2022 2023电子特气 工业气体 设备工程 其它23华安研究 拓展投资价值华安证券研究所 2021至2023 年，公 司收 入从13.47 亿 元增 长至15.00 亿 元，CAGR 约3.65%；归 母 净利润 从1.29 亿 元增长 至1.71 亿 元，CAGR 约9.85%；此 外，公 司 毛利 率也从24.19%提升至30.59%，净 利率从9.59%提 升至11.47%。24Q1，公 司实 现营收3.32 亿元，归母 净利润约0.45 亿 元，毛利 率约33.04%，净 利率 约13.62%公 司 立 足 原 有海 外 客户，进一 步 强化 国 际化 布 局，通 过收 购 的海 外 公司 赋 能公 司 的多 款 产品 已 通过 新 加坡 制造厂商 的认证。为了 更全面覆 盖东南 亚市场，公司投 资马来西 亚公司，通过此 布局已 实现互联 东南亚 市场敬请参阅末页重要 声明及评级说明 华特气体-提供气体一站式综合应用民族气体厂商资料 来源：华 特气 体公 告，华 安证 券研 究所消费电子 工控 资讯 通信 汽车 其它光伏 风电 家电 汽车 照明 其它通信 PC 汽车0%5%10%15%20%25%30%35%2021 2022 2023 2024Q1毛利率 净利率华 特 气 体 归 母 净 利 润（亿 元）华 特 气 体 营 业 收 入（亿 元）华 特 气 体 毛 利 率 与 净 利 率-20%-10%0%10%20%30%40%024681012141618202021 2022 2023 2024Q1营业收入 YOY（右侧）-30%-20%-10%0%10%20%30%40%50%60%70%00.511.522.52021 2022 2023 2024Q1归母净利润 YOY（右侧）24华安研究 拓展投资价值华安证券研究所目录1半 导 体 材 料：贯 穿 半 导 体 生 产 全 流 程，细 分 种 类 繁 多2半 导 体 硅 片：半 导 体 器 件 的 主 要 载 体，集 成 电 路 大 厦 之 地 基3电 子 特 气：半 导 体 材 料 的“粮 食”和“源”4掩 膜 版：图 形 转 移 传 送 带，光 刻 复 制 的 蓝 本5C M P 材料：抛光液&抛 光 垫，平 坦 化 技 术 核 心 材 料678光 刻 胶：集 成 电 路 制 造 之 纽 带，光 刻 刻 蚀 衔 接 链湿电子化学品:保 证 工 艺 精 度 的 重 要 材 料，国 产 替 代 任 重 道 远靶材：P V D 沉积核心材料，薄膜沉积重要组成部分25华安研究 拓展投资价值华安证券研究所 掩 膜版是 微电子制 造过程 中的图形 转移母 版，是半 导体行 业生产制 造过程 中重要的 关键材 料。掩膜 版的作 用是将设 计者的 电路图形通 过曝光 的方式转 移到晶 圆上，从 而实现 批量化生 产。作 为光刻复 制图形 的基准和 蓝本，掩膜版是 连接工 业设计和 工艺制 造的关键，掩膜版 的精度和 质量水 平会直接 影响最 终芯片产 品的优 品率。以 晶圆 制 造为 例，其制造 过程需要 经过多 次曝光工 艺，利 用掩膜版的 曝光 掩 蔽作 用，在半 导 体晶 圆表 面形 成 栅极、源 漏极、掺杂窗口、电极 接触 孔等。半导 体掩 膜版 以成 熟 制程 为主，未来 先进 制程占 比不断 上升敬请参阅末页重要 声明及评级说明 掩膜版：图形转移传送带，光刻复制的蓝本资料 来源：路 维光 电招 股 说明 书、SEM
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