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本报告由川财证券有限责任 公司 编制 谨请参阅尾页 的 重要 声明 智能化引领新需求,设备进口替代空间大 证券 研究报告 所属 部门 行业公司 部 报告 类别 行业深度 所属行业 信息科技 /电子 行业评级 增持评级 报告 时间 2019/6/9 分析师 方科 证书编号: S1100517100001 010-68595107 suncancczq 联系人 杨广 证书编号 : S1100117120010 010-66495651 yangguangcczq 川财研究所 北京 西城区平安里西大街 28 号中海国际中心 15 楼,100034 上海 陆家嘴环路 1000 号恒生大厦 11 楼, 200120 深圳 福田区福华一路 6 号免税商务大厦 30 层, 518000 成都 中国(四川)自由贸易试验区成都市高新区交子大道177 号中海国际中心 B 座 17楼, 610041 电子 行业 深度 报告 核心观点 半导体行业 经历 三次产业转移,产业周期更替加速 半导体行业商业模式从集成化向产业链垂直化分工演变,并经历了两次空间上的产业转移。半导体行业经历了三个发展阶段,通常以 4-6 年为一周期,并且有加快的趋势。 投资逻辑一: 智能化驱动半导体行业新一轮增长 智能化是未来产业发展的方向,除了当前消费电子等,未来人工智能( AI)、 5G移动通信、无人驾驶、物联网( IoT)等行业应用的发展,将人类社会推向真正的智能化世界, 真正形成万物互联, 这 将 带来 半导体行业前所未有的新空间。 投资逻辑二:技术进步催生半导体新设备市场需求 摩尔定律推动行业技术进步, 未来半导体技术将向着功能多样化和尺寸微型化两个方向共同发展。 目前台积电、三星 7nm 工艺已实现量产,未来 5nm 甚至 3nm工艺也将陆续推出,技术进步带来了大量的半导体设备新需求。 投资逻辑三: 我国半导体政策持续加码催动行业发展 集成电路行业属于国家鼓励发展的高技术产业和战略性新兴产业,受到国家政策的大力扶持。中国政府 及 各地方政府不断出台相关政策支持集成电路产业的发展。 中美贸易摩擦及 华为事件更加突显在集成电路领域的自主可控的重要性, 将 促进我国在集成电路产业的大力投入与国内企业的发展。 投资逻辑四: 中国晶圆厂建设迎高峰 引领半导体设备需求爆发 我国半导体市场呈现快速增长趋势,增速 明显 高于全球市场 , 但 目前 中国 半导体产业 自给率较低 , 2018 年我国半导体自给率约 15.4%。 根据 SEMI 数据预测,2019 年中国设备支出将比 2018 年增长 25%,韩国将会有 16%的下滑 。我国目前有大量规划及在建的晶圆厂,晶圆厂建设将带来对半导体设备的需求爆发。 全球半导体设备市场国外占据主导,国内公司抓住机遇持续获得突破 2018 年全球半导体设备销售额为 811 亿美元 , 全球半导体设备市场呈现出高垄断的市场格局, 阿斯麦、应用材料、泛林半导体、东电电子等欧美日企业占据主导地位 。 近些年,随着国家集成电路产业基金、 02 专项等支持与发展,我国涌现出了一批优秀的半导体设备公司,如薄膜沉积领域的北方华创、晶圆片制造设备领域晶盛机电、测试设备的长川科技、刻蚀领域的中微半导体等。目前我国半导体设备厂商技术与国际相比仍然有较大差距,但我们认为,随着国家及企业的持续投入, 我国半导体设备企业将快速成长。 风险提示 : 宏观经济下行及半导体行业周期波动 ; 国产半导体设备技术突破不及预期 ; 下游产能投资建设不达预期 川财证券 研究报告 本报告由川财证券有限责任 公司 编制 谨请参阅尾页 的 重要 声明 2/56 正文 目录 一、半导体行业概况 . 5 1. 半导体行业产业链 . 5 2. 半导体产业链工艺流程及设备 . 8 二、投资逻辑:智能化带来新增长,技术发展及政策支持设备需求增长 . 11 1. 投资逻辑一 : 智能化驱动新需求 数据时代引领发展 , 带动相关行业设备的需求 . 11 2. 投资逻辑二 : 技术进步驱动 摩尔定律驱使技术进步 , 新技术催生新设备需求 . 14 3. 投资逻辑三 : 我国政策驱动 政策驱动产业快速发展 , 提升半导体企业竞争力 . 16 4. 投资逻辑四 : 第三次产业转移 中国晶圆厂建设迎高峰 , 半导体设备需求明显 . 20 三、半导体设备市场国外占据主导,但国内在不同子领域取得突破 . 25 1. 全球半导体设备市场稳定增长,国外公司占据市场主导地位 . 25 2. 我 国半导体设备市场增速快,国产替代市场空间大 . 27 3. 半导体设备典型工艺与现状 . 30 3.1 制造过程设备 光刻机 . 31 3.2 制造过程设备 刻蚀机 . 35 3.3 制造过程设备 薄膜沉积设备 . 38 3.4 封测过程设备 . 41 四、国外半导体设备典型公司 . 44 1. 阿斯麦 ( ASML) 全球光刻机设备龙头 . 44 2. 泛林半导体 ( LAM RESEARCH) 全球刻蚀机设备龙头 . 46 3. 应用材料 ( AMAT) 全球 CVD 设备龙头 . 48 五、国内半导体设备典型公司 . 50 1. 晶盛机电 . 50 2. 北方华创 . 51 3. 长川科技 . 53 4. 精测电子 . 54 六、风险提示 . 55 川财证券 研究报告 本报告由川财证券有限责任 公司 编制 谨请参阅尾页 的 重要 声明 3/56 图表目录 图 1: 半导体按产品分类 . 5 图 2: 半导体产业链概况 . 7 图 3: 半导体产业链核心工艺流程 . 8 图 4: 全球半导体销售额发展趋势 . 11 图 5: 智能时代将带来半导体需求的新爆发 . 12 图 6: 未来数据量将持续爆发 . 12 图 7: 各大机构对半导体市场增速预测 . 13 图 8: 全球半导体销售额 2016 年至今按季度情况 . 13 图 9: 微处理器中晶体管数量变化与摩尔定律 . 14 图 10: 半导体技术向功能多样化和尺寸微型化发展 . 15 图 11: 技术革新带来制造设备支出大幅提升 . 15 图 12: 2016-2018 年 IC 晶圆容量 . 16 图 13: 各大逻辑 /代工厂的技术路线图 . 16 图 14: 全球半导体产业的三次转移 . 20 图 15: 中国半导体销售额占全球比重持续增长 . 21 图 16: 我国半导体自给率仍较低 . 21 图 17: 全球集成电路 12 英寸晶圆厂数量 . 21 图 18: 中国成为全球设备资本支出重要驱动力 . 22 图 19: 晶圆厂新建产线各项目时间节点规划 . 23 图 20: 新建产线资本支出占比拆分 . 24 图 21: 全球与中国半导体销售额(亿美元) . 25 图 22: 全球半导体设备销售额与增速 . 26 图 23: 全球各国半导体设 备销售额 . 27 图 24: 国产半导体装备产业销售额 . 28 图 25: 中国半导体集成电路市场规模与国产规模 . 29 图 26: 中国大陆半导体设备销售额与增速 . 29 图 27: 国产装备工艺验证情况 . 30 图 28: 2017 年集成电路各类设备销售额占比 . 31 图 29: EUV 光刻机原理图 . 32 图 30: 2017 年光刻机全球竞争格局 . 33 图 31: 刻蚀过程原理图 . 35 图 32: 刻蚀技术分类 . 36 图 33: 2017 年刻蚀机全球竞争格局 . 37 图 34: PVD 与 CVD 工艺差别 . 39 图 35: 2017 全球 PVD 市场竞争格局 . 40 图 36: 2017 全球 CVD 市场竞争格局 . 40 图 37: 全球半导体封 测市场规模与增速 . 42 图 38: 全球半导体封测市场占比 . 42 图 39: 2016 全球半导体测试设备市场 . 42 图 40: 我国半导体封 测市场规模与增速 . 43 图 41: 国外半导体设备重点公司盈利能力对比 . 44 图 42: 阿斯麦产品演化过程 . 45 川财证券 研究报告 本报告由川财证券有限责任 公司 编制 谨请参阅尾页 的 重要 声明 4/56 图 43: 阿斯麦公司发展历程 . 45 图 44: 阿斯麦 2016-2018 年主营业务收入构成(地区) . 46 图 45: 阿斯麦 2014-2018 年营收及净利润 . 46 图 46: 2018 年阿斯麦营收各产品占比 . 46 图 47: 泛林半导体产品系列概览 . 47 图 49: 泛林半导体 2014-2018 年营收及净利润 . 48 图 50: 2018Q4 泛林半导体出货量占比 . 48 图 51: 应用材料公司发展历程 . 48 图 53: 应用材料 2014 至今年营收及净利润 . 49 图 54: 应用材料 2018 年收入按产品占比 . 49 图 55: 国内半导 体设备重点公司盈利能力对比 . 50 图 56: 晶盛机电 2014-2019 年营收与业绩情况 . 51 图 57: 2018 年晶盛机电各业务营收占比 . 51 图 58: 北方华创 2015 年至今营收与业绩情况 . 52 图 59: 2018 年北方华创各业务营收占比 . 52 图 60: 长川科技 2015 年至今营收与业绩情况 . 54 图 61: 2018 年长川科技各业务营收占比 . 54 图 62: 精测电子 2015 年至今营收与业绩情况 . 55 图 63: 2018 年精测电子各业务营收占比 . 55 表格 1. 半导体产业商业模式分类 . 6 表格 2. 半导体产业链国内外典型公司 . 7 表格 3. 硅片生产工艺流程、设备及主要供应商 . 8 表格 4. 晶圆加工 主要工艺、设备及国内外供应商 . 9 表格 5. 国家级集成电路政策汇总 . 17 表格 6. 地方省市集成电路政策汇总 . 17 表格 7. 2018 年国家集 成电路产业投资基金一期投资项目 . 18 表格 8. 02 专项支持国产设备厂商产品布局 . 19 表格 9. 我国 12 英寸半导体产线情况统计 . 22 表格 10. 我国 8 英寸 半导体产线情况统计 . 23 表格 11. 不同类型晶圆厂产线设备需求(台 /1 万晶圆 /月) . 24 表格 12. 晶盛机电产品系列概览 . 51 表格 13. 北方华创主营业务产 品 . 52 表格 14. 长川科技主营业务产品 . 53 表格 15. 精测电子主营业务产品 . 54 川财证券 研究报告 本报告由川财证券有限责任 公司 编制 谨请参阅本 页 的 重要 声明 5/56 一、 半导体行业 概况 1. 半导体行业 产业链 半导体 指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料 , 是电子产品的核心。半导体 行业商业模式从集成化向产业链垂直化分工演变,具有下游应用广、生产技术工序复杂、产品种类多样、技术更新快、投资高风险大等特点, 并经历了两次空间上的产业转移。 半导体行业经历了三个发展阶段,通常以 4-6 年为一周期,并且有加快的趋势, 与宏观经济、下游应用需求以及自身产能库存等因素密切相关。 图 1: 半导体按产品分类 资料来源: IC Insights, 川财证券研究所 根据 IC Insights 分类, 半导体 按产品划分 ,可分为集成电路 ( IC) 、分立器半导体分立器件( O - S - D )集成电路( IC )光电器件( O p t o e l e ct r o n i cs )传感器( Sensors /Actuators )分立器件( D i scr e t e s )数字 IC( D i g i t a l )模拟 IC( A n a l o g )存储器( M e m o r y )数字逻辑 IC( L o g i c )微型元件( M i cr o co m p o n e n t s ) D R AM F L AS H 其他存储器 特殊用途逻辑 显示驱动器 可编程逻辑器件 ( PL D s ) 门阵列 微处理器 ( M P U ) 微控制器 ( M C U ) D SP CCD 和 C M O S 图像传感器 ; 激光发射器和拾取器 ; 固态灯和 L ED s ; 红外设备 ; 光传感器 ; 光耦合器 , 光开关 ; 太阳能电池 压力传感器 ; 加速 / 偏航传感器 ; 磁场传感器 ; 温度传感器 ; 基于 M E M S 的执行器 功率晶体管 / 模块 ; 开关晶体管 ; 二极管 ; 整流器 ; 晶闸管 ; 射频 / 微波晶体管 / 模块 ;通用模拟( G e n e r a l P u r p o se A n a l o g )特殊应用模拟( A p p l i ca t i o n - S p e ci f i c A n a l o g ) Am p l i f i l t e rs / 比较器 ; 接口 ; 能源管理 ; 信号转换 ;川财证券 研究报告 本报告由川财证券有限责任 公司 编制 谨请参阅本 页 的 重要 声明 6/56 件 (二极管、晶闸管、功率晶体管等) 、光电器件 ( 光传感器、图像传感器、激光发射器等 ) 和传感器 (压力传感器、温度传感器、磁场传感器等)。 集成电路又分为数字电路和模拟电路 。 数字电路 包含 存储器( DRAM、 Flash 等) 、 逻辑电路( PLDs、门阵列、显示驱动器等)、微型元件 ( MPU、 MCU、 DSP)。模拟电路包含 通用模拟电路(接口、能源管理、信号转换等)和特殊应用模拟电路。 全球半导体产业有两种商业模式,一种是 IDM( Integrated Device Manufacture,集成器件制造)模式,另一种是垂直分工模式 ( Fabless-Foundries-Test)。 IDM 厂商的经营范围涵盖了设计、制造、封装测试等各环节,甚至延伸至下游电子终端 ,典型公司有 Intel、 TI、三星等 。 1987 年台湾积体电路公司( TSMC)成立以前,只有 IDM 一种模式,此后,半导体产业的专业化分工成为一种趋势 ,典型公司有 高通、博通、台积电等 。出现垂直分工模式的根本原因是半导体制造业的规模经济性。现今 IDM 厂商仍然占据主要地位,主要是因为 IDM 企业具有资源的内部整合优势、技术优势以及较高的利润率。 表格 1. 半导体产业商业模式分类 商业模式分类 主要内容 优势 劣势 典型公司 IDM 模式 集设计、制造、 封测 等多个产业链环节于一身;早期多数集成电路企业采用 ;目前仅有极少数企业能够维持。 有利于企业资源内部整合、利润率高、具有技术优势 公司规模庞大,管理成本较高;运营费用较高,资本回报率偏低。 Intel、三星、TI(德州仪器)、意法半导体等 垂直分工模式 Fabless(无工厂芯片供应商)模式 只负责芯片的电路设计与销售;将生产、测试、封装等环节外包。 资产较轻,初始投资规模小,创业难度相对较小;企业运行费用较低,转型相对灵活。 与 IDM 相比无法与工艺协同优化,因此难以完成指标严苛的设计;与Foundry 相比需要承担各种市场风险,一旦失误可能万劫不复。 高通、海思、联发科、博通( Broadcom)等 Foundry(代工厂)模式 只负责制造、封装或测
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