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立升 科技 （ 江苏 ） 有限公司 新一 代半导体生 产线建设项 目 环 境 影 响 报 告 书 （ 报 批稿 ） 立 升 科技 （ 江苏 ） 有限 公 司 二 一四 年 三月 目 录 1 前 言 . . . . . 1 1.1 项目由来 . . . . 1 1.2 项目特点 . . . . 2 1.3 评价工作原则 . . . . 2 1.4 评价工作技术路线 . . . . 3 1.5 关注的主要环境问题 . . . . 3 1.6 报告书主要结论 . . . . 4 2 总 则 . . . . . 5 2.1 编制依据 . . . . 5 2.2 评价因子 . . . . 9 2.3 评价标准 . . . . 10 2.4 评价工作等级 . . . . 15 2.5 评价重点 . . . . 17 2.6 评价范围及环境保护敏感目标 . . . 18 2.7 相关区域规划 . . . . 20 2.8 环境功能区划 . . . . 25 3 拟 建项 目概 况及工 程分 析 . . . . 27 3.1 项目名称 、 项目性质 、 建设地点 、 投资总额及建设周期 . . 27 3 .2 占地面积 、 工作时数 、 职工人数及厂区平面布置 . . 27 3.3 项目组成 、 建设规模及产品方案 . . . 27 3.4 公用及辅助工程 . . . . 28 3.5 拟建项目工程分析 . . . . 33 4 环 境现 状调 查与评 价 . . . . 93 4.1 自然环境概况 . . . . 93 4.2 社会经济概况 . . . . 98 4.3 环境质量现状 . . . . 99 4.4 区域污染源调查与评价 . . . 1 1 1 5. 环 境质 量影响 评价 . . . . 1 19 5.1 大气环境影响评价 . . . . 1 19 5.2 地表水环境影响评价 . . . 139 5.3 地下水环境影响分析 . . . 140 5.4 声环境影响评价 . . . . 146 5.5 固体废物环境影响分析 . . . 1 48 5.6 施工期环境影响分析 . . . 150 6 社 会环 境影响 分析 . . . . 155 6.1 拆迁安置 . . . . 155 6.2 人群健康 . . . . 155 6.3 基础设施 . . . . 155 7. 环 境风 险评价 . . . . 156 7.1 评价目的 . . . . 156 7.2 评价重点 . . . . 156 7.3 评价工作等级 . . . . 156 7.4 评价范围 . . . . 158 7.5 环境风险源项识别 . . . . 158 7.6 风险事故影响后果分析与评价 . . . 161 7.7 风险防范措施 . . . . 171 7.8 事故应急对策 . . . . 175 7.9 事故应急预案的制定 . . . 177 7.10 环境风险评价结论 . . . . 182 8 污 染防 治措施 评述 . . . . 184 8.1 大气污染防治 措施 . . . . 184 8.2 水污染防治措施 . . . . 192 8.3 固体废物环境保护措施 . . . 203 8.4 声环境保护措施 . . . . 206 8.5 地下水保护措施 . . . . 207 8.6 厂区绿化 . . . . 207 8.7 环保措施投资 . . . . 208 9 产 业政 策 、 清洁生 产分 析及 循环经 济 . . . 210 9.1 产业政策分析 . . . . 210 9.2 清洁生产分析 . . . . 210 9.3 循环经济分析 . . . . 213 10 污 染物 排放 总量控制 分析 . . . 214 10.1 总量控制因子的确定 . . . 214 10.2 排放总量指标核定 . . . 214 10.3 总量控制途径分析 . . . 215 1 1 环 境 经济 损益分 析 . . . . 216 1 1.1 社会效益分析 . . . . 216 1 1.2 经济效益分析 . . . . 217 1 1.3 环境效益分析 . . . . 217 12 环 境管 理和 监测计划 . . . . 218 12.1 环境管理计划 . . . . 218 12.2 环境监测计划 . . . . 221 13 公 众参 与 . . . . 223 13.1 公众参与的目的 . . . . 223 13.2 公众参与的方式和内容 . . . 223 13.3 公众参与意见汇总及分析 . . . 227 13.4 公众参与调查结论 . . . 230 14 选 址可 行性 分析 . . . . 231 14.1 与相关规划的相符性分析 . . . 231 14.2 与国家及地方管理要求的相容性分析 . . . 234 14.3 环境可行性分析 . . . . 238 14.4 周围公众调查意见分析 . . . 239 14.5 厂区平面布置合理性分析 . . . 240 14.6 结论 . . . . 240 15 金 属污 染控制 及环境 可行 性 . . . 241 15.1 金属污染物产生及排放情况 . . . 241 15.2 金属污染物的环境影响 . . . 242 15.3 重金属污染治理措施 . . . 242 15.4 与重金属防治管理要求的相符性 . . . 243 16 结 论与 要求 . . . . 245 16.1 结论 . . . . 245 16.2 要求 . . . . 250 立升科技 （ 江苏 ） 有限公司 新一代半导体生产线建设项目 环境影响报告书 1 1 前 言 1 . 1 项目 由来 半导体是指导电能力介于金属和 绝缘体 之间的固体材料 ， 按化学成分可分为元素半导体和化合物半导体两大类 。 锗和硅是最常用的元素半导体 ； 化合物半导体包括第 和第 族化合物 （ 砷化镓 、 氮 化镓 、 磷化镓等 ） 、 第 和第 族化合物 ( 硫化镉 、 硫化锌等 ) 、氧 化 物 ( 锰 、 铬 、 铁 、 铜 的 氧 化 物 ) ， 以 及由 - 族 化 合物 和 - 族 化 合 物 组成 的 固 溶体 （ 镓铝 砷 、 镓 砷 磷等 ） 。 除上 述晶态半 导体 外 ， 还有 非晶态的 玻璃 半导体 、 有机半导体等 。 20 世纪 50 年代 ， 半导 体器件的生产主要采用锗单晶材料 ， 到了 60 年代 ， 由于硅单晶材料的性能远远超过锗 ， 因而半导体硅得到了广泛的应用 ， 在半导 体材料中占据主导地位 ； 但从技术上讲 ， 硅由于材料本身性能的限制 ， 在微电子领域的应用范围已不能满足现代信息技术发展的要求 。 砷化镓的电子迁移速率比硅高 5.7 倍 ， 非常适合用于高频电路 。 砷化镓组件在高频 、高功率 、 高效率 、 低噪 声指数的电气特性均远超过硅 ， 以它为基础材料制成的集成电路 ，其工作速度可比目前硅集成电路高一个数量级 ， 在 光电子技术和现代信息技术 （ 移动通讯 、 卫星通讯等 ） 等领域 有着广阔的发展前景 。 美国在 1952 年开始砷化镓的研制 ， 中国 大陆 从六十年代初期开始研制砷化镓晶片 。目前 ， 大陆境内生产的砷化镓材料主要以 L E D 用低阻砷化镓晶片为 代表的低端市场用材料为主 ， 利润率较高的 4 6 英寸砷化镓晶 片还没有形成产业规模 ； 国内一些研究机构一直都有一些项目在进行 ， 但偏向于 小规模的 研发模式 ， 企业界虽然有过产业化的尝试 ， 但至今 也没有成果 。 因此国内至今仍欠缺大型量产项目 ， 4 英寸以上 砷化镓 晶片主要依赖进口 。 立升科技 （ 江苏 ） 有限公司是 由 立升科技投资控股集团有限公司 （ 注册地香港 ） 投资 成立的 子公司 （ 公司 名称 已由 江苏省工 商局 名称预核 准 ， 见附 件 ） 。 该公司 拟 在 淮安经济 开发区 建设 新一 代 化合物半导 体产业基地 ， 首条 生产线即 为本项目的 36 万片 /年 砷化镓 芯片 生 产 线 ， 包括 生产 厂房 、 公辅中心 及生产生活配套设施 等 。 根据 中华人民共和国环境保护法 、 中华人民共和国环境影响评价法 、 建立升科技 （ 江苏 ） 有限公司 新一代半导体生产线建设项目 环境影响报告书 2 设项目环境保护管理条例 （ 国务院 253 号令 ） 等法律和条例的有关规定 ， 应对该工程项 目 进 行 环 境 影 响 评 价 。 为 此 ， 建 设 单 位 委 托 江 苏 省 环 境 科 学 研 究 院 对 该 项 目 进 行 环境 影 响 评 价 。 我 院 在 接 受 委 托 后 ， 对 项 目 拟 建 地 进 行 了 现 场 踏 勘 、 调 查 及 资 料 收 集 ，在 此 基 础 上 依 据 国 家 环 保 法 规 、 评 价 技 术 导 则 和 标 准 对 本 项 目 开 展 环 境 影 响 评 价 工作 ， 编制了本环境影响报告书 。 1 . 2 项目 特点 砷 化 镓 芯 片生 产 属 于高端 产 业 技 术 ， 6 英 寸砷化 镓 芯 片 在 国 内 尚 未规模 化 生 产 。本项目建成后 ， 将填补 国内 在 该 方面 的 空缺 ， 提升 国内相关产业 水平 ， 促进 区域 经济 发展 。 本 项 目 生 产 工 艺 涉 及 砷化 镓 晶 片 外延 、 芯 片制作 工 序 ， 外延 生 产 过程中 使 用 到 砷化氢 、 （ 气态 ） 、 磷化 氢 、 （ 气态 ） 、 三甲基 镓 、 （ 液态 ） 、 三甲基 铟 （ 液态 ） ， 芯片生产过程中使用到 P t、 T i、 A u 、 W S i N 、 A uG e 、 N i、 N i C r 、 P d 等靶 材 ； 其中 ， 砷化氢 、磷化氢等 为 剧毒物质 ， 靶材 均为有色 金属或 其 合金 。 外延生产过程 通过 采用先进的生产装备 、 精 确控制 生产工 艺 、 加强 污染 防 治设施 等措施 ， A s H3会 有 极 微量 的进 入环境空气 以 外 ， 其余 主要以固态含砷废渣和液态含砷 废水 存在 ； 金属 靶材等主要通过蒸 镀等 工序进入产品 ， 整个过程 是在 密闭的环境 中 进行 的 物理反应 ， 除 腔壁 沉积 的金属作为固废外 。 本项目生产过程中产生 含砷废渣 、 污水处理污泥 及其他危废均委托有资质的单位处置 。 1 . 3 评价 工作原则 （ 1 ） 根 据 法律 法 规的要 求 ， 坚 持 “ 实事 求 是 、 客 观公 正 、 科 学 合理 ” 的 原 则 ， 坚 持经济与环境协调发展的原则 。 （ 2 ） 坚 持全面 评价 、 突出重点 的原则 ， 筛选 主要环境 问题 ， 进行科 学预测并 提出保护措施 。 （ 3 ） 坚 持技术 、 经济 可行原则 ， 保证 提出的 各类环保 措施技 术可 行 、 效果可 靠 ，经济可行 ， 且有较强的可操作性 。 （ 4 ） 充 分利用 法律的 、 行政的 、 经济 的手段 使项目建 设成为 促进和 落实各项 环境立升科技 （ 江苏 ） 有限公司 新一代半导体生产线建设项目 环境影响报告书 3 管理制度的基础和先导 。 （ 5 ） 保证评价结果客观 、 真实 ， 为项目的环境管理提供科学依据 。 1 . 4 评价 工作技术路线 本次环评采用的技术路线见图 1.4 - 1 。 图 1.4 - 1 评 价技 术路线 图 1 . 5 关注 的主要环境问题 根据项目特点 ， 本项目 主要关注的环境问题有 ： 立升科技 （ 江苏 ） 有限公司 新一代半导体生产线建设项目 环境影响报告书 4 （ 1 ） 通过 详细的 物料 衡算 ， 分析 项目生产 过程中 砷化氢 、 磷化氢以及其它有色金属 、 合金及化合物的 进入 环境的情况 ； （ 2 ） 项目排污 对周边 敏感 目标的环境影响 情况 ； （ 3 ） 项目 环境风险控制情况及对 环境 风险可接受 程度 ； （ 4 ） 公众对项目 建设 的态度 。 1 . 6 报告书主要结论 项目 产品为 产业结构 调整指导目录 ( 201 1 年 本 ) 、 江苏省工业和信 息产业结构调整指导目录 （ 2012 年本 ） 中 鼓励类 、 不属于 外商投资产业指导目录 （ 201 1 年修订 ） 中限制类和禁止类项目 。 项目 建设 符合国家和地方的相关产业政策要求 。 本项目用地 符合已经 取得江苏省 环保厅环评批复的 淮安经济开发区徐杨片区规划调整环评报告 要求 ， 也符合 取得淮安市 人民政府 批复 的 淮安经济开发区徐杨片区控制性详细规划 要求 。 同时 ， 与 江苏 省生态 红线区域保护规划 、 江苏省重金属污染 防 治 “ 十 二 五 ” 规 划 、 淮河 流 域水 污染 防治 暂 行条 例 、 关于 明 确苏 北 地区 建设项目环境准入条件的通知 等要求相符合 。 项目 生产过程中采用了清洁的生产工艺 ， 所采用的污染防治措施技术经济可行 ， 污染物的排放符合总量控制要求 ， 工程正常 下 排放的污染物 不会改变 当地环境功能区 ， 项目的实施将带来明显的社会效益和经济效益 。 因 此 ， 在 落 实 本报 告 书提 出 的 各
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